湿制程系统技术方案

本实用新型专利技术涉及PCB、LCD、LED、半导体、触摸屏、太阳能、玻璃、五金电镀等湿制程工艺设备的技术领域，提供湿制程系统，包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置；药水段装置包括药水喷淋机构；药水回吸装置包括回吸段机体、吸液刀及射流器；水洗装置包括水洗喷淋机构、卧式泵及容积改小的储水槽，水洗喷淋机构包括上喷管、下喷管及喷嘴。上述湿制程系统采用吸液刀及射流器，吸取工件上残留药水，达到节约药水目的；采用减小储水槽容积增加水交换频率，并将卧式泵装于腾出空间中，达到节水、节能、高效和空间有效利用目的；总之，通过在工艺、结构上改变，达到排污减少70％、节能50％、节水50％的效果。

【技术实现步骤摘要】
湿制程系统
本技术属于PCB、IXD、LED、半导体、触摸屏、太阳能、玻璃、五金电镀等湿制程工艺设备的
，尤其涉及湿制程系统。
技术介绍
目前，湿制程广泛地应用于印刷电路板PCB、IXD、LED、半导体、触摸屏、太阳能、玻璃、钢板等行业的生产制造中，湿制程主要包括化学前处理、电镀、显影、蚀刻、退膜的化学药水处理的生产工艺，其中，蚀刻为使用化学药液参与反应而将材料移除的制作过程；而参与反应的化学药液即蚀刻液，蚀刻液又可分为酸性蚀刻液和碱性蚀刻液，其中，退膜为使用化学药液参与反应而将工件表面抗蚀层的膜移除的制作过程。 湿制程工序是重污染工序，现有的湿制程工艺包括:化学前处理、显影、蚀刻、退膜、电镀铜、镍金、锡、化学沉银、化学沉镍金、OSP表面防氧化膜等工艺。以一个蚀刻退膜线的湿制程工艺流程为例，如下:入板一显影一新液洗一冲污水一溢流水洗一清水洗/吸干—检查一蚀刻一补偿蚀刻一冲污水一溢流水洗一清水洗/吸干一检查一膨松一退膜一冲污水一溢流水洗一清水洗/吸干一溢流水洗一清水洗/吸干一干板组合一出板。 现有的湿制程工艺流程从入板一显影一蚀刻一一退膜一吸干的过程中，工件经过化学药液的处理，工件表面、凹凸面、线路、图形、通孔和盲孔内仍然残留着大量的化学药液带入水洗段，因而未能充分合理利用化学药液，造成化学药液的浪费，加大化学药液的使用量，增加企业的生产成本；同时，上段化学处理段残留在工件表面的化学药液未进行水洗，会对下段化学药液处理工艺造成污染；化学药液在使用一段时间后，由于其中会产生一些降低化学药液使用寿命的有机物和悬浮物等杂质，会影响化学药液的特性，当化学药液失效达到一定程度时无法继续使用，成为失效液并且废弃成为危险液体废物，失效液的排放会对环境造成严重的污染，因此，如何减少化学药液的使用和废弃及减少化学药液带入水洗段，一直是业内环境保护科学研究的重点项目。 现有湿制程工艺设备中水洗段储存水的水槽容积较大为110L，水洗水的使用量为每分钟6?8升，用水量较大，浪费水资源；水清洗机构中采用立式泵浦，立式泵浦的使用效率只有30 %?40 %，效率低下耗能耗电，并且由于立式泵浦的使用效率低而使过多的无用功转化成热量，加热了水洗水，使水的温度过高工件表面易氧化，造成产品不良率上升加大了用水的使用量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供湿制程系统，解决现有技术中经化学药液处理后工件面残留药水、带出药水、造成药水浪费、污染、以及洗水用量大、耗电耗能的问题，使得湿制程系统在现有技术基础上更环保减排、更节能、节水、省电。 为解决上述技术问题，本技术提供的湿制程系统的技术方案是，包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化设计整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置， 所述药水段装置包括用于对工件板面喷淋药水并进行化学处理的药水喷淋机构； 所述药水回吸装置包括回吸段机体、设于所述回吸段机体上且用于吸取工件上药水的吸液刀、以及用于使所述吸液刀产生真空负压吸力的射流器，所述射流器的导气管与所述吸液刀可拆卸连接； 所述水洗装置包括水洗段机体，所述水洗段机体内设有用于朝工件喷射洗水的水洗喷淋机构、以及用于供给洗水的卧式泵；所述水洗喷淋机构包括上喷管及下喷管，所述上喷管与所述下喷管上均设有喷嘴；所述上喷管及所述下喷管分别设置于工件输送方向的上方和下方，所述卧式泵的出水口分别与所述上喷管及所述下喷管连通，进水口连通有容积改小的储水槽，所述储水槽与所述水洗段机体的下机体连接，所述卧式泵设于所述下机体中。 进一步地，所述回吸段机体内设有用于输送工件的输送机构，所述输送机构包括多根平行设置且垂直工件传送方向的行辘、行辘枕，以及用于驱动所述行辘的传动机构；所述行辘枕的上半部开设有间隔排列的第一 U形槽，所述行辘架设于所述第一 U形槽中。 进一步地，所述行辘枕的下半部开设有第二 U形槽；所述吸液刀包括上吸液刀及下吸液刀，所述行辘枕的上侧设有用于紧固所述上吸液刀的第一紧固件及第二紧固件，所述上吸液刀套设于所述第一紧固件上，并支撑于所述第二紧固件中；所述下吸液刀设于所述第二 U形槽中，所述第二 U形槽中设有用于紧固所述下吸液刀的第三紧固件。 进一步地，所述上吸液刀及所述下吸液刀均垂直于工件传送方向，且均设有多个吸液孔。 进一步地，所述药水回吸装置还包括用于储存药水的储液槽，所述储液槽与所述射流器的出液口连通，所述回吸段机体内设有立式泵，所述立式泵的进水端与所述储液槽连通，出水端与所述射流器的进液口连通。 进一步地，所述药水段装置还包括药水段机体、以及用于提供动力抽取药水的立式电机，所述立式电机的进水管与所述储液槽连通，出水管与所述药水喷淋机构连通。 进一步地，所述水洗段机体包括上机体及下机体，所述上机体与所述下机体通过一朝下倾斜设置的隔板隔开，所述水洗喷淋机构设于所述上机体中，所述卧式泵均设于所述下机体中。 进一步地，所述储水槽与所述水洗段机体一体成型，所述隔板沿液体流动的路径向下朝所述储水槽倾斜，与所述隔板最低端相接的所述水洗段机体侧壁设有连通口与所述储水槽相通。 进一步地，所述上喷管及所述下喷管与所述立式电机的出水管的连接输液管路上、所述立式泵出水端与所述射流器的射流管的连接输液管路上、以及所述水洗喷淋机构与所述卧式泵的出水口的连接输液管路上均分别设有过滤器。 本技术相比较现有技术的有益效果: 一、由于药水回吸装置采用吸液刀和射流器，工件经过药水段装置的药水喷淋化学反应处理之后，进入药水回吸装置时，吸液刀在射流器产生的真空负压作用下，产生吸附力，充分地吸走工件板面、凹凸面、线路、图形、通孔和盲孔内残留的大量药水，并将回吸的药水储存起来，可供药水段装置再次进行对工件喷淋，因而充分合理利用药水，避免造成药水的浪费，减少药水的使用量，降低企业的生产成本；同时也避免了上段蚀刻工艺残留的药水会对下段蚀刻工艺造成污染，避免了药水过多的排放，对环境造成更大的污染； 二、由于上述湿制程系统采用了水洗装置，水洗装置包括水洗喷淋机构、卧式泵及储水槽，经过药水回吸装置吸液刀回吸后的工件，板面还残留着少许药水，再将工件输送给水洗段机体内时，水洗喷淋机构通过改变其上喷管、下喷管上喷嘴的数量与布局，对工件板面进行均匀喷淋高洁净度的洗水，冲洗过工件的洗水将被收集储存于储水槽中，而此时储水槽的容积变小，加快了洗水的交换速度，提高了洗水的交换率与洁净度，增强清洗效果，节约40%?50%的洗水量； 三、采用卧式泵，并有效利用空间，将卧式泵安装于下机体由于储水槽改小所腾出的空间中，实现机体结构的合理布局，同时具备节水、节能、降低成本、机体美观、水洗水洁净度高的效果。 四、卧式泵的功率降低50 %，却还能够维持水洗喷淋机构所需要的喷射压力，相比较传统的泵浦而言，较为省电。 综上所述，在上述湿制程系统中，药水段装置对工件板面进行化学处理，形成线路图形与板面处理效果，药水回吸装置将板面的药水吸回存储起来，减少板面药水携带量，水洗装置则对板面进行高效清洗，三个装置相辅相成构成完整的湿制程系统，通过整个设备三大装置结构的优化，使其在节约药水、节水、节能等方面有显著的效果，从而真正的做到从本文档来自技高网...

【技术保护点】
湿制程系统，其特征在于：包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化设计整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置，所述药水段装置包括用于对工件板面喷淋药水并进行化学处理的药水喷淋机构；所述药水回吸装置包括回吸段机体、设于所述回吸段机体上且用于吸取工件上药水的吸液刀、以及用于使所述吸液刀产生真空负压吸力的射流器，所述射流器的导气管与所述吸液刀可拆卸连接；所述水洗装置包括水洗段机体，所述水洗段机体内设有用于朝工件喷射洗水的水洗喷淋机构、以及用于供给洗水的卧式泵；所述水洗喷淋机构包括上喷管及下喷管，所述上喷管与所述下喷管上均设有喷嘴；所述上喷管及所述下喷管分别设置于工件输送方向的上方和下方，所述卧式泵的出水口分别与所述上喷管及所述下喷管连通，进水口连通有容积改小的储水槽，所述储水槽与所述水洗段机体的下机体连接，所述卧式泵设于所述下机体中。

【技术特征摘要】
1.湿制程系统，其特征在于:包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化设计整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置， 所述药水段装置包括用于对工件板面喷淋药水并进行化学处理的药水喷淋机构； 所述药水回吸装置包括回吸段机体、设于所述回吸段机体上且用于吸取工件上药水的吸液刀、以及用于使所述吸液刀产生真空负压吸力的射流器，所述射流器的导气管与所述吸液刀可拆卸连接； 所述水洗装置包括水洗段机体，所述水洗段机体内设有用于朝工件喷射洗水的水洗喷淋机构、以及用于供给洗水的卧式泵；所述水洗喷淋机构包括上喷管及下喷管，所述上喷管与所述下喷管上均设有喷嘴；所述上喷管及所述下喷管分别设置于工件输送方向的上方和下方，所述卧式泵的出水口分别与所述上喷管及所述下喷管连通，进水口连通有容积改小的储水槽，所述储水槽与所述水洗段机体的下机体连接，所述卧式泵设于所述下机体中。2.如权利要求1所述的湿制程系统，其特征在于:所述回吸段机体内设有用于输送工件的输送机构，所述输送机构包括多根平行设置且垂直工件传送方向的行辘、行辘枕，以及用于驱动所述行辘的传动机构；所述行辘枕的上半部开设有间隔排列的第一 U形槽，所述行辘架设于所述第一 U形槽中。3.如权利要求2所述的湿制程系统，其特征在于:所述行辘枕的下半部开设有第二U形槽；所述吸液刀包括上吸液刀及下吸液刀，所述行辘枕的上侧设有用于紧固所述上吸液刀的第一紧固件及第二紧固件，所述上吸液刀套设于所述第一紧固件上，并支撑于所述第二紧...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建光，刘以新，陈龙英，张岱辉，朱西祥，
申请(专利权)人：深圳市洁驰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44