一种与大致平面状的基片一起使用的双面成像系统和方法技术方案

一种与大致平面状的基片一起使用的双面成像系统，包括：气流传送装置，该气流传送装置用于以悬浮状态将大致平面状的基片至少传送到一个成像位置，所述平面状基片选自基片组：印刷线路板、平板显示器和互连装置基片；图像获取装置，该图像获取装置位于所述成像位置，用于在所述平面状基片由所述气流传送装置悬浮时使所述平面状基片双面成像。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术总体上涉及物品输送系统及方法，更具体地说，本专利技术涉及使用该输送系统的成像系统及方法。
技术介绍
用于输送适用于激光直接记录系统和检查系统等成像系统的物品的系统及方法，其特征尤其在于具有高度精确和高度可重复的运输速度。而且，这种系统和方法被设置为保持物品相对于成像装置位于精确的预定方位，包括精确的距离，并被设置为将正在成像装置上被运输的物品受其它装载到系统或从系统卸载的物品的机械干扰降至最小。
技术实现思路
本专利技术总的方面涉及一种改进的物品输送系统及方法，该系统及方法使用一种在输送过程中悬浮物品的物品悬浮装置。一种压平装置被设置用于确保该物品的悬浮部分在处理过程中相对于处理器被精确保持在一个希望的方位。该压平装置优选以非接触方式工作。这种输送系统可以被用来传送大致平面状的基片，尤其是在需要满足下列一条或多条要求的地方运输速度上较高的一致性、基片方位相对于处理器(如图像获取系统或图像生成装置)高度精确、或避免在处理过程中例如因为在该输送系统上装载或卸载其它基片而引起的对基片的干扰。这种系统的典型应用包括平板显示器和电路如印刷线路板和半导体晶片的检查和测试，如自动光学检查、电气测试和功能测试，以及在光敏表面如内制平板显示器、电路、标线片及拍照工具上形成图像。其它典型应用包括用于传送平面薄片物质如金属薄片、平面塑料薄片和任何其它合适的薄片物质的系统。于是，按照本专利技术的一个优选实施例，提供了一种与大致平面状的基片一起使用的成像系统，包括用于传送平面状基片到至少一个成像位置的气流传送装置，该气流传送装置至少在成像位置具有气流基片压平功能，还包括一种位于成像位置的成像装置，用于在该平面状基片由气流基片压平功能件压平时使该平面状基片成像。另外，气流传送装置可以被用于传送平面状基片离开成像位置。成像装置优选包括一个图像获取装置，如一个可以进行电气测试的自动光学检查装置、度量装置或任何其它合适的图像获取装置。作为替换或作为补充，该成像装置可以包括图像生成装置，如调制激光扫描器。气流传送装置优选包括一个气流悬浮装置。作为替换或作为补充，该气流传送装置可以包括气流型抑制装置。作为替换或作为补充，该气流传送装置可以包括一个放置装置，用于将平面状基片朝向或/和远离成像位置放置。气流基片压平功能件优选包括真空型抑制器。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括一个气流抽吸装置或出口，用于释放平面状基片下聚集的空气。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括气流型抑制装置。真空型抑制器或气流型抑制装置优选与气流悬浮装置结合使用，以保持基片与参考表面有一个精确的距离。按照本专利技术的一个优选实施例，还提供了一种与大致平面状的基片一起使用的双面成像系统，包括用于将平面状基片以悬浮状态传送到至少一个成像位置的气流传送装置，还包括位于成像位置的成像装置，用于在该平面状基片由气流传送装置悬浮时使其两相对面成像。另外，气流传送装置可以被用于传送平面状基片离开成像位置。成像装置优选包括图像获取装置，如自动光学检查装置。作为替换或作为补充，该成像装置可以包括图像生成装置。作为选择，该成像装置从平面状基片的第一面提供照明并从该基片的反面获取图像。气流传送装置优选包括气流型抑制装置或真空型抑制器。作为替换或作为补充，该气流传送装置可以包括放置装置，用于将平面状基片朝向或/和远离成像位置放置。气流基片压平功能件优选包括真空型抑制器。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括气流抽吸装置。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括气流型抑制装置。真空型抑制器或气流型抑制装置优选与气流悬浮装置结合使用，以保持基片与参考表面有一个精确的距离。按照本专利技术的一个优选实施例，还提供了一种气流传送系统，包括气流产生装置和用于传送平面状基片的气流悬浮传送装置。该气流传送装置优选包括用于放置平面状基片的放置装置和气流基片压平装置，该压平装置至少在悬浮传送装置的一个区域压平悬浮状态的平面状基片。气流传送装置优选包括气流型抑制装置。气流基片压平功能件优选包括真空型抑制器。作为替换或作为补充，该气流压平功能包括一个气流抽吸装置。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括气流型抑制装置。真空型抑制器或气流型抑制装置优选与气流悬浮装置结合使用，以保持基片与参考表面有一个精确的距离。按照本专利技术的一个优选实施例，还提供了一种平板扫描器系统，包括气流传送装置和扫描器，气流传送装置用于把将被扫描的平面状基片传送到至少一个扫描位置，并且至少在扫描位置具有气流基片压平功能件，扫描器位于扫描位置，用于在平面状基片被气流基片压平功能件压平时扫描该平面状基片。另外，气流传送装置可以被用于传送平面状基片离开成像位置。扫描器优选部分包括图像获取装置。作为替换或补充，该扫描器可以部分包括图像生成装置。作为选择，该扫描器是使用旋转多面镜的激光扫描器。平面状基片优选包括光敏层，这里，图像生成装置包括数据调制激光束装置，用于在该光敏层上曝光想要的图案。气流传送装置优选包括气流悬浮装置。作为替换或作为补充，该气流传送装置可以包括气流型抑制装置或真空型抑制器。作为替换或作为补充，该气流传送装置可以包括放置装置，用于将平面状基片朝向或/和远离成像位置放置。气流基片压平功能件优选包括真空型抑制器。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括气流抽吸装置。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括气流型抑制装置。真空型抑制器或气流型抑制装置优选与气流悬浮装置结合使用，以保持基片与参考表面有一个精确的距离。按照本专利技术的一个优选实施例，还提供了一种悬浮传送装置系统，包括悬浮装置和放置装置，悬浮装置用于相对于一个表面悬浮平面状基片，放置装置用于将平面状基片大致平行于该表面放置。该传送装置系统还包括基片压平装置，用于压平悬浮状态的平面状基片。该悬浮装置优选包括气流悬浮装置。基片压平装置优选包括正压力装置。作为替换或作为补充，该基片压平装置包括真空或抽吸压力装置，形成低于大气压的压力区域。该压平装置优选与悬浮装置结合使用，以保持基片与该表面有一个精确的距离。按照本专利技术的一个优选实施例，还提供了一种用于使大致平面状的基片成像的方法，包括使用气流传送装置传送该平面状基片到至少一个成像位置，该气流传送装置至少在成像位置有气流基片压平功能件；并在该大致平面状的基片被气流基片压平功能件压平时，使用位于成像位置的成像装置使该大致平面状的基片成像。该传送方法还可以包括传送平面状基片离开成像位置。该成像方法优选包括图像获取。作为替换或作为补充，该成像方法可以包括图像生成。作为选择，成像方法包括从平面状基片的一面提供照明并从其反面获取图像。气流传送装置优选包括气流悬浮装置。作为替换或作为补充，该气流传送装置可以包括气流型抑制装置。该气流传送装置优选还包括放置装置，用于将平面状基片朝向或/和远离成像位置放置。气流基片压平功能件优选包括真空型抑制器。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括气流抽吸装置。作为替换或作为补充，该气流基片压平功能件包括气流型抑制装置。真空型抑制器或气流型抑制装置优选与气流悬浮装置结合使用，以保持基片与参考表面有一个精确的距离。按照本专利技术的一个优选实施例，还提供了一种用于使大致平面状的基片双面成像本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种与大致平面状的基片一起使用的双面成像系统，包括：气流传送装置，该气流传送装置用于以悬浮状态将大致平面状的基片至少传送到一个成像位置，所述平面状基片选自基片组：印刷线路板、平板显示器和互连装置基片；图像获取装置，该图像获取装置位于所述成像位置，用于在所述平面状基片由所述气流传送装置悬浮时使所述平面状基片双面成像。

【技术特征摘要】
US 2001-12-27 60/342,3741.一种与大致平面状的基片一起使用的双面成像系统，包括气流传送装置，该气流传送装置用于以悬浮状态将大致平面状的基片至少传送到一个成像位置，所述平面状基片选自基片组印刷线路板、平板显示器和互连装置基片；图像获取装置，该图像获取装置位于所述成像位置，用于在所述平面状基片由所述气流传送装置悬浮时使所述平面状基片双面成像。2.根据权利要求1所述的成像系统，其中所述气流传送装置至少在所述成像位置包括气流基片压平功能件。3.根据权利要求1所述的成像系统，其中所述气流传送装置包括抑制用抽吸装置。4.根据权利要求2所述的成像系统，其中所述气流基片压平功能件包括抑制用气垫。5.根据权利要求2所述的成像系统，其中所述气流基片压平功能件包括抑制用抽吸装置。6.根据权利要求1所述的成像系统，其中所述气流传送装置也被用于传送所述平面状基片离开所述成像位置。7.根据权利要求1所述的成像系统，其中所述气流传送装置包括放置装置，用于将所述平面状基片至少朝向所述成像位置放置。8.根据权利要求1所述的成像系统，其中所述气流传送装置包括放置装置，用于将所述平面状基片远离所述成像位置放置。9.一种用于使大致平面状的基片双面成像的方法，包括以悬浮状态传送平面状基片到至少一个图像获取位置，所述平面状基片选自基片组印刷线路板、平板显示器和互连装置基片；和在所述平面状基片位于所述悬浮状态时，获取所述平面状基片两相对面的图像。10.根据权利要求9所述的方法，其中传送包括使用气流压平装置至少在所述图像获取位置压平所述平面状基片。11.根据权利要求9所述的方法，其中所述传送包括利用抑制用垫抑制所述平面状基片。12.根据权利要求9所述的方法，其中所述压平包括利用抽吸装置压平。13.根据权利要求9所述的方法，其中所述压平包括利用气垫压平。14.根据权利要求9所述的方法，其中所述传送还包括传送所述平面状基片离开所述成像位置。15.根据权利要求9所述的方法，其中所述传送包括以悬浮状态将所述平面状基片至少朝向所述成像位置放置。16.根据权利要求9所述的方法，其中所述传送包括以悬浮状态将所述平面状基片远离所述成像位置放置。17.一种与大致平面状的基片一起使用的双面成像系统，包括气流传送装置，该气流传送装置用于以悬浮状态将印刷线路板基片至少传送到一个成像位置；和图像生成装置，该图像生成装置位于所述成像位置，用于在所述平面状基片由所述气流传送装置悬浮时使所述平面状基片双面成像。18.根据权利要求17所述的平板扫描器系统，其中所述气流传送装置至少在所述成像位置包括气流基片压平功能件。19.根据权利要求17所述的平板扫描器系统，其中所述气流传送装置包括抑制用抽吸装置。20.根据权利要求18所述的成像系统，其中所述气流基片压平功能件包括抑制用气垫。21.根据权利要求18所述的成像系统，其中所述气流基片压平功能件包括抑制用抽吸装置。22.根据权利要求17所述的平板扫描器系统，其中所述气流传送装置也被用于传送所述平面状基片离开所述成像位置。23.根据权利要求17所述的平板扫描器系统，其中所述气流传送装置包括放置装置，用于将所述平面状基片至少朝向所述成像位置放置。24.根据权利要求17所述的平板扫描器系统，其中所述气流传送装置包括放置装置，用于将所述平面状基...

【专利技术属性】
技术研发人员：拉阿南阿丁，尤沃尔亚索尔，
申请(专利权)人：奥博泰克有限公司，科尔弗洛有限公司，
类型：发明
国别省市：IL[以色列]