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光学探测器、可装配盖和形状测量设备制造技术
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文档序号:11859835
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本发明涉及一种光学探测器、可装配盖和形状测量设备。光学探测器包括探测器盖,其中在该探测器盖内,安装了具有照射光学系统和接收光学系统的光学系统。在探测器盖的形成与工件相对的相对区域的底面设置用于使光穿过的出射区域和入射区域。另外,在探测器盖的...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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