【技术实现步骤摘要】
一种自动触发抽真空的装置
[0001]本技术涉及抽真空装置,尤其涉及一种自动触发抽真空的装置,主要应用于半导体、光电、光伏、新能源等行业危险气体输送设备内。
技术介绍
[0002]目前,危险气体输送设备内部未配置AV气动阀,当有PT压力传感器前端阀门发生内漏时,泄露气体可以随时直接通过BAV微漏气动阀、CV单向阀及VG真空发生器通过TUBE排空管排空至后端尾气处理设备,不能在第一时间发现设备阀门故障,保障设备安全温度运行。因此,研发一种自动触发抽真空的装置,成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0003]本技术是为了解决上述不足,提供了一种自动触发抽真空的装置。
[0004]本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现:一种自动触发抽真空的装置,包括BAV微漏气动阀(带微漏功能的气动阀)、CV单向阀和VG真空发生器,所述BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器依次串接,所述VG真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接,其特征在于:所述危险气体输送设备的气体输送管上设有PT压力传感器和AV气动阀,所述AV气动阀位于PT压力传感器和VG真空发生器之间。
[0005]进一步地,所述PT压力传感器连接PLC控制器,PLC控制器通过YV电磁阀控制AV气动阀及BAV微漏气动阀开启和关闭。
[0006]本技术与现有技术相比的优点是:本技术的自动触发抽真空的装置,通过PT压力传感器数值的变动触发警报到PLC控制器,通过PLC控制器控制打开AV气动阀及BAV微漏气动阀进行排 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动触发抽真空的装置,包括BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器,所述BAV微漏气动阀、CV单向阀和VG真空发生器依次串接,所述VG真空发生器的吸气口与危险气体输送设备的气体输送管连接,其特征在于:所述危险气体输送设备的气体输送管上设有PT压...
【专利技术属性】
技术研发人员:岳军,
申请(专利权)人:上海赋利电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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