背钝化层结构、背钝化P型太阳能电池及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种背钝化层结构及其制备方法，该结构采用Al2O3薄膜与TiO2薄膜的叠层膜结构作为背钝化层结构，由于TiO2薄膜可以使用喷涂法由钛酸丁酯加热分解制得，具体可通过将硅片放置在加热基板上，将钛酸丁酯均匀喷涂在硅片上面，钛酸丁酯经高温分解而形成TiO2薄膜；因此其制备非常简单，不需要复杂的制备设备。与目前制备SiN薄膜的PECVD真空镀膜设备相比较，其设备占地空间小、设备结构简单、价格便宜。因而为常规产线进行背钝化电池改造提供了可能。同时，还公开了一种背钝化P型太阳能电池及其制备方法，该电池采用Al2O3薄膜与TiO2薄膜的叠层膜结构作为背钝化层结构。

【技术实现步骤摘要】
背钝化层结构、背钝化P型太阳能电池及其制备方法
本专利技术涉及太阳能电池
，特别涉及一种背钝化层结构、背钝化P型太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
太阳能电池是一种通过光伏效应将太阳能转化为电能的半导体器件，其作为一种新能源材料越来越受到人们的关注。提高光电转化效率和降低生产成本是当今太阳能电池研究的两个主要方面。影响太阳能电池光电转化效率的因素很多，但这些因素都可归结为太阳光子的利用率和表面复合情况。提高太阳光的利用率可通过减少光的反射来实现:光线照射到电池正表面，一部分光在娃片表面被反射掉，另外的部分可透射进入娃片内部，为了充分利用太阳光，可在娃片表面形成绒面和增加减反射膜，以减少光线在硅片表面的反射损失。进入硅片内部的光子在传播过程中不断被吸收，但还有相当一部分到达了硅片的基底及背表面，而这些地方的高复合速率是影响太阳能电池效率的主要因素。因此，背钝化的研究显得十分重要。由于传统的常规电池转换效率目前已经很难提高，背钝化电池技术作为高效太阳能电池技术的一种正在被越来越多的厂家所使用。目前传统的背钝化层结构通常包括=Al2O3薄膜层以及覆盖在Al2O3薄膜层上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种背钝化层结构，其特征在于，包括：Al2O3薄膜，沉积在P型硅片的背面上；TiO2薄膜，覆盖在所述Al2O3薄膜上；其中，所述TiO2薄膜的厚度为50‑200纳米。

【技术特征摘要】
1.一种背钝化层结构，其特征在于，包括: Al2O3薄膜，沉积在P型硅片的背面上； TiO2薄膜，覆盖在所述Al2O3薄膜上； 其中，所述TiO2薄膜的厚度为50-200纳米。2.如权利要求1所述的背钝化层结构，其特征在于，所述Al2O3薄膜的厚度为5-30纳米。3.一种背钝化层结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 在P型硅片的背面上沉积Al2O3薄膜； 将P型硅片放置在加热基板上进行加热； 将钛酸丁酯均匀喷涂在Al2O3薄膜上，钛酸丁酯经高温分解而形成TiO2薄膜； 其中，所述TiO2薄膜103的厚度为50-200纳米。4.一种背钝化P型太阳能电池，其特征在于，该背钝化P型太阳能电池包括背钝化层结构，其中，所述背钝化层结构具体包括: Al2O3薄膜，沉积在P型硅片的背面上； TiO2薄膜，覆盖在所述Al2O3薄膜上； 其中，所述TiO2薄膜的厚度为50-200纳米。5.如权利要求4所述的背钝化P型太阳能电池，其特征在于，所述Al2O3薄膜的厚度为5-30纳米。6.一种背钝化P型太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤: 提...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈璐，吴翔，董鹏，高鹏，宋志成，郭永刚，屈小勇，王举亮，
申请(专利权)人：中电投西安太阳能电力有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61