【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法
本专利技术涉及视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法,更详细地说,涉及针对半导体元件执行视觉检查的视觉检查模块、其元件检查系统及其元件检查方法。
技术介绍
完成封装工艺的半导体元件在完成老化测试等的检查之后装载托盘进行出库。然后,半导体元件在出库之前在半导体元件的表面通过激光等进行用于标记序列号、制造商徽标等的打标工艺,最终经过检查诸如引线(lead)或者球删(ballgrid)损坏与否、裂纹(crack)、划痕(scratch)、剥落(chippedoff)与否等的半导体元件的外观状态及形成在表面的打标合格与否的工艺。以往,这种用于检查半导体元件的外面的检查工艺通常通过利用图像获取工具(例如,摄像头等)一次性拍摄半导体元件的一面和与其一面相邻的4个侧面的图像以获取图像的方式实现。作为一示例,现有的执行半导体元件的视觉检查的装置的构成可与韩国公开专利第10-2017-0024808号的视觉检查模块相同。这种现有的视觉检查模块的情况,元件的平面图像和4个侧面图像,总共5个图像应全部包括在有限的检查区域(图像获取工具的受光面),因此有必要充分保障图像获取工具的FOV(FieldofView,视场)。然而,若要保持预定程度以上的分辨率的同时保障大FOV,则只能使用高价的图像获取工具,因此存在提高装置成本的问题。另外,由于到图像获取工具到元件平面的光路与图像获取工具到元件侧面的光路相互不同,因此如果没有用于补偿这种光路差的单独 ...
【技术保护点】
1.一种视觉检查模块(100),作为执行平面形状为直角四边形的元件(1)的视觉检查的视觉检查模块(100),其特征在于,包括:/n图像获取部(110),用于获取元件(1)的图像;/n光路形成部(120),选择性形成第一光路(L1)和一对第二光路(L2),所述第一光路(L1)为使元件(1)的第一平面的第一平面图像到达所述图像获取部(110),所述一对第二光路(L2)为使所述元件(1)的相对的一对侧面的一对侧面图像到达所述图像获取部(110);/n其中,所述光路形成部(120)包括:固定框架部(126),被固定设置,并且具有一对第一反射部件(122),所述一对第一反射部件(122)与元件(1)的相对的一对侧面对应,将一对侧面图像以与所述第一平面的法线方向平行地反射;移动框架部(128),针对所述固定框架部(126)可移动地设置,根据位置选择性形成所述第一光路(L1)及所述一对第二光路(L2)。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
【国外来华专利技术】20180307 KR 10-2018-00270841.一种视觉检查模块(100),作为执行平面形状为直角四边形的元件(1)的视觉检查的视觉检查模块(100),其特征在于,包括:
图像获取部(110),用于获取元件(1)的图像;
光路形成部(120),选择性形成第一光路(L1)和一对第二光路(L2),所述第一光路(L1)为使元件(1)的第一平面的第一平面图像到达所述图像获取部(110),所述一对第二光路(L2)为使所述元件(1)的相对的一对侧面的一对侧面图像到达所述图像获取部(110);
其中,所述光路形成部(120)包括:固定框架部(126),被固定设置,并且具有一对第一反射部件(122),所述一对第一反射部件(122)与元件(1)的相对的一对侧面对应,将一对侧面图像以与所述第一平面的法线方向平行地反射;移动框架部(128),针对所述固定框架部(126)可移动地设置,根据位置选择性形成所述第一光路(L1)及所述一对第二光路(L2)。
2.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述移动框架部(128)在“形成所述第一光路(L1)的第一位置”和“形成所述一对第二光路(L2)的第二位置”之间可移动地结合于所述固定框架部(126)。
3.根据权利要求2所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述第二位置设定在所述移动框架部(128)遮挡所述第一平面图像的位置,以防止所述第一平面图像到达所述图像获取部(110)。
4.根据权利要求3所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述移动框架部(128)包括多个第二反射部件(124),所述多个第二反射部件(124)向所述图像获取部(110)反射从所述一对第一反射部件(122)反射的一对侧面图像,以在所述第二位置使所述一对侧面图像到达所述图像获取部(110)的受光面(S)的中心部附近。
5.根据权利要求3所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述第一位置设定在所述移动框架部(128)不与所述第一平面图像及所述一对侧面图像发生干涉的位置。
6.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述移动框架部(128)以与所述法线方向垂直的平面方向可进行线性移动地结合于所述固定框架部(126);
所述光路形成部(120)还包括引导部(129),所述引导部(129)引导所述移动框架部(128)针对所述固定框架部(126)以平面方向进行线性移动。
7.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述固定框架部(126)配置有多个所述一对第一反射部件(122),以针对多个元件(1)执行视觉检查。
8.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述视觉检查模块(100)还包括焦点调整部(130),所述焦点调整部(130)调整所述图像获取部(110)的位置以调整焦点。
9.根据权利要求1所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
所述视觉检查模块(100)还包括主反射部件(140),所述主反射部件(140)设置在所述光路形成部(120)及所述图像获取部(110)之间,以朝向所述图像获取部(110)反射所述第一平面图像及所述一对侧面图像。
10.根据权利要求6所述的视觉检查模块(100),其特征在于,
技术研发人员:柳弘俊,白京奂,裵秀珉,张成厦,
申请(专利权)人:宰体有限公司,
类型:发明
国别省市:韩国;KR
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