工作台装置及输送装置制造方法及图纸

工作台装置（100）包括：第1构件（1），其能够在水平面内移动；第2构件（2），其能够相对于第1构件相对移动；第1引导装置（4），其至少一部分配置于第1构件，并以通过第1构件的移动使第2构件沿与同水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导第2构件；工作台（10），其支承于第2构件；第3构件（3），其上表面侧的至少一部分连接于工作台；轴承构件（5），其具有能够向该轴承构件与第3构件的侧面之间供给气体的第1供给口（15），利用从第1供给口供给的气体在该轴承构件与第3构件的侧面之间形成气体轴承，并以能够使第3构件沿与第1轴线平行的方向移动的方式支承第3构件；致动器（7），其产生用于使第1构件移动的动力；以及重力补偿装置（60），其配置为与第3构件的下表面所面对的空间相面对，并具有用于向空间供给气体的第2供给口。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工作台装置及输送装置
本专利技术涉及工作台装置及输送装置。
技术介绍
在输送装置中，使用了例如如专利文献1所公开的、具有能够移动的工作台的工作台装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004－195620号
技术实现思路
专利技术要解决的问题在工作台装置中，由于例如工作台的重量，有可能对用于使工作台移动的致动器施加负荷。在对致动器施加负荷而使该致动器发热时，会使周围的构件热变形，从而有可能使工作台的定位精度降低。本专利技术的目的在于提供能够减少施加于致动器的负荷、并抑制定位精度降低的工作台装置及输送装置。用于解决问题的方案用于达到上述目的的本专利技术的工作台装置包括：第1构件，其能够在水平面内移动；第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；工作台，其支承于上述第2构件；第3构件，其具有上表面、下表面以及连结上述上表面与上述下表面的侧面，上述上表面侧的至少一部分连接于上述工作台；轴承构件，其具有能够向该轴承构件与上述第3构件的侧面之间供给气体的第1供给口，利用从上述第1供给口供给的气体在该轴承构件与上述第3构件的侧面之间形成气体轴承，并以能够使上述第3构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第3构件；致动器，其产生用于使上述第1构件移动的动力；以及重力补偿装置，其配置为与上述第3构件的下表面所面对的空间相面对，并具有用于向上述空间供给气体的第2供给口。因而，借助从第2供给口供给到与第3构件的下表面相面对的空间内的气体，使工作台的重量对致动器的作用减少。即，为了减少因重力的作用从工作台传递到致动器的力，重力补偿装置从第2供给口向空间供给气体，因此使施加于致动器的负荷减少。因此，使致动器的发热得到抑制，使致动器的周围的构件的热变形得到抑制。此外，由于工作台装置的构件的热变形得到抑制，因此使工作台的定位精度的降低得到抑制，使工作台装置的性能的降低得到抑制。此外，根据本专利技术，借助形成于第3构件与轴承构件之间的气体轴承，连接有第3构件的工作台能够在目标轨道上移动。例如，为了使第3构件在与第1轴线平行的方向上笔直地移动，轴承构件以能够使该第3构件移动的方式支承（引导）第3构件，从而使连接有该第3构件的工作台能够在与第1轴线平行的方向上笔直地移动。即，利用能够形成气体轴承的轴承构件，抑制第3构件和工作台的移动中的直线性的降低。即，通过在第3构件与轴承构件之间形成气体轴承，使轴承构件以非接触方式支承第3构件。由此，第3构件能够顺畅地沿与第1轴线平行的方向移动。在轴承构件与第3构件相接触时，有可能对第3构件的移动产生阻力。其结果，虽然设为了要使工作台和第3构件笔直地移动，但是工作台和第3构件有可能未笔直地移动。此外，在轴承构件与第3构件相接触时，有可能因第3构件的移动而产生振动。在第3构件产生振动时，工作台也进行振动，其结果，工作台的定位精度有可能降低。在本专利技术中，由于轴承构件以能够使第3构件移动的方式非接触地支承第3构件，因此工作台和第3构件能够笔直地移动。此外，振动的产生会得到抑制。其结果，工作台的定位精度的降低得到抑制，能够将工作台和支承于该工作台的物体配置在目标位置。在本专利技术的工作台装置中，上述第3构件是在与上述第1轴线平行的方向上较长的棒状的构件，上述轴承构件是配置于上述第3构件的侧面的周围的筒状的构件，上述第1供给口配置为与上述第3构件的侧面相对，在上述第3构件的与上述第1轴线平行的方向上的移动范围内，上述第1供给口与上述第3构件的侧面持续相对。因而，在第3构件的移动范围内，能够在第3构件与轴承构件之间持续形成气体轴承，能够维持第3构件与轴承构件之间的非接触状态。在本专利技术的工作台装置中，在与上述第1轴线平行的方向上，上述第3构件的尺寸大于上述轴承构件的尺寸。因而，能够顺畅地连接工作台和自轴承构件的上端部突出的第3构件。此外，第3构件也比轴承构件的下端部突出，从而使轴承构件的上端部侧与下端部侧之间的质量（重量）的平衡性提高。由此，第3构件能够笔直地进行移动。在本专利技术的工作台装置中，该工作台装置包括支承构件，其用于支承上述轴承构件，该支承构件的至少一部分配置于上述第3构件和上述轴承构件的周围，上述第2供给口向由上述第3构件的下表面和上述支承构件的内表面限定的空间内供给气体。因而，由于向由第3构件的下表面和支承构件的内表面所封闭的空间内供给气体，因此能够利用从第2供给口供给的气体良好地调整空间的压力。在本专利技术的工作台装置中，上述重力补偿装置从上述第2供给口供给气体，以使得上述下表面所面对的空间的压力高于上述支承构件的外侧的空间的压力。因而，重力补偿装置能够对第3构件和工作台施加朝上的力，以消除因工作台的自重而朝铅垂方向下方作用的力。因此，使施加于致动器的负荷减少。在本专利技术的工作台装置中，上述第3构件的与上述水平面平行的截面的外形为圆形。因而，在第3构件的制造中，能够容易地获得较高的加工精度，能够容易地获得目标形状。因此，使形成于该第3构件的侧面与轴承构件之间的间隙的尺寸不均匀的情况得到抑制。因而，使形成于第3构件与轴承构件之间的气体轴承的性能的降低得到抑制，使第3构件自目标轨道脱离移动的情况得到抑制。在本专利技术的工作台装置中，上述第3构件至少配置有两个，并分别连接于上述工作台的第1部位和上述工作台的与上述第1部位不同的第2部位。因而，利用连接于工作台的多个第3构件抑制例如工作台的旋转。由此，工作台的定位精度提高。在本专利技术的工作台装置中，在上述第3构件的移动范围内，在与上述第1轴线平行的方向上，上述第3构件的中心持续配置在上述轴承构件的一端部与另一端部之间。因而，即使在第3构件的移动中，由于轴承构件的上端部侧与下端部侧之间的质量（重量）的平衡性提高，因此第3构件也能够笔直地进行移动。在本专利技术的工作台装置中，借助上述致动器，上述第1构件沿上述水平面内的与第2轴线平行的方向移动，该工作台装置包括用于抑制上述第2构件的与上述第2轴线平行的方向上的移动的抑制构件。因而，即使第1构件沿与第2轴线平行的方向移动，第2构件沿与第2轴线平行的方向移动的情况也得到抑制。由此，第1构件的与第2轴线平行的方向上的移动被高效地转换为第2构件的与第1轴线平行的方向上的移动。在本专利技术的工作台装置中，该工作台装置具有第2引导装置，该第2引导装置的至少一部分配置于上述抑制构件，且该第2引导装置用于沿与上述第1轴线平行的方向引导上述第2构件。因而，第2构件被第2引导装置引导并能够沿与第1轴线平行的方向移动。通过第2构件沿与第1轴线平行的方向移动，使支承于该第2构件的工作台也与第2构件一起沿与第1轴线平行的方向移动。在本专利技术的工作台装置中，该工作台装置包括支承装置，该支承装置配置在上述第2构件与上述工作台之间，并用于柔软地支承上述工作台。因而，即使由于抑制构件（第2引导装置）与第2构件之间的接触而使第2构件进行不期望的移动（振动），也可以利用支承装置抑制该不期望的移动（振动）向工作台传递。在本专利技术的工作台装置中，上述支承装置包括球面轴承。因而，即使由于抑制构件（第2引导装置）与第2构件之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：第1构件，其能够在水平面内移动；第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；工作台，其支承于上述第2构件；第3构件，其具有上表面、下表面以及连结上述上表面与上述下表面的侧面，上述上表面侧的至少一部分连接于上述工作台；轴承构件，其具有能够向该轴承构件与上述第3构件的侧面之间供给气体的第1供给口，利用从上述第1供给口供给的气体在该轴承构件与上述第3构件的侧面之间形成气体轴承，并以能够使上述第3构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第3构件；致动器，其产生用于使上述第1构件移动的动力；以及重力补偿装置，其配置为与上述第3构件的下表面所面对的空间相面对，并具有用于向上述空间供给气体的第2供给口。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.05.20 JP 2013-1065441.一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：第1构件，其能够在水平面内移动；第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；工作台，其支承于上述第2构件；第3构件，其具有上表面、下表面以及连结上述上表面与上述下表面的侧面，上述上表面侧的至少一部分连接于上述工作台；轴承构件，其具有能够向该轴承构件与上述第3构件的侧面之间供给气体的第1供给口，利用从上述第1供给口供给的气体在该轴承构件与上述第3构件的侧面之间形成气体轴承，并以能够使上述第3构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第3构件；致动器，其产生用于使上述第1构件移动的动力；以及重力补偿装置，其配置为与上述第3构件的下表面所面对的空间相面对，并具有用于向上述空间供给气体的第2供给口。2.根据权利要求1所述的工作台装置，其中，上述第3构件是在与上述第1轴线平行的方向上较长的棒状的构件，上述轴承构件是配置于上述第3构件的侧面的周围的筒状的构件，上述第1供给口配置为与上述第3构件的侧面相对，在上述第3构件的与上述第1轴线平行的方向上的移动范围内，上述第1供给口与上述第3构件的侧面持续相对。3.根据权利要求2所述的工作台装置，其中，在与上述第1轴线平行的方向上，上述第3...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤俊德，
申请(专利权)人：日本精工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP