【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种位置敏感型智能气足,其特征在于,它包括封气板(1)、气足基板(2)、紧固件(3)、处理电路板(4)、光电位置敏感器(5)、N个节流嘴(6)和两个O型密封圈(7),N=3,4,5,6,7,8,9;封气板(1)和气足基板(2)通过紧固件(3)连接在一起;气足基板(2)的上表面上设置有环形气腔(2‑1),上表面为与封气板(1)相连接的表面,气足基板(2)的下表面上均匀设置有N个气流通孔(2‑2),每个气流通孔(2‑2)与环形气腔(2‑1)相连通,N个气流通孔(2‑2)的中轴线分别对应于环形气腔(2‑1)的中心;每个气流通孔(2‑2)的底端过盈配合一个节流嘴(6);环形气腔(2‑1)的内环侧和外环侧分别通过一个设置于封气板(1)和气足基板(2)之间的O型密封圈(7)密封;气足基板(2)的中心位置设置有上空腔和下空腔,上空腔和下空腔相连通,上空腔内放置处理电路板(4),下空腔内放置光电位置敏感器(5);光电位置敏感器(5)用于敏感其本身相对于气浮平台运动产生的位移量,并对所述位移量进行处理,输出运动位移增量;处理电路板(4)用于对光电位置敏感器(5)输出的运动位移增量进行处理,并输出所述气足 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘延芳,齐乃明,齐骥,袁秋帆,黄琳,于灵慧,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,航天东方红卫星有限公司,
类型:发明
国别省市:黑龙江;23
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