成像元件和电子装置制造方法及图纸

一种成像元件包括光电转换部分和布线层。所述光电转换部分配置为光电转换从被摄体入射的光。所述布线层相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧，并且包括连接到构成像素的元件的布线，所述像素包括光电转换部分。所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线。所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排。所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。

【技术实现步骤摘要】
成像元件和电子装置交叉引用相关申请本申请要求2013年7月30日提交的日本优先权专利申请JP2013-157935的利益，在此通过引用并入其全部内容。
本公开涉及成像元件和电子装置，更具体地，涉及能够提供更高图像质量的成像元件和电子装置。
技术介绍
现有技术中，已知背照式固态成像器件，其包括收集来自被摄体的光的芯片上镜头、提供驱动像素的晶体管等的布线的布线层、以及接收来自被摄体的光的光电二极管，该光电二极管提供在芯片上镜头和布线层之间。在背照式固态成像器件中，晶体管布线等不提供在收集光的镜头和接收光的光电二极管之间。因此，可能使得像素开口变得更大用于接收更多光。因此，可能提供高质量图像。作为背照式固态成像器件，存在这样的背照式固态成像器件，其包括在关于光进入的背侧提供包夹光电二极管的布线层的一侧，即，前侧的反射膜，用于正反射通过光电二极管的光(例如，见日本专利申请公开No.2009-238985(以下称为专利文献1))。在该固态成像器件中，已经从背侧进入光电二极管的光中的通过光电二极管的光被光电二极管附近提供的反射膜反射，并且再次进入光电二极管。因此，光电二极管可以接收更多光。可能在近红外区域实现高灵敏度。
技术实现思路
然而，上述技术难以提供高图像质量。例如，在现有技术的背照式固态成像器件中，用于元件的控制线在前侧的布线层中提供。一些控制线具有这样的布线图案，其中由于连接到预定方向上安排的像素的晶体管等，控制线在一个方向上长而没有分支。在提供这样的控制线的布线层中，在预定方向上长的控制线以相等间隔在垂直于控制线的长侧方向的方向上安排。利用这样的结构，从背侧入射的光通过光电二极管。光还通过包括在一个方向上长的控制线的布线层。光被另一布线层反射。反射光再次进入包括在一个方向上长的控制线的布线层。然后，控制线用作衍射光栅，并且导致衍射和干涉。由于该干涉而相互增强的光束在垂直于一个方向上长的控制线的长侧方向的方向上传播，并且再次进入光电二极管。因此，在光电二极管上，即，在像素上导致反射光的入射光量的变化。因此，像素的像素信号之间的输出差增加，并且在通过成像获得的图像中生成横向条纹等，这导致图像质量劣化。关于专利文献1中描述的固态成像元件，假设通过光电二极管并到达反射膜的光束以不同角入射。入射光束在反射膜处反射的方向根据从光电二极管到反射膜的距离以及反射膜在平面中的位置而改变。因此，为了提高更好效果，必须在光电二极管的附近提供反射膜。然而，实际上难以控制反射膜上这样的反射光方向成为适当的方向。由于反射膜的一些位置，存在反射光方向偏离一个方向的可能性。因此，在像素上导致来自反射膜的光的入射光量的变化，这劣化了通过成像获得的图像的质量。此外，在专利文献1描述的固态成像器件中，必须在光电二极管附近形成反射膜。然而，如果在光电二极管附近提供反射膜，则与提供在光电二极管附近的驱动像素的放大晶体管的栅极和连接到浮置扩散区域的耦合电容增加。因此，每个像素中通过光电转换获得的将电子(电荷)转换为电压的效率降低。因此，像素信号的信噪比(SN比)降低，并且得到的图像质量劣化。考虑上述情况，期望提供更高质量的图像。根据本公开的第一实施例，提供了一种成像元件，包括：光电转换部分，配置为光电转换从被摄体入射的光；以及布线层，其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧，并且包括连接到构成像素的元件的布线，所述像素包括光电转换部分，所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线，所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排，所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。所述布线的凸起可以包括多个凸起。所述凸起可以是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。所述布线可以提供有朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，以及朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。所述布线可以提供有朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，以及朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，所述另外布线在所述预定方向上交替安排。所述布线可以提供有朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，以及朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，所述另外布线在所述预定方向上的相同位置处提供。所述凸起可以通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。所述凸起可以具有矩形形状和三角形形状之一。所述布线的所述凸起可以在所述预定方向上的相同位置处提供。相互相邻的布线的凸起可以在所述预定方向上的不同位置处提供。所述成像元件可以包括具有光的最高透射率的预定颜色的像素和不同于所述预定颜色的颜色的多个像素，所述多个像素安排在所述像素的上、下、左和右侧。当在垂直于所述成像元件的光接收表面在方向上看布线层时，所述多个布线和布线的整体凸出之一和凸出的一部分可以包括在所述布线层的区域中，所述区域与像素中的光电转换部分重叠。在本公开的第一实施例中，在成像元件中，该成像元件包括：光电转换部分，配置为光电转换从被摄体入射的光；以及布线层，其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧，并且包括连接到构成像素的元件的布线，所述像素包括光电转换部分，所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线，所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排，并且所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。根据本公开的第二实施例，提供了一种电子装置，包括：成像元件，其包括光电转换部分，配置为光电转换从被摄体入射的光；以及布线层，其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧，并且包括连接到构成像素的元件的布线，所述像素包括光电转换部分，所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线，所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排，所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。所述布线的凸起可以包括多个凸起。所述凸起可以是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。所述布线可以提供有朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，以及朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。所述凸起可以通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。所述凸起可以具有矩形形状和三角形形状之一。所述成像元件可以包括具有光的最高透射率的预定颜色的像素和不同于所述预定颜色的颜色的多个像素，所述多个像素安排在所述像素的上、下、左和右侧。当在垂直于所述成像元件的光接收表面在方向上看布线层时，所述多个布线和布线的整体凸出之一和凸出的一部分可以包括在所述布线层的区域中，所述区域与像素中的光电转换部分重叠。在本公开的第二实施例中，在包括成像元件的电子装置中，该成像元件包括：光电转换部分，配置为光电转换从被摄体入射的光；以及布线层，其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧，并且包括连接到构成像素的元件的布线，所述像素包括光电转换部分，所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线，所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排，并且所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。根据本公开的第一和第二实施例，可能提供更高质量的图像本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成像元件，包括：光电转换部分，配置为光电转换从被摄体入射的光；以及布线层，其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧，并且包括连接到构成像素的元件的布线，所述像素包括光电转换部分，所述布线包括在预定方向上延伸长的多个布线，所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排，所述布线提供有在不同于所述预定方向的方向上凸出的凸起。

【技术特征摘要】
2013.07.30 JP 2013-1579351.一种成像元件，包括：光电转换部分，配置为光电转换从被摄体入射的光；以及布线层，其相对于光电转换部分提供在被摄体的相对侧，并且包括在预定的方向上延伸长并连接到构成像素的元件的多个布线，所述像素包括光电转换部分，所述多个布线在布线层中在基本垂直所述预定方向的方向上安排，所述多个布线的每一个提供有多个凸起，其中所述多个布线的至少一个布线在俯视图中对应于一个像素的区域中具有至少第一凸起和第二凸起，其中所述第一凸起布置在俯视图中所述至少一个布线的第一侧，以及其中所述第二凸起布置在俯视图中所述至少一个布线的第二侧。2.根据权利要求1所述的成像元件，其中，所述布线的凸起包括多个凸起。3.根据权利要求2所述的成像元件，其中，所述凸起是增加到所述布线以朝向与所述布线相邻的另一布线凸出的另外布线。4.根据权利要求3所述的成像元件，其中所述布线提供有朝向所述布线的第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，以及朝向与所述布线的第一方向相反的第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线。5.根据权利要求4所述的成像元件，其中所述布线提供有朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，以及朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，所述另外布线在所述预定方向上交替安排。6.根据权利要求4所述的成像元件，其中所述布线提供有朝向第一方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，以及朝向第二方向上相邻的其他布线凸出的另外布线，所述另外布线在所述预定方向上的相同位置处提供。7.根据权利要求2所述的成像元件，其中，所述凸起通过改变布线的一部分的延伸方向使得布线的一部分朝向与所述布线相邻的其他布线凸出而形成。8.根据权利要求7所述的成像元件，其中，所述凸起具有矩形形状和三角形形状之一。9.根据权利要求8所述的成像元件，其中，所述布线的所述凸起在所述预定方向上的相同位置处提供。10.根据权利要求8所述的成像元件，其中，相互相邻的布线的凸起在所述预定方向上的不同位置处提供。11.根据权利要求1所述的成像元件，其中，所述成像元件包括具有光的最高...

【专利技术属性】
技术研发人员：城户英男，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP