【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及,尤其涉及在光刻投影曝 光系统中投影物镜的气压分段补偿的划分方法。
技术介绍
光学投影光刻是利用光学投影成像的原理,将掩模上的集成电路(1C)图形以分 步重复或步进扫描曝光的方式将高分辨率的图形转移到涂胶硅片上。光学投影光刻技术是 目前大规模低成本生产大规模集成电路的最有效方法,该技术还广泛应用于平板显示、半 导体照明等半导体产业,在全球信息化过程起着关键作用。随着超大规模电路(VLSI)的器 件密度越来越高,其特征尺寸变得越来越小,光刻机使用的波长越来越短,数值孔径NA越 来越大,这对光刻曝光系统的性能提出了更高的要求。 光刻机中采用的短波光源与空气中的氧气等气体发生反应,为了保护光学镜片以 免遭受化学反应污染和灰尘污染,一般会在光刻内部充满氮气等惰性气体;同时在光刻机 内部的光路传输过程中由于吸收和散射而损失大部分光能,这些光能会转化为热能,引起 镜片的变形,严重影响最终曝光质量,一般使光刻机内部的惰性气体进行缓慢流动,带走一 部分热量。因此光刻机内部,特别是投影物镜内部会进行密封,充上缓慢流动的氮气。而光 刻投影物镜外部为大气,在实际光刻车间温度和湿度可以进行有效控制,但是大气气压无 法进行控制,其引起的气体折射率微量变化对投影物镜成像质量的影响已经不容忽略。同 时由于光学镜片的热变形,重力变形,膜厚的不均匀,环境参数的变化,都会造成投影物镜 成像质量的恶化,而且这个变化是一个动态过程。因此,在光刻投影物镜实际使用过程中, 对投影物镜像差进行实时测量,并进行动态补偿。
技术实现思路
本专利技术 ...
【技术保护点】
一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法,其特征在于,包含以下步骤:步骤(1)、建立光学系统模型,根据光学系统设计参数建立理想光学模型,将光学系统内部气体、外部大气和透镜材料的折射率均设置为绝对折射率;步骤(2)、计算像差对各气体间隔气压变化的灵敏度,在理想光学模型基础上,逐个改变各气体间隔的气体气压一个小量,计算各像差对各气体间隔气压的灵敏度;步骤(3)、密封段的初步划分,根据各像差对各气体间隔气压变化的灵敏度,建立气体间隔气压灵敏度分析图谱,根据灵敏度挑选出对各像差最敏感的气体间隔,以此为基础进行气体密封段的初步划分;步骤(4)、列出所有划分方式的排列组合,在进行气体密封段初步划分基础上,对所有可能的划分方式进行排列组合;步骤(5)、计算像差变化量,假设外部大气压改变一定量,计算各项像差的变化量;步骤(6)、选定密封段划分组合,按照该组合中每个密封段气体间隔的起始和结束编号,将气体间隔划分为多段,每个密封段内所有气体间隔的气体气压值相等;步骤(7)、计算各密封段气压变化的灵敏度,依次改变各气体密封段气压,计算各像差对各气体密封段气压变化的灵敏度;步骤(8)、计算各密封段的气压调整量, ...
【技术特征摘要】
1. 一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法,其特征在于,包含以下步骤: 步骤(1)、建立光学系统模型,根据光学系统设计参数建立理想光学模型,将光学系统 内部气体、外部大气和透镜材料的折射率均设置为绝对折射率; 步骤(2)、计算像差对各气体间隔气压变化的灵敏度,在理想光学模型基础上,逐个改 变各气体间隔的气体气压一个小量,计算各像差对各气体间隔气压的灵敏度; 步骤(3)、密封段的初步划分,根据各像差对各气体间隔气压变化的灵敏度,建立气体 间隔气压灵敏度分析图谱,根据灵敏度挑选出对各像差最敏感的气体间隔,以此为基础进 行气体密封段的初步划分; 步骤(4)、列出所有划分方式的排列组合,在进行气体密封段初步划分基础上,对所有 可能的划分方式进行排列组合; 步骤(5)、计算像差变化量,假设外部大气压改变一定量,计算各项像差的变化量; 步骤¢)、选定密封段划分组合,按照该组合中每个密封段气体间隔的起始和结束编 号,将气体间隔划分为多段,每个密封段内所有气体间隔的气体气压值相等; 步骤(7)、计算各密封段气压变化的灵敏度,...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘志祥,邢廷文,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:四川;51
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