下载一种压电谐振器的制备方法及压电谐振器的技术资料

文档序号:17783669

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本发明实施例公开了一种压电谐振器的制备方法及压电谐振器,其方法具体包括:在第一衬底上生长材料层;在第二衬底的一侧平面上形成一个凹槽;将所述第一衬底和其上生长的所述材料层与所述第二衬底的一侧表面固定形成空腔;将所述第一衬底与其上生长的所述材料...
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