【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种离子注入机外部门状态监控装置包括依次串联的门行程开关，所述门行程开关设有常开触点和常闭触点，其特征在于：所述立体注入机外部门状态监控装置还包括有门状态指示器，所述的门状态指示器由电阻和发光二极管依次串联组成并串接在门行程开关的常闭触点之后。本设计充分利用闲置常闭触点用来监控离子注入机门的开闭状态。【专利说明】一种离子注入机外部门状态监控装置
本技术涉及离子注入机外部门状态监控装置，属于工业控制系统
。
技术介绍
离子注入机是集成电路制造工序中的关键设备，离子注入机是一种高电压、具有一定辐射、装有特种气体及部分部件高速旋转的设备，为了防止工作时高压电击、辐射、气体泄漏及运动部件压伤等危及人身安全的事件发生，在离子注入机进入工作状态之前需要确保外部防护门全部关闭，而且注入机在制造时增加了安全互锁，即在工作时所有门不允许打开，一旦开启，注入机将无法正常工作。目前的外部防护门监控电路是由多个门开关与高压保护继电器直接串联，只要其中有一个门没有关闭，高压保护继电器就不会吸合，离子注入机就不会正常工作，从而起到保护作用，但是有很多注入机设计时只是显示外部防护门有没有关好，而外部防护门有多扇，并没有显示那一扇门没有关好，这给设备的维修保养带来不便，一旦出现该故障，维修人员就必须对所有外部防护门逐一查找，才能够发现故障点，而且测量不方便，浪费人力及生产时间，造成注入机产能下降，生产效率降低。因此设计一个能够逐一显示每扇外部门状态的监控装置势在必行，以减轻维修工作量和提高设备利用率。
技术实现思路
本技术的目的:旨在提供一种结构简单，安全...
【技术保护点】
一种离子注入机外部门状态监控装置，包括依次串联的门行程开关（1），所述门行程开关（1）设有常开触点（1.1）和常闭触点（1.2），其特征在于：所述立体注入机外部门状态监控装置还包括有门状态指示器，所述的门状态指示器由电阻（2）和发光二极管（3）依次串联组成并串接在门行程开关（1）的常闭触点（1.2）之后。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭杰，
申请(专利权)人：上海广奕电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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