基于微透镜阵列的激光扩束匀光器制造技术

技术编号:10307095 阅读:191 留言:0更新日期:2014-08-08 09:30
基于微透镜阵列的激光扩束匀光器,属于激光扩束领域。所述激光扩束匀光器依次由位于同一直线上的第一级微透镜阵列、可变光阑和第二级微透镜阵列构成,三者的屏边平行,组成共轴系统。其中,第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的微透镜元参数相同,微透镜元直径为p,微透镜阵列的后焦距为f;第一级微透镜阵列的直径为D1,可变光阑的最大直径为D2,第二级微透镜阵列的直径为D3,两级微透镜阵列之间的距离为d,可变光阑距第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的距离分别为f和d-f。本发明专利技术通过应用微透镜阵列取代单透镜设计扩束系统,改善扩束光学系统像差质量,简化系统结构,提高扩束比,降低了系统装调的精度要求。

【技术实现步骤摘要】
基于微透镜阵列的激光扩束匀光器
本专利技术属于激光扩束领域,涉及一种基于微透镜阵列光学元件的光学系统,可用于激光扩束和激光投影。
技术介绍
传统的激光扩束器件是以两个单透镜(聚焦镜)组成,前一个透镜将激光光束聚焦在其像方焦点上(也是后一透镜的物方焦点),后一透镜把焦面上的光以平行光透射出去,扩束比与前后两个透镜的焦距比有关。这种反望远镜式的扩束系统,要取得大的扩束t匕,必须采用较大口径的透镜,而大口径的透镜,无论是加工还是装调,都很困难甚至不可能;而且系统质量和体积很大,需要较高的装调精度:更为严重的是,由于透射系统对高能激光有严重的鬼像效应,这使得反望远镜式的扩束系统不能用于大功率高能激光的扩束。目前,这种反望远镜式的扩束系统主要有两种形式:伽利略望远镜式扩束镜和开普勒望远镜式扩束镜,除上述的共有缺点和不足外,还有着各自的缺点和不足。伽利略望远镜式扩束镜包括一个输入的凹透镜和一个输出的凸透镜,一般的尽可能的被设计为小的球面像差,低的波前变形和消色差。它的局限性在于不能容纳空间滤波或者进行大倍率的扩束。开普勒望远镜式扩束镜由两块凸透镜组成,其主要缺点是有较大的像差。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种基于微透镜阵列光学元件的激光扩束系统,其可应用于激光扩束和激光投影,通过应用微透镜阵列取代单透镜设计扩束系统,改善扩束光学系统像差质量,简化系统结构,提高扩束比,降低了系统装调的精度要求。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的: 一种基于微透镜阵列光学元件的激光扩束系统,依次由位于同一直线上的第一级微透镜阵列、可变光阑和第二级微透镜阵列构成,三者的屏边平行,组成共轴系统。其中,第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的微透镜元参数相同,微透镜元直径为P,微透镜阵列的后焦距为f ;第一级微透镜阵列的直径为D1,可变光阑的最大直径为D2,第二级微透镜阵列的直径为D3,第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列之间的距离为d,可变光阑距第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的距离分别为f和d-f。考虑到一般的激光器的出射光束的直径一般在5_左右,本专利技术中第一级微透镜阵列的直径D1 = 10mm,第二级微透镜阵列的直径D3 = 60mm,第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列之间的距离d = 35mm,采用Thorlabs公司的MLA150-7AR微透镜阵列的后焦距为f = 6.7mm, p = 150 μ m,可变光阑的最大直径 D2 = 12.5mm, p、f、D1^ D2 > D3、d 满足下式:本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微透镜阵列的激光扩束匀光器,其特征在于所述激光扩束匀光器依次由位于同一直线上的第一级微透镜阵列、可变光阑和第二级微透镜阵列构成,三者的屏边平行,组成共轴系统;其中,可变光阑距第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的距离分别为f和d‑f,f为微透镜阵列的后焦距,d为第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列之间的距离。

【技术特征摘要】
1.一种基于微透镜阵列的激光扩束匀光器,其特征在于所述激光扩束匀光器依次由位于同一直线上的第一级微透镜阵列、可变光阑和第二级微透镜阵列构成,三者的屏边平行,组成共轴系统;其中,可变光阑距第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的距离分别为f和d-f,f为微透镜阵列的后焦距,d为第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列之间的距离。2.根据权利要求1所述的基于微透镜阵列的激光扩束匀光器,其特征在于所述第一级微透镜阵列和第二级微透镜阵列的微透镜元参数相同。3.根据权利要求2所述的基于微透镜阵列的激光扩束匀光器,其特征在于所述微透镜元直径P ...

【专利技术属性】
技术研发人员:王玉雷王玉涛汪东生朱成伟李韬党凡阳郝成龙周辉岳猛陈占良万子南范志刚
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学
类型:发明
国别省市:黑龙江;23

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