【技术实现步骤摘要】
一种同步驱动定位平台
本技术属于高精度定位平台的生产制造
,具体涉及一种同步驱动定位平台。
技术介绍
高精度定位平台以其具备多工设计、体积小、重量轻、高精度与高刚性、以及组装维护方便等优点广泛应用于超精密加工、生物工程、微电子工程、微机电系统的制造与检测、大规模集成电路的生产、纳米科学与技术等关系国计民生的重要领域。随着科学技术的不断发展,对平台定位精度的要求也越来越高,双边驱动的定位平台存在运动不同步的问题,由于两侧定位平台的移动量存在偏差,经常出现平台左右侧一前一后的倾斜情况,工作时易产生扭摆误差,影响平台的定位精度,从而影响产品的加工精度。而且,若平台工作时的扭摆误差较大,则会导致定位平台移动时的摩擦力增加,严重时可能会出现卡死现象,驱动电机则会由于超负荷运行造成烧毁损坏,严重影响驱动电机的使用寿命,使得生产使用成本增加。目前,多数研究者们着力从控制上解决定位平台的不同步问题,主要是采用统一驱动器同步控制的方法来驱动双边驱动电机同时运行,以提高定位精度,但双边的驱动电机仍存在差异,不同步现象仍然存在。 鉴于以上问题,有必要提出一种高精度的同 ...
【技术保护点】
一种同步驱动定位平台,其特征在于,包括底座、运动平台与驱动电机,所述驱动电机包括设置于所述运动平台下表面上的电机动子,与设置于所述底座上表面上与所述电机动子相对应的电机定子;所述电机动子为线圈或永磁体,所述电机定子为与所述电机动子相对应的永磁体或线圈,所述电机动子与电机定子均沿运动平台的中心对称布置,所述线圈为对称布置的左右两组,左边线圈的三相绕组A1、B1、C1与右边线圈的三相绕组A2、B2、C2对应相并联,并联支路数为2,形成一台驱动电机的绕组,并电连接于同一台驱动器上;所述底座与所述运动平台上对应设置有相互匹配的导轨。
【技术特征摘要】
1.一种同步驱动定位平台,其特征在于,包括底座、运动平台与驱动电机,所述驱动电机包括设置于所述运动平台下表面上的电机动子,与设置于所述底座上表面上与所述电机动子相对应的电机定子; 所述电机动子为线圈或永磁体,所述电机定子为与所述电机动子相对应的永磁体或线圈,所述电机动子与电机定子均沿运动平台的中心对称布置,所述线圈为对称布置的左右两组,左边线圈的三相绕组ApB1X1与右边线圈的三相绕组4為、(:2对应相并联,并联支路数为2,形成一台驱动电机的绕组,并电连接于同一台驱动器上; 所述底座与所述运动平...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘吉柱,孙立宁,任子武,陈立国,汝长海,陈涛,潘明强,王阳俊,
申请(专利权)人:苏州大学,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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