【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种石墨舟，具体涉及一种不等间距舟片的石墨舟。
技术介绍
目前，在太阳能电池的生产工艺过程中，通常采用管式PECVD进行太阳能电池的镀膜。进行镀膜时，电池片镀膜时的载具通常为石墨舟。在镀膜时，石墨舟片间接入射频电源，硅片作为电极的一部分，石墨舟片之间的距离都是等间距，所以其中的电场强度一致。但是由于反应气体分布、温度等一些不确定因素的影响，镀膜结束后，石墨舟外侧的膜厚往往较厚，影响了整舟的镀膜均匀性。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种不等间距舟片的石墨舟，通过调整石墨舟片之间的间距，提升太阳能电池镀膜均匀性，且与传统太阳能电池生产线兼容，适合于大规模生产。本技术解决技术问题所采用的技术方案是:一种不等间距舟片的石墨舟，包括若干石墨舟片，所述石墨舟片上设有若干装载硅片的凹槽，所述石墨舟片之间由陶瓷杆相连接，其特征在于:所述陶瓷杆上石墨舟片之间设有不同长度的陶瓷套，所述不同长度的陶瓷套使石墨舟片之间形成不同的间距。作为一种优选，所述石墨舟上靠外侧的石墨舟片之间的陶瓷套长度依次大于靠内侧的石墨舟片之间的陶瓷套长度。作为一种优选，所述石...
【技术保护点】
一种不等间距舟片的石墨舟，包括若干石墨舟片（1），所述石墨舟片（1）上设有若干装载硅片的凹槽（2），所述石墨舟片（1）之间由陶瓷杆（3）相连接，其特征在于：所述陶瓷杆（3）上石墨舟片（1）之间设有不同长度的陶瓷套（4），所述不同长度的陶瓷套（4）使石墨舟片（1）之间形成不同的间距。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄纪德，蒋方丹，金浩，陈康平，
申请(专利权)人：浙江晶科能源有限公司，晶科能源有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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