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文档序号:15341793
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本发明提供一种在确保耐久性的基础上,能够进行高精度的流量调整的流体控制器。本发明的流体控制器具备用于设定伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量的上限值的阀杆上下移动量上限值设定单元(10),还具备使伴随着开闭的阀杆(8)的上下移动量在上限值以下...
该专利属于株式会社富士金所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士金授权不得商用。
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