下载高电子迁移率晶体管及其形成方法的技术资料

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一种半导体结构包括第一III-V族化合物层。第二III-V族化合物层设置在第一III-V族化合物层上并且在组成上与第一III-V族化合物层不同。介电钝化层设置在第二III-V族化合物层上。源极部件和漏极部件设置在第二III-V族化合物层上,...
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