废水处理装置制造方法及图纸

一种废水处理装置包含一淋式导引炉，其包含一槽体、一循环加热装置以及一淋式结构。槽体具有一进水口、一循环进水口、一循环出水口、一排水口以及一排气口，其中，循环进水口以及排气口设置于槽体的上半部，且循环出水口以及排水口设置于槽体的下半部。循环加热装置用以将槽体下半部的废水抽出槽体外加热至一循环温度，并将加热的废水经由循环进水口引入槽体。淋式结构设置于槽体内的上半部，用以使废水形成多个较小水流洒下，其中，废水中的特定成分气化并经由排气口抽离槽体。上述废水处理装置能够大幅节省能源，并达到较高的回收效率。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
废水处理装置
本技术是有关一种废水处理装置，特别是一种从废水中分离出特定成分的废水处理装置。
技术介绍
半导体工艺经常会产生废气或废水，为了符合环保法规，废气或废水中的特定成分需降低至标准值以下才能进行排放。举例而言，氨(NH3)常被应用于蚀刻、外延或清洁等半导体工艺，而未经反应的氨则从半导体装置中排出。因此，在半导体工艺的后端需进行废气处理，以将氨从废气或废水中去除，以符合环保法规。已知处理含有氨的废气或废水的方法主要有酸吸收法以及燃烧法。酸吸收法是以硫酸或磷酸等来吸附氨，并将氨转化为硫酸铵液或磷酸铵液再进行排放，但仍需符合环保法令的相关规定。燃烧法则是将废气进行燃烧排放，其导致较高的维修以及操作成本。此外，上述方法无法回收氨再利用。综上所述，提供一种以较低操作成本即可从废水中分离出特定成分的废水处理装置便是目前极需努力的目标。
技术实现思路
本技术提供一种废水处理装置，其是以一淋式导引炉使废水以较小水流型式洒下，以提升废水中特定成分气化的效率，进而使特定成分自废水中分离出来。本技术一实施例的废水处理装置是用以自一废水中分离出一特定成分。废水处理装置包含一淋式导引炉，其包含一槽体、一循环加热装置以及一淋式结构。槽体具有一进水口、一循环进水口、一循环出水口、一排水口以及一排气口，其中，废水经由进水口引入至槽体，循环进水口以及排气口设置于槽体的上半部，且循环出水口以及排水口设置于槽体的下半部。循环加热装置设置于循环进水口以及循环出水口之间，用以将槽体下半部的废水抽出槽体外加热至一循环温度，并将加热的废水经由循环进水口引入槽体。淋式结构设置于槽体内的上半部，用以使废水形成多个较小水流洒下，其中，废水中的特定成分气化并经由排气口抽离槽体。本技术另一实施例的含氨废水处理装置是用以自一废水中分离出氨。废水处理装置包含一淋式导引炉，其包含一槽体、一循环加热装置以及一淋式结构。槽体具有一进水口、一循环进水口、一循环出水口、一排水口以及一排气口，其中，废水经由进水口引入至槽体，循环进水口以及排气口设置于槽体的上半部，且循环出水口以及排水口设置于槽体的下半部。循环加热装置设置于循环进水口以及循环出水口之间，用以将槽体下半部的废水抽出槽体外加热至一循环温度,并将加热后的废水经由循环进水口引入槽体。淋式结构设置于槽体内的上半部，用以使废水形成多个较小水流洒下，其中，废水中的氨气化并经由排气口抽离槽体。以下经由具体实施例配合所附的附图详加说明，当更容易了解本技术的目 的、
技术实现思路
、特点及其所达成的功效。【附图说明】图1为一示意图，显示本技术一实施例的废水处理装置。符号说明:10 淋式导引炉11 槽体12 循环加热装置13 淋式结构20 第一热交换器30 第二热交换器CIP 循环进水口COP 循环出水口GOP 排气口GSC 气态的特定成分IP 进水口LCff 较低浓度废水OP 排水 口SC 特定成分W 废水【具体实施方式】本技术的一实施例的废水处理装置是用以自一废水中分离出一特定成分。举例而言，废水可为半导体产业或光电产业的半导体工艺所产生的含氨的废气或废水，但不限于此。可以理解的是，含氨的废气可利用纯水来吸收氨而形成含氨的废水。后续即可利用本技术的废水处理装置将氨自废水中分离出来再利用。请参照图1，本技术的一实施例的废水处理装置一淋式导引炉10。淋式导引炉10则包含一槽体11、一循环加热装置12以及一淋式结构13。槽体11具有一进水口 IP、一循环进水口 CIP、一循环出水口 C0P、一排水口 OP以及一排气口 G0P。废水W可经由进水口 IP引入至槽体11。循环进水口 CIP以及排气口 GOP设置于槽体11的上半部，而循环出水口 COP以及排水口 OP则设置于槽体11的下半部。循环加热装置12是设置于循环进水口 CIP以及循环出水口 COP之间。循环加热装置12可将槽体11下半部的废水W经由循环出水口 COP抽出槽体外加热至一循环温度，接着，将加热后的废水W经由循环进水口 CIP再引入槽体11。可以理解的是，为了减少能源的消耗，槽体11可包含一隔热结构(未图示)，例如槽体11的外壁可为真空双层结构或包覆发泡材料以降低热能的散失。隔热结构亦可由其它现有的技术加以实现，在此不再赘述。同理，循环加热装置12连接至循环进水口 CIP或循环加热装置12连接至循环进出口COP的管路亦可包含适当的隔热结构(未图示)。淋式结构13则是设置于槽体11内的上半部。淋式结构13可使废水W形成多个较小水流自槽体上半部洒下，如此一来，废水W中的特定成分即会有部分气化，气态的特定成分GSC即可经由排气口 GOP抽离槽体11。于一实施例中，本技术的废水处理装置更包含一第一热交换器20，其设置于进水口 IP的上游侧。第一热交换器20可用以调整废水W至一第一温度。需注意者，依据实际的产线设计，此处所称之调整一词可能包含加热或冷却的意义。于一实施例中，本技术的废水处理装置更包含一第二热交换器30，其设置于排气口 GOP的下游侧。第二热交换器30可用以调整经由排气口排出的特定成分SC至一第二温度。需注意者，依据实际的产线设计或后续处理程序的需求，第二热交换器30的出口端所输出的特定成分SC可为气态或液态。同理，此处所称的调整一词可能包含加热或冷却的意义。需注意者，图1所示的实施例是以一第一热交换器、一淋式导引炉以及一第二热交换器作说明，但不限于此。本技术所属
中具有通常知识者能够以任意数量的上述元件以及不同的组合方式设计出符合实际需求的废水处理装置。以下以处理含氨的废水来说明本技术的废水处理装置的操作流程。首先，将含氨的废水W以第一热交换器20调整至第一温度。举例而言,第一温度的温度范围可为摄氏15至99度。需注意者，此流程可加以省略，而将适当温度的废水直接经由槽体11的进水口 IP引入槽体11。经由进水口 IP引入槽体11的废水W可直接流至槽体11的下半部。较佳者,经由进水口 IP引入槽体11的废水W亦可经由淋式结构13形成较小水流而自槽体11的上半部洒下。接着，循环加热装置12将槽体11下半部的废水W经由循环出水口 COP抽出槽体外加热至一循环温度，再将加热后的废水W经由循环进水口 CIP引入槽体11。于一实施例中，循环温度的温度范围可为摄氏25至99度。经由环进水口 CIP引入槽体11的废水是经由淋式结构13形成较小水流而自槽体11的上半部洒下。可以理解的是，适当温度的废水以较小水流洒下时，部分废水即会气化，如同淋浴时热水自莲蓬头或花洒流出所产生的蒸气。而气化的废水中则包含较高浓度的氨。可以理解的是，较细小的水流可增加废水与空气的接触面积，进而提升气化的效率。未气化的废水则流至槽体11的下半部，以进行下一次循环加热。当未气化的废水中氨浓度降低至一设定值时，较低浓度废水LCW即可经由排水口OP排出槽体外。最后，包含较高浓度氨的气化废水可经由排气口 GOP抽离槽体11，再经第二热交换器30调整至一第二温度。举例而言，第二温度的温度范围可为摄氏-10至99度。第二温度可依据欲获得气态或液态的产物来决定。举例而言，第二热交换器30的出口端欲获得气态的产物，则应设定较高的第二温本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废水处理装置，其特征在于，其用以自一废水中分离出一特定成分，该废水处理装置包含： 一淋式导引炉，其包含： 一槽体，其具有一进水口、一循环进水口、一循环出水口、一排水口以及一排气口，其中，该废水经由该进水口引入至该槽体，该循环进水口以及该排气口设置于该槽体的上半部，且该循环出水口以及该排水口设置于该槽体的下半部； 一循环加热装置，其设置于该循环进水口以及该循环出水口之间，用以将该槽体下半部的该废水抽出该槽体外加热至一循环温度，并将加热后的该废水经由该循环进水口引入该槽体；以及 一淋式结构，其设置于该槽体内的上半部，用以使该废水形成多个较小水流洒下，其中，该废水中的该特定成分气化并经由该排气口抽离该槽体。

【技术特征摘要】
1.一种废水处理装置，其特征在于，其用以自一废水中分离出一特定成分，该废水处理装置包含: 一淋式导引炉，其包含: 一槽体，其具有一进水口、一循环进水口、一循环出水口、一排水口以及一排气口，其中，该废水经由该进水口引入至该槽体，该循环进水口以及该排气口设置于该槽体的上半部，且该循环出水口以及该排水口设置于该槽体的下半部； 一循环加热装置，其设置于该循环进水口以及该循环出水口之间，用以将该槽体下半部的该废水抽出该槽体外加热至一循环温度，并将加热后的该废水经由该循环进水口引入该槽体；以及 一淋式结构，其设置于该槽体内的上半部，用以使该废水形成多个较小水流洒下，其中，该废水中的该特定成分气化并经 由该排气口抽离该槽体。2.如权利要求1所述的废水处理装置，其特征在于，该循环温度的温度范围为摄氏25至99度。3.如权利要求1所述的废水处理装置，其特征在于，更包含: 一第一热交换器，其设置于该进水口的上游侧，用以调整该废水至一第一温度。4.如权利要求3所述的废水处理装置，其特征在于，该第一温度的温度范围为摄氏15至99度。5.如权利要求1所述的废水处理装置，其特征在于，更包含: 一第二热交换器，其设置于该排气口的下游侧，用以调整经由该排气口排出的该特定成分至一第二温度。6.如权利要求5所述的废水处理装置，其特征在于，该第二温度的温度范围为摄氏-10至99度。7.如权利要求5所述的废水处理装置，其特征在于，该第二热交换器的出口端为气态或液态的该特定成分。8.如权利要求1所述的废水处理装置，其特征在于，该槽体包含一隔热结构。9.如权利要求1所述的废水处理装置，其特征在于，该循环加热装置连接至该循环进水口的一管路包含一隔热结构。10.如权利要求1所述的废水处理装置，其特征在于，该循环加热装置连接至该循环出水口的一管路包含一隔热结构。11.一种含氨废水处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨名翔，范尚圣，
申请(专利权)人：杨名翔，范尚圣，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71