【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术的目的在于提供一种能够抑制副产品的产生且低成本的臭氧生成系统。在本专利技术中，具备对臭氧产生装置(1)输出原料气体的气体流量调整装置(7)。气体流量调整装置(7)具备多个流量调整部(71、72、73、75)，并将由从第一氧流量调整器(71)输出的氧气和从混合气体流量调整器(75)输出的第一混合气体构成的第二混合气体作为原料气体而对臭氧产生装置(1)输出。在此，在气体流量调整装置(7)中生成的原料气体由氧气和氮气构成，氮相对于氧气的添加率比0ppm大且为100ppm以下。【专利说明】臭氧生成系统
本专利技术涉及具备将含有高纯度氧的原料气体向臭氧产生装置供给的结构的臭氧 生成系统。
技术介绍
作为为了生成臭氧气体而向臭氧产生装置内供给氧气及氮气的现有技术，例如存 在有专利文献1至4等。 在上述的专利文献1至4的技术中，向臭氧产生装置供给原料气体。在此，该原料 气体通过在氧气中添加几百PPM(更多的情况下为几千PPM)以上的氮气等而形成。并且， 在该臭氧产生装置内，利用无声放电来从原料气体生成臭氧气体。这样，在专利文...
【技术保护点】
一种臭氧生成系统，其特征在于，具备：氧供给口(2)；氮供给口(3)；臭氧产生装置(1、300)，其从流入的原料气体产生臭氧；以及气体流量调整装置(7)，其使从所述氧供给口供给的氧及从所述氮供给口供给的氮流入，对所述氧及所述氮的流量进行调整，并将该调整后的所述氧及所述氮作为所述原料气体而对所述臭氧产生装置输出，所述气体流量调整装置具备：第一氧流量调整器部(71)，其与所述氧供给口连接，对从所述氧供给口供给的所述氧的流量进行调整；第二氧流量调整部(72)，其与所述氧供给口连接，对从所述氧供给口供给的所述氧的流量进行调整；氮流量调整部(73、731)，其与所述氮供给口连接，对从所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：田畑要一郎，西村真一，中村纪幸，冲原雄二郎，
申请(专利权)人：东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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