两段式角阀制造技术

本实用新型专利技术涉及一种两段式角阀，其使用于真空舱压力平衡作业，包括：一阀体，具有相连通的一第一管道及一第二管道；以及一连接于所述阀体处的驱动缸，所述驱动缸并具有一沿轴向位移的驱动轴，所述驱动轴端部设置有一位于所述第一管道与第二管道间的气密阀片，所述气密阀片并与第一管道活动气密。本实用新型专利技术的有益效果为：所述驱动轴可带动气密阀片与第一管道先产生一第一间距，以控制第一、第二管道间以较小流量降低压力差，再产生一较第一间距大的第二间距以大流量完成压力平衡。确实避免第一、第二管道压力差所产生气流造成真空舱内待加工物被吹移的问题。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
两段式角阀
本技术有关于真空舱压力平衡用的两段式角阀有关，具体涉及一种具有两段开启行程、可先以第一段较小流量降低真空舱压力差，再以第二段大流量完成真空舱压力平衡，以避免压力差所产生气流造成真空舱内待加工物被吹移的问题的两段式角阀。
技术介绍
晶圆、TFT IXD玻璃基板于制程中常需于真空环境下处理，一般待加工的晶圆、TFTLCD玻璃基板多于一可抽真空的真空舱内进行加工，而真空舱通常具有一进气阀门连接大气或空气泵，可于加工完成后开启进气阀门以破除真空舱的真空状况，并使真空舱之压力直到与大气压力平衡，以方便真空舱可进行取料及进料动作。 然而，传统进气阀门仅有一段行程，只能控制全开或全关，并无流量控制功效。当进气阀门于真空舱真空状态下开启时，开启初期的压力差会造成极大、快速的气流，造成真空舱内部的晶圆、TFT LCD玻璃基板容易被吹动而位移，导致晶圆、TFT LCD玻璃基板自载具上掉落、撞击的问题产生。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足，本技术的目的在于提供一种两段式角阀，可产生第一间距及第二间距两段行程，以控制先以第一间距较小流量降低压力差，再产生一较第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种两段式角阀，其特征在于，包括：一阀体，所述阀体具有相连通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及一驱动缸，其一端连接于所述阀体处，并具有一沿驱动缸轴向位移的驱动轴，所述驱动轴端部可供一气密阀片设置，且所述气密阀片位于所述第一管道与第二管道间，所述气密阀片并与第一管道活动气密；其中，所述驱动轴可带动气密阀片与第一管道产生一第一间距及一第二间距，使得所述气密阀片得以控制第一管道及第二管道间的流体流量。

【技术特征摘要】
1.一种两段式角阀，其特征在于，包括: 一阀体，所述阀体具有相连通的至少一第一管道及至少一第二管道；以及 一驱动缸，其一端连接于所述阀体处，并具有一沿驱动缸轴向位移的驱动轴，所述驱动轴端部可供一气密阀片设置，且所述气密阀片位于所述第一管道与第二管道间，所述气密阀片并与第一管道活动气密；其中，所述驱动轴可带动气密阀片与第一管道产生一第一间距及一第二间距，使得所述气密阀片得以控制第一管道及第二管道间的流体流量。2.如权利要求1所述的两段式角阀，其特征在于，所述驱动缸还包括有: 一设于所述驱动缸内的第一腔室； 一设于所述第一腔室的外活塞杆，所述外活塞杆具有一密合于第一腔室壁面的外活塞部，以及一沿驱动缸轴向设置的外杆部，所述外杆部轴向穿设有一轴孔； 一第二腔室，其设于所述外活塞部内，并与所述轴孔连通； 一内活塞杆，其具有一密合于第二腔室壁面的内活塞部，以及一穿设于所述轴孔内的内杆部，且所述内杆部连接于驱动轴； 一连通于第一腔室的外驱动流道；以及 一连通于第二腔室的内驱动流道。3.如权利要求2所述的两段式角阀，其特征在于，所述驱动缸连接于阀体的一端为一开口，所述开口处设有一端块，所述端块上穿设有一枢孔，以供所述外杆部端部穿设。4.如权利要求2所述的两段式角阀，其特征在于，所述外驱动流道设置于端块内，一端连通于所述第一腔室，另一端连通于端块外部。5.如权利要求4所述的两段式角阀，其特征在于，所述端块处沿平行于外活塞杆轴向...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡环宇，
申请(专利权)人：新莱应材科技有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71