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用于光电编码器的标尺制造技术
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下载用于光电编码器的标尺的技术资料
文档序号:10828097
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一种用于光电编码器的标尺,包括标尺基板和在标尺基板上以预定节距形成的反射膜。反射膜的表面形成反射面。低反射面通过蚀刻反射膜之间标尺基板而形成。因此,可提供一种标尺,其成本较低且具有令人满意的生产率。...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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