一种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件、及探针机构，该三次元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组件，该第一丝杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工件放置于该治具上后，该推动组件、该第一丝杠组件及该第二丝杠组件推动该探针机构移动至工件的表面，以对工件进行测试。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件、及探针机构，该三次元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组件，该第一丝杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工件放置于该治具上后，该推动组件、该第一丝杠组件及该第二丝杠组件推动该探针机构移动至工件的表面，以对工件进行测试。【专利说明】三次元测量装置
本专利技术涉及一种三次元测量装置，尤其涉及一种定位精度高的三次元测量装置。
技术介绍
三次元测量装置被广泛地应用于精密机械零件、电子元器件、塑料与橡胶成品、及 半导体元器件的检测等领域。现有的三次元测量装置包括推动组件、气浮块组件及探针机 构，推动组件与气浮块组件推动探针机构沿三维方向移动至工件的表面，以对工件的轮廓、 表面形状、尺寸、角度及位置进行精密测试。但，气浮块组件的导向性能与承载能力较差，使 得现有的三次元测量装置的定位精度与可重复性较差。
技术实现思路
鉴于以上缺点，有必要提供一种定位精度高的三次元测量装置。 一种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件、及探针机构，该三 次元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组件，该第一 丝杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工件放置于 该治具上后，该推动组件、该第一丝杠组件及该第二丝杠组件推动该探针机构移动至工件 的表面，以对工件进行测试。 -种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件及探针机构，该三次 元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组件，该第一丝 杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工件放置于该 治具上后，该推动组件带动该探针机构沿第一方向移动，该第一丝杠组件带动该探针机构 沿第二方向移动，该第二丝杠组件带动该探针机构沿第三方向移动，该推动组件、该第一丝 杠组件及该第二丝杠组件相配合推动该探针机构移动至工件的表面，以对工件进行测试。 上述的三次元测量装置的推动组件、第一丝杠组件及第二丝杠组件可将探针机构 精确的推动至工件的表面，以对工件进行测试。 【专利附图】【附图说明】 图1为本专利技术一较佳实施例三次元测量装置的示意图； 图2为本专利技术一较佳实施例三次元测量装置未装配治具的示意图； 图3为图2所示三次元测量装置的分解图； 图4为图3所示三次元测量装置的第一丝杠组件、第二丝杠组件及探针机构的分解放 大示意图。 主要元件符号说明 【权利要求】1. 一种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件及探针机构，其特征在 于：该三次元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组件， 该第一丝杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工件 放置于该治具上后，该推动组件、该第一丝杠组件及该第二丝杠组件推动该探针机构移动 至工件的表面，以对工件进行测试。2. 如权利要求1所述的三次元测量装置，其特征在于：所述三次元测量装置进一步包 括底座；所述推动组件包括电机、基座及二对称设置的滑轨，该电机与该基座均位于二滑轨 之间，该电机、基座及滑轨均设置于该底座上。3. 如权利要求2所述的三次元测量装置，其特征在于：所述治具包括下治具及位于下 治具上的上治具，该下治具由四个支架支撑，该支架均位于该底座上；所述推动组件进一步 包括连接板，该下治具位于所述连接板的上方，且与连接板相平行。4. 如权利要求1所述的三次元测量装置，其特征在于：所述推动组件进一步包括二个 对称设置的支撑架；所述第一丝杠组件包括第一基座，该第一基座由该二支撑架支撑。5. 如权利要求1所述的三次元测量装置，其特征在于：所述第一丝杠组件包括第一连 接块；所述第二丝杠组件包括第二连接块，该第一连接块与该第二连接块连接，以将第一丝 杠组件与第二丝杠组件相连接。6. 如权利要求1所述的三次元测量装置，其特征在于：所述探针机构包括连接部及与 该连接部相连接的探针；所述第二丝杠组件进一步包括第三连接块，该第三连接块与该连 接部连接。7. 如权利要求5所述的三次元测量装置，其特征在于：所述第一丝杠组件进一步包括 设置于所述第一基座上的第一马达、与该第一马达连接的第一丝杠、套设于该第一丝杠上 的第一滑动座、对称位于该第一基座两侧的二个第一轨道，所述第一连接块与该第一滑动 座连接，该第一连接块装配于该第一轨道上。8. 如权利要求6所述的三次元测量装置，其特征在于：所述第二丝杠组件包括第二基 座、设置于该第二基座一端的第二马达、与该第二马达连接的第二丝杠、套设于该第二丝杠 上的第二滑动座、及对称位于该第二基座两侧的二个的第二轨道，所述第二连接块设置于 第二基座背向第二丝杠的一侧，所述第三连接块与该第二滑动座连接，且装配于第二轨道 上。9. 如权利要求4所述的三次元测量装置，其特征在于：所述推动组件进一步包括旋转 杆、套设于该旋转杆上的滑动块、及与支撑架连接的二对称设置的滑动件，该旋转杆的一端 与该电机连接，相对的另一端贯穿连接于该基座，该滑动块固定连接于该连接板，该连接板 的两端分别与一滑动件固定连接，每一滑动件套设于一滑轨上。10. -种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件及探针机构，其特征 在于：该三次元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组 件，该第一丝杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工 件放置于该治具上后，该推动组件带动该探针机构沿第一方向移动，该第一丝杠组件带动 该探针机构沿第二方向移动，该第二丝杠组件带动该探针机构沿第三方向移动，该推动组 件、该第一丝杠组件及该第二丝杠组件相配合推动该探针机构移动至工件的表面，以对工 件进行测试。【文档编号】G01B21/00GK104251676SQ201310268370【公开日】2014年12月31日 申请日期:2013年6月28日 优先权日:2013年6月28日【专利技术者】张旨光, 徐俊松, 沈胜强, 李均华 申请人:鸿富锦精密工业（深圳）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种三次元测量装置，包括治具、设置于该治具上的推动组件及探针机构，其特征在于：该三次元测量装置进一步包括第一丝杠组件、与该第一丝杠组件连接的第二丝杠组件，该第一丝杠组件位于该推动组件上，该探针机构连接于该第二丝杠组件的一端，将一工件放置于该治具上后，该推动组件、该第一丝杠组件及该第二丝杠组件推动该探针机构移动至工件的表面，以对工件进行测试。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张旨光，徐俊松，沈胜强，李均华，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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