锁紧机构及真空腔室制造技术

本实用新型专利技术提出了一种锁紧机构及真空腔室，包括气缸、与气缸相连的铰链座、与气缸相连的气缸用连杆、与气缸用连杆相固定的第一关节轴承、与第一关节轴承相连的锁紧杆、设置于锁紧杆上的锁紧螺丝、与锁紧杆相连的第二关节轴承以及与第二关节轴承相连锁紧支撑座；锁紧机构整体结构简单，使用方便可靠，功能易于实现，可高频率的使用，当应用至真空腔室上时，锁紧机构可对真空腔室提供持续的锁紧力，使真空腔室始终处于锁紧密封的状态，保证真空腔室的锁紧密封效果。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种锁紧机构，其特征在于，所述锁紧机构包括：气缸、铰链座、气缸用连杆、第一关节轴承、锁紧杆、锁紧螺丝、第二关节轴承以及锁紧支撑座；其中，所述铰链座与所述气缸相连；所述气缸用连杆的一端与所述气缸相连，另一端与所述第一关节轴承的一端相固定；所述锁紧杆与所述第一关节轴承的另一端相连；所述锁紧螺丝设置于所述锁紧杆上；所述第二关节轴承的一端与所述锁紧杆相连，所述锁紧支撑座与所述第二关节轴承的另一端相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：侯富昌，余斌，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31