下载用于光电编码器的标尺的技术资料

文档序号:10828097

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一种用于光电编码器的标尺,包括标尺基板和在标尺基板上以预定节距形成的反射膜。反射膜的表面形成反射面。低反射面通过蚀刻反射膜之间标尺基板而形成。因此,可提供一种标尺,其成本较低且具有令人满意的生产率。...
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