一种显影装置及显影方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种显影装置及显影方法，涉及显示面板制作技术领域。所述显影装置包括：滑动安装在显影腔室底部、可对进入所述显影腔室内的基板进行加热的加热装置，且所述加热装置施加在所述基板的周边区域的温度小于施加在所述基板的中部区域的温度；与所述加热装置连接的驱动装置；检测进入所述显影腔室内的所述基板是否与所述加热装置正对的传感器；分别与所述驱动装置和所述传感器信号连接的控制装置，当所述传感器检测到进入所述显影腔室内的所述基板与所述加热装置正对时，所述控制装置控制所述驱动装置驱动所述加热装置与所述基板同步水平移动。采用本发明专利技术提供的显影装置对基板进行显影时提升了显影的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了，涉及显示面板制作
。所述显影装置包括：滑动安装在显影腔室底部、可对进入所述显影腔室内的基板进行加热的加热装置，且所述加热装置施加在所述基板的周边区域的温度小于施加在所述基板的中部区域的温度；与所述加热装置连接的驱动装置；检测进入所述显影腔室内的所述基板是否与所述加热装置正对的传感器；分别与所述驱动装置和所述传感器信号连接的控制装置，当所述传感器检测到进入所述显影腔室内的所述基板与所述加热装置正对时，所述控制装置控制所述驱动装置驱动所述加热装置与所述基板同步水平移动。采用本专利技术提供的显影装置对基板进行显影时提升了显影的均匀性。【专利说明】—种显影装置及显影方法
本专利技术涉及显示面板制作
，尤其涉及。
技术介绍
目前，在显示面板如液晶面板的生产过程中，显影主要有两种方式:旋转显影方式和喷淋显影方式。由于旋转显影方式需要多次显影，且会产生雾以及静电，从而导致产能较低。因此，在液晶面板的生产过程中通常使用喷淋显影方式。 请参阅图1，喷淋显影方式的过程通常为:基板2经由入口 11水平进入显影装置，在显影装置的显影腔室12中，显影液通过滴嘴均匀涂覆到基板2上；基板2保持水平状态，并通过滚轮向前输送至清洗腔室13 ;在清洗腔室13中用去离子水清洗基板2，基板2由原本的水平状态变换为倾斜状态，使稀释后的显影液随着去离子水流出基板2，为了将基板上的显影液清除干净，可将上述清洗过程重复多次，直至达到停止显影的目的；清洗完毕后将基板2运送到风干腔室14,使用风刀3吹干基板2,之后基板2由原本的倾斜状态变换为水平状态，通过出口 15运出显影装置，完成喷淋显影过程。 不过，上述显影过程存在如下缺陷:基板2在保持水平状态并通过滚轮向前运动的过程中，涂覆在基板2上的部分显影液会向基板2的周边区域流动，使得基板2的周边区域的显影液浓度高于基板2的中间区域的显影液浓度，从而导致基板2上的显影液不均匀，进而影响显影的均匀性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供，用于提升显影的均匀性。 为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案: 一种显影装置，包括: 滑动安装在显影腔室底部、可对进入所述显影腔室内的基板进行加热的加热装置，且所述加热装置施加在所述基板的周边区域的温度小于施加在所述基板的中部区域的温度; 与所述加热装置连接的驱动装置； 检测进入所述显影腔室内的所述基板是否与所述加热装置正对的传感器； 分别与所述驱动装置和所述传感器信号连接的控制装置，当所述传感器检测到进入所述显影腔室内的所述基板与所述加热装置正对时，所述控制装置控制所述驱动装置驱动所述加热装置与所述基板同步水平移动。 进一步地，所述加热装置包括:滑动安装在所述显影腔室底部、并与所述驱动装置相连的支撑台，设于所述支撑台上的多个加热单元。 优选地，所述基板的形状为矩形，所述多个加热单元在所述支撑台与所述基板相对的矩形区域内呈阵列状排列。 可选地，所述加热单元为喷嘴，所述加热装置还包括: 用于存储冷气的冷气源和用于存储热气的热气源，每个所述喷嘴通过对应的一个冷气管路与所述冷气源连通、通过对应的一个热气管路与所述热气源连通； 多个冷气控制阀和多个热气控制阀，每个所述冷气管路上对应的设有一个所述冷气控制阀，每个所述热气管路上对应的设有一个所述热气控制阀； 第一控制器，分别与所述多个冷气控制阀和所述多个热气控制阀信号连接，以控制从各所述喷嘴喷出的冷气和热气的混合气体的温度。 可选地，所述加热单元为红外线加热器，分别与各所述红外线加热器信号连接、用于控制各所述红外线加热器的辐射能量的第二控制器。 本专利技术同时还提供了一种显影方法，包括: 基板进入显影腔室中，显影液均匀涂覆到所述基板的上表面上； 所述传感器检测进入所述显影腔室内的基板是否与所述加热装置正对； 当所述传感器检测到进入所述显影腔室内的基板与所述加热装置正对时，所述控制装置控制所述加热装置对所述基板进行加热，且所述加热装置施加在所述基板的周边区域的温度小于所述加热装置施加在所述基板的中部区域的温度；所述控制装置控制所述驱动装置驱动所述加热装置与所述基板同步水平移动。 进一步地，所述加热装置对所述基板进行加热的步骤具体包括:当所述加热装置中的各加热单元分别为喷嘴时，所述第一控制器控制各所述冷气控制阀的开度和各所述热气控制阀的开度，调整从各所述喷嘴喷出的冷气和热气的比例，使从各所述喷嘴喷出的冷气和热气的混合气体的温度达到设定温度。 优选地，当所述基板上的光刻胶的厚度或关键尺寸大小不均匀时，所述第一控制器根据所述基板上的光刻胶的厚度或关键尺寸大小，控制各所述冷气控制阀的开度和各所述热气控制阀的开度，调整从各所述喷嘴喷出的冷气和热气的比例，使所述光刻胶厚度大或关键尺寸大的区域所对应的各喷管喷出的冷气和热气的混合气体的温度高于所述光刻胶厚度小或关键尺寸小的区域所对应的各喷管喷出的冷气和热气的混合气体的温度。 可选地，所述加热装置对所述基板进行加热的步骤具体包括:当所述加热装置中的各加热单元分别为红外线加热器时，所述第二控制器调整各所述红外线加热器的辐射能量，以使各所述红外线加热器施加在所述基板上不同区域的加热温度达到设定温度。 较佳地，当所述基板上的光刻胶的厚度或关键尺寸大小不均匀时，所述第二控制器根据所述基板上的光刻胶的厚度或关键尺寸大小，调整各所述红外线加热器的辐射能量，使所述光刻胶厚度大或关键尺寸大的区域所对应的各所述红外线加热器的加热温度高于所述光刻胶厚度小或关键尺寸小的区域所对应的各所述红外线加热器的加热温度。 当使用本专利技术提供的显影装置对基板进行显影时，基板进入显影腔室中，显影液均匀涂覆到基板的上表面上；当传感器检测到进入显影腔室内的基板与加热装置正对时，控制装置控制加热装置对基板进行加热，且加热装置施加在基板的周边区域的温度小于加热装置施加在基板的中部区域的温度；而且，当传感器检测到进入显影腔室内的基板与加热装置正对时，控制装置控制驱动装置驱动加热装置与基板同步水平移动。基板在水平移动的过程中，位于基板上表面的部分显影液会从基板的中部区域向基板的周边区域流动，导致位于基板的中部区域的显影液浓度小于位于基板的周边区域的显影液浓度；而加热装置施加在基板的中部区域的温度大于加热装置施加在基板的周边区域的温度，使得基板的中部区域的显影速度大于基板的周边区域的显影速度，即，提升基板上显影液浓度低的中部区域的显影速度，降低基板上显影液浓度高的周边区域的显影速度，使在设定的显影时间内整个基板的显影程度趋于一致，从而提升显影的均匀性。 【专利附图】【附图说明】 此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中: 图1为现有技术中的显影过程的示意图； 图2为本专利技术实施例提供的显影装置的主视图； 图3为图2中显影装置的俯视图一； 图4为图2中显影装置的俯视图二； 图5为图2中显影装置的俯视图三； 图6为图2中显影装置的控制原理图； 图7为本专利技术实施例提供的显影方法的流程图。 附图标记: 1_ 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影装置，其特征在于，包括：滑动安装在显影腔室底部、可对进入所述显影腔室内的基板进行加热的加热装置，且所述加热装置施加在所述基板的周边区域的温度小于施加在所述基板的中部区域的温度；与所述加热装置连接的驱动装置；检测进入所述显影腔室内的所述基板是否与所述加热装置正对的传感器；分别与所述驱动装置和所述传感器信号连接的控制装置，当所述传感器检测到进入所述显影腔室内的所述基板与所述加热装置正对时，所述控制装置控制所述驱动装置驱动所述加热装置与所述基板同步水平移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明悬，张小祥，张治超，刘正，陈曦，郭总杰，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11