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文档序号:16156685

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半导体装置100包括:栅电极126,配置于沟槽122内,并且,在侧壁的部分经由栅极绝缘膜124与p型基极区域116相对;屏蔽电极130,配置于沟槽122内,并且,位于栅电极126与沟槽122的槽底之间;沟槽22内的电气绝缘区域128,在栅电...
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