晶片制造热能回收系统技术方案

本实用新型专利技术旨在提供一种能有效利用晶片制造过程中空压机热油的热量并能节省燃料的晶片制造热能回收系统。本实用新型专利技术包括空压机油桶和散热器，该系统还包括换热器，所述换热器供热端的一侧通过第二管道与所述空压机油桶的出油口连通，所述换热器供热端的另一侧通过第三管道与所述空压机油桶的进油端连通，所述第二管道和所述第三管道上分别设置有第二阀门和第三阀门，所述换热器的换热端连接有进水管道和出水管道，所述进水管道的进水端连接有供水箱，所述出水管道的出水端连接晶片生产车间的供水系统，所述换热器的换热端的换热管、所述进水管道和所述出水管道均为陶瓷管或不锈钢管。本实用新型专利技术可应用于热能回收领域。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种晶片制造热能回收系统，包括空压机油桶（1）和散热器（2），所述空压机油桶（1）与所述散热器（2）之间连接有第一管道（3），所述第一管道（3）上设置有第一阀门（4），其特征在于：该系统还包括换热器（5），所述换热器（5）供热端的一侧通过第二管道（6）与所述空压机油桶（1）的出油口连通，所述换热器（5）供热端的另一侧通过第三管道（7）与所述空压机油桶（1）的进油端连通，所述第二管道（6）和所述第三管道（7）上分别设置有第二阀门（8）和第三阀门（9），所述换热器（5）的换热端连接有进水管道（10）和出水管道（11），所述进水管道（10）的进水端连接有供水箱（12），所述出水管道（11）的出水端连接晶片生产车间的供水系统（13），所述换热器（5）的换热端的换热管（14）、所述进水管道（10）和所述出水管道（11）均为陶瓷管或不锈钢管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴波，
申请(专利权)人：珠海东精大电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44