【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术给出了一种真空气管防止积膜保护罩，包括后端开口的罩体，罩体表面开有若干个输气孔。在镀膜生产中，将本真空气管防止积膜保护罩套在真空气管外侧，工件受到溅射时，逃逸的金属离子会溅射至伏到本真空气管防止积膜保护罩上，逃逸的金属离子不会直接与真空气管接触，长时间使用后，金属离子会造成输气孔堵塞，只需清除本输气孔内的积膜，便可以继续使用，不用拆除拆下真空气管清理，达到清理方便的目的。【专利说明】
本技术涉及一种真空气管防止积膜保护罩。 真空气管防止积膜保护罩
技术介绍
目前，真空镀膜生产普遍采用磁控溅射方式沉积膜层在工件上，其原理为：通过一 个铝制长方体里的很多细小气路溅射所用的工艺气体，铝制长方体均匀分布在溅射靶的两 边，工件架受到溅射时，有很多溅射出的离子不能被工件架全吸收，有一部分逃逸出的金属 离子就会伏到真空气管上，时间久了会造成真空气管的气孔堵塞，通常的做法是定期拆下 真空气管清理。这种方法的缺点是：1、拆卸真空气管很烦琐，拆、装真空气管上时接头及相 关配件很容易损坏，接头处容易漏气；2、因卸固定螺丝时维修空间太小，不易操作且时间 长；3、在清除积膜时铝制真空气管易损坏；4、真空气管多采用进口件，购买时间长维修成 本1?。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种清理方便、安装简单、成本低廉的真 空气管防止积膜保护罩，该真空气管防止积膜保护罩能有效保护进口真空气管的气孔永远 不会堵塞，原装真空气管不需要拆除清理，不会出现因安装拆卸清理所造成的器件损坏。 为解决上述技术问题，本技术提供了一种真...
【技术保护点】
一种真空气管防止积膜保护罩，其特征为：它包括后端开口的罩体，罩体表面开有若干个输气孔；所述的罩体左、右端面分别开有螺纹孔，顶丝螺栓穿过螺纹孔伸入罩体内；所述的若干个输气孔分别分布在前端面两侧端部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟，陈诚，王晓东，邵帅，
申请(专利权)人：安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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