【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种光加工装置，其由光源部和聚光照射单元组成，其特征在于，上述光源部，是用聚光光学系统使激光聚光照射靶子、使发生用于被加工物有效地产生光吸收的紫外光和／或软Ｘ射线的光源部；上述聚光照射单元，具有根据上述紫外光和／或软Ｘ射线的 波长、把紫外光和／或软Ｘ射线聚光为高能量密度的光学系统，把被聚光为该高能量密度的紫外光和／或软Ｘ射线以规定的图形照射被加工物，来加工和／或改性上述被加工物。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：牧村哲也，村上浩一，
申请(专利权)人：独立行政法人科学技术振兴机构，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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