用于致动器阵列的个别寻址和噪声降低的装置和方法制造方法及图纸

技术编号:9529743 阅读:165 留言:0更新日期:2014-01-02 19:15
提供一种用于生成目标物理效应的装置,所述目标物理效应的至少一个属性对应于周期性取样的数字输入信号的至少一个特性,所述装置包括:许多静电致动器元件,每个静电致动器元件包括在第一电极与第二电极之间移动的移动元件,许多静电致动器元件包括致动器元件的Nr个第一子集(R子集)和致动器元件的Nc个第二子集(C子集),其中许多致动器元件的第一划分产生Nr个第一子集(R子集),并且许多致动器元件的第二划分产生Nc个第二子集(C子集);第一多个Nr电气连接件(R布线),其使每个R子集中的致动器元件的移动元件互连,以使得每个个别R子集中的任何致动器元件的移动元件电连接到个别R子集中的所有其他致动器元件的移动元件,并且与未在个别R子集中的所有致动器元件的移动元件电隔离;第二多个Nc电气连接件(A布线),其使每个C子集中的致动器元件的第一电极互连,以使得每个个别C子集中的任何致动器元件的第一电极电连接到个别C子集中的所有其他致动器元件的第一电极,并且与未在个别C子集中的所有致动器元件电隔离;第三多个Nc电气连接件(B布线),其使每个C子集中的致动器元件的第二电极互连,以使得每个个别C子集中的任何致动器元件的第二电极电连接到个别C子集中的所有其他致动器元件的第二电极,并且与未在个别C子集中的所有致动器元件电隔离;以及电连接到第一、第二和第三多个电气连接件的控制器,其可操作以接收数字输入信号,以及向所述电气连接件中的每个分别施加电势的预定有限集中的一个,以使得移动元件的所得移动一起产生所需的物理效应。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:A·H·艾瑞克D·卢因S·卡普兰M·本西蒙Y·科恩
申请(专利权)人:音频像素有限公司
类型:
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