超声波探头以及使用了该超声波探头的超声波诊断装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种特性稳定性优越的超声波探头以及使用了该超声波探头的超声波诊断装置。该超声波探头(1)具有超声波收发元件(2)，上述超声波收发元件(2)具备：基板(5)、形成于在基板(5)上的绝缘膜、形成于基板(5)与上述绝缘膜之间的空洞(17)、以及与基板(5)平行地隔着空洞(17)设置的一对电极(7、11)，超声波探头(1)的特征在于，超声波收发元件(2)在一对电极(7、11)中的远离基板(5)的电极(11)上设置有多层构造的梁部(100)，该多层构造的梁部(100)层叠由应力不同的材料构成的膜而成，梁部(100)层叠给与拉伸应力的膜和给与压缩应力的膜而成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种超声波探头，其具有超声波收发元件，所述超声波收发元件具备基板、形成于所述基板上的绝缘膜、形成于所述基板与所述绝缘膜之间的空洞、以及与所述基板平行地隔着所述空洞设置的一对电极，所述超声波探头的特征在于，所述超声波收发元件在所述一对电极中的远离所述基板的电极上设置有多层构造的梁部，该多层构造的梁部层叠由应力不同的材料构成的膜而成，所述梁部层叠给与拉伸应力的膜和给与压缩应力的膜而成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉村保广，永田达也，佐光晓史，
申请(专利权)人：日立阿洛卡医疗株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP