制备用于输入到腔室中的混合物的装置制造方法及图纸

技术编号:10012287 阅读:131 留言:0更新日期:2014-05-08 01:53
本发明专利技术提供了一种制备用于输入到腔室中的混合物的装置,包括:液力系统,其包括机械-液力接口件;气动系统,其包括连接到所述机械-液力接口件上的机械-气动接口件;第一管道,其用于将液体组分输入到所述液力系统中;第二管道,其用于将气体组分从压缩机处输入到所述气动系统中;第三管道,其用于输入至少一个液或气组分;用于输出包括所述至少一个液或气组分、所述气体组分和所述液体组分的混合物的系统;第一外壳,其配置来容纳所述液力系统;以及第二外壳,其配置来容纳所述气动系统,第一外壳和第二外壳被配置成位于管道中,所述装置的液力系统和气动系统位于第一外壳和第二外壳内的圆柱形销上以提供结合的机械-液力和机械-气动接口件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:D·利夫希茨L·泰西纳
申请(专利权)人:湍流能量公司
类型:发明
国别省市:

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