【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶片制造热能回收系统,包括空压机油桶(1)和散热器(2),所述空压机油桶(1)与所述散热器(2)之间连接有第一管道(3),所述第一管道(3)上设置有第一阀门(4),其特征在于:该系统还包括换热器(5),所述换热器(5)供热端的一侧通过第二管道(6)与所述空压机油桶(1)的出油口连通,所述换热器(5)供热端的另一侧通过第三管道(7)与所述空压机油桶(1)的进油端连通,所述第二管道(6)和所述第三管道(7)上分别设置有第二阀门(8)和第三阀门(9),所述换热器(5)的换热端连接有进水管道(10)和出水管道(11),所述进水管道(10)的进水端连接有供水箱(12),所述出水管道(11)的出水端连接晶片生产车间的供水系统(13),所述换热器(5)的换热端的换热管(14)、所述进水管道(10)和所述出水管道(11)均为陶瓷管或不锈钢管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘兴波,
申请(专利权)人:珠海东精大电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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