电极可重复使用的PCR芯片制造技术

技术编号:11409536 阅读:79 留言:0更新日期:2015-05-06 08:28
一种生物微机电系统技术领域的电极可重复使用的PCR芯片,由上而下包括电极芯片和反应腔室芯片两部分,并通过导热硅脂薄层贴合而成,其中:腔室芯片包括设置有腔室结构的聚合物盖片和上基板,电极芯片包括绝缘钝化层、金属加热与传感电极组合和下基板。该PCR芯片至少包含一个反应腔室,可用于不同温控条件下多种基因的并行扩增。本发明专利技术PCR芯片的电极芯片使用后可与腔室芯片分离并能重复使用,且采用玻璃基板、聚合物腔室并利用MEMS微加工技术批量制造,PCR芯片的成本大为降低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电极可重复使用的PCR芯片,其特征在于,由上而下包括:腔室芯片和电极芯片两个部分,其中:腔室芯片包括:设有腔室结构的聚合物盖片和上基板;电极芯片包括:绝缘钝化层、至少一个金属电极组合和下基板,其中:聚合物盖片和上基板之间构成的腔室结构位于对应的金属电极组合的正上方。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:崔峰陈伟曹井通陈文元张卫平吴校生刘武郭兆鑫
申请(专利权)人:上海交通大学
类型:发明
国别省市:上海;31

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