显示面板制造技术

公开了一种显示面板，该显示面板包括具有第一区域和弯曲的第二区域的基底层。无机层设置在基底层上。下凹槽形成在无机层内并与第二区域重叠。第一薄膜晶体管设置在无机层上，并且包括与第一区域重叠的硅半导体图案。第二薄膜晶体管设置在无机层上，并且包括与第一区域重叠的氧化物半导体图案。绝缘层与第一区域和第二区域重叠。上凹槽形成在绝缘层内。信号线电连接至第二薄膜晶体管。有机层与第一区域和第二区域重叠，并且设置在下凹槽和上凹槽中。发光器件设置在有机层上并与第一区域重叠。

Display panel

A display panel comprising a base layer having a first region and a curved second region is disclosed. The inorganic layer is arranged on the base layer. The lower groove is formed in the inorganic layer and overlaps with the second region. The first thin film transistor is disposed on an inorganic layer and includes a silicon semiconductor pattern overlapping the first region. The second thin film transistor is disposed on an inorganic layer and includes an oxide semiconductor pattern overlapping the first region. The insulation layer overlaps with the first and second regions. The upper groove is formed in the insulating layer. The signal line is connected to the second thin film transistor. The organic layer overlaps the first and second regions and is arranged in the lower and upper grooves. The light emitting devices are arranged on the organic layer and overlap with the first region.

【技术实现步骤摘要】
显示面板
本公开涉及显示面板，以及更具体地，涉及显示面板和制造该显示面板的方法。
技术介绍
显示装置包括多个像素和用于控制多个像素的驱动电路(例如，扫描驱动电路和数据驱动电路)。像素中的每个包括显示元件和用于控制显示元件的像素驱动电路。像素驱动电路包括有机地彼此连接的多个薄膜晶体管。
技术实现思路
显示面板包括基底层，该基底层具有第一区域和相对于第一区域弯曲的第二区域。至少一个无机层与第一区域和第二区域两者重叠，并且设置在基底层上。下凹槽形成在至少一个无机层内并与第二区域重叠。第一薄膜晶体管设置在该至少一个无机层上，并且包括与第一区域重叠的硅半导体图案。第二薄膜晶体管设置在该至少一个无机层上，并且包括与第一区域重叠的氧化物半导体图案。多个绝缘层与第一区域和第二区域两者重叠。上凹槽形成在多个绝缘层内，并且上凹槽从下凹槽延伸。信号线电连接至第二薄膜晶体管。有机层与第一区域和第二区域两者重叠，并且设置在下凹槽和上凹槽两者中。发光器件设置在有机层上并与第一区域重叠。在实施方式中，信号线的与第二区域重叠的部分可设置在有机层上。在实施方式中，显示面板还可包括连接电极，该连接电极设置在有机层上并且通过穿透有机层的接触孔连接至第一薄膜晶体管的输出电极。在实施方式中，显示面板还可包括钝化层，该钝化层设置在有机层上。在实施方式中，发光器件的电极可通过穿透钝化层的接触孔连接至连接电极。在实施方式中，钝化层可设置在信号线上，以及钝化层的与第二区域重叠的部分可与信号线接触。在实施方式中，绝缘层可包括第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层，其中，第一绝缘层覆盖第一薄膜晶体管的硅半导体图案，第二绝缘层设置在第一绝缘层上以覆盖第一薄膜晶体管的控制电极，第三绝缘层设置在第二绝缘层上，以及第四绝缘层设置在第三绝缘层上，以覆盖第二薄膜晶体管的、与第二薄膜晶体管的氧化物半导体图案重叠的控制电极。在实施方式中，显示面板还可包括上电极，该上电极设置在第二绝缘层与第三绝缘层之间，并且与第一薄膜晶体管的控制电极重叠。在实施方式中，显示面板还可包括绝缘图案，该绝缘图案设置在第二薄膜晶体管的氧化物半导体图案与第二薄膜晶体管的控制电极之间。绝缘图案可与第二薄膜晶体管的氧化物半导体图案部分地重叠。在实施方式中，绝缘层还可包括中间绝缘层，该中间绝缘层设置在第三绝缘层与第四绝缘层之间，以部分地覆盖第二薄膜晶体管的氧化物半导体图案。中间绝缘层中限定有暴露第二薄膜晶体管的氧化物半导体图案的两个相对区域的开口。在实施方式中，显示面板还可包括上电极，该上电极设置在第三绝缘层与第四绝缘层之间，并且与第一薄膜晶体管的控制电极重叠。在实施方式中，显示面板还可包括绝缘图案，该绝缘图案设置在第三绝缘层与上电极之间。在实施方式中，显示面板还可包括遮光图案，该遮光图案设置在至少一个无机层与第二薄膜晶体管的氧化物半导体图案之间，并且与第二薄膜晶体管的氧化物半导体图案重叠。在实施方式中，遮光图案可以是导电的。遮光图案可配置成接收偏置电压。遮光图案可电连接至第二薄膜晶体管的控制电极。在实施方式中，第一薄膜晶体管的硅半导体图案、第一薄膜晶体管的控制电极或与第一薄膜晶体管的控制电极重叠的上电极中的至少一个可设置在与遮光图案相同的层上，并且可包括与遮光图案相同的材料。在实施方式中，至少一个无机层可包括交替堆叠的氧化硅层和氮化硅层。在实施方式中，至少一个无机层的顶表面的一部分可与有机层接触。在实施方式中，第二区域包括曲率区域和对置区域，其中，曲率区域连接至第一区域并以特定的曲率弯曲，对置区域连接至曲率区域并面向第一区域。信号线可包括第一部分、第二部分和第三部分，其中，第一部分与第一区域重叠并电连接至第二薄膜晶体管，第二部分与曲率区域重叠并设置在与第一部分不同的层上，以及第三部分与对置区域重叠并设置在与第二部分不同的层上。在实施方式中，显示面板还可包括连接电极，该连接电极将第一部分连接至第二部分或将第三部分连接至第二部分。根据本专利技术构思的实施方式，制造显示面板的方法可包括：在基底层上形成至少一个无机层，该基底层包括第一区域和从第一区域延伸的第二区域，该至少一个无机层与第一区域和第二区域重叠；在该至少一个无机层上形成硅半导体图案，以与第一区域重叠；在该硅半导体图案上形成第一控制电极，以与硅半导体图案重叠，在它们之间插置有第一绝缘层；在该第一控制电极上形成上电极，以与第一控制电极重叠，在它们之间插置有第二绝缘层；形成第三绝缘层，以覆盖上电极；在第三绝缘层上形成氧化物半导体图案；在氧化物半导体图案上形成第二控制电极，以与氧化物半导体图案重叠；形成第四绝缘层，以覆盖第二控制电极；执行第一蚀刻步骤，该步骤包括部分地移除第一绝缘层至第四绝缘层，从而形成分别暴露硅半导体图案的第一部分和第二部分的第一接触孔和第二接触孔，以及形成暴露至少一个无机层的与第二区域重叠的部分的上凹槽；执行第二蚀刻步骤，该步骤包括部分地移除第四绝缘层，从而形成分别暴露氧化物半导体图案的第一部分和第二部分的第三接触孔和第四接触孔，以及部分地移除至少一个无机层，从而在至少一个无机层的第二区域中形成下凹槽，该下凹槽从上凹槽延伸；执行电极形成步骤，该步骤包括形成第一输入电极和第一输出电极，第一输入电极和第一输出电极分别连接至硅半导体图案的第一部分和第二部分，以及形成第二输入电极和第二输出电极，第二输入电极和第二输出电极分别连接至氧化物半导体图案的第一部分和第二部分；形成有机层，以覆盖第一输入电极、第一输出电极、第二输入电极和第二输出电极，并且有机层设置在上凹槽和下凹槽中；执行第三蚀刻步骤，该步骤包括部分地移除有机层，从而形成暴露第一输出电极的第五接触孔；以及在有机层上形成发光器件，该发光器件电连接至第一输出电极。在实施方式中，该方法还可包括：在有机层上形成连接电极和信号线，其中，连接电极连接至第一输出电极，信号线与第二区域重叠；在有机层上形成钝化层，以覆盖连接电极和信号线；以及执行第四蚀刻步骤，该步骤包括部分地移除钝化层，从而形成暴露连接电极的第六接触孔。发光器件可通过连接电极连接至第一输出电极。在实施方式中，形成发光器件可包括：在钝化层上形成发光器件的第一电极，发光器件的第一电极连接至连接电极；以及在钝化层上形成像素限定层，该像素限定层包括暴露发光器件的第一电极的开口。在实施方式中，钝化层的与第二区域重叠的部分可与信号线接触。在实施方式中，该方法还可包括在至少一个无机层与第一绝缘层之间形成遮光图案，以与氧化物半导体图案重叠。在实施方式中，至少一个无机层的顶表面的一部分可与有机层接触。制造显示面板的方法包括在基底层上形成至少一个无机层。该基底层包括第一区域和从第一区域延伸的第二区域。该至少一个无机层与基底层的第一区域和第二区域重叠。在该至少一个无机层上形成硅半导体图案。硅半导体图案与基底层的第一区域重叠。在硅半导体图案上形成第一控制电极。第一控制电极与硅半导体图案重叠，其中，第一控制电极与硅半导体图案之间插置有第一绝缘层。在该第一控制电极上形成上电极。上电极与第一控制电极重叠，其中，上电极与第一控制电极之间插置有第二绝缘层。形成第三绝缘层，覆盖上电极。在该第三绝缘层上形成氧化物半导体图案。在该氧化物半导体图案上形成第二控制电极，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.显示面板，包括：基底层，包括第一区域和相对于所述第一区域弯曲的第二区域；至少一个无机层，与所述第一区域和所述第二区域两者重叠，并且设置在所述基底层上；下凹槽，形成在所述至少一个无机层内并与所述第二区域重叠；第一薄膜晶体管，设置在所述至少一个无机层上，并且包括与所述第一区域重叠的硅半导体图案；第二薄膜晶体管，设置在所述至少一个无机层上，并且包括与所述第一区域重叠的氧化物半导体图案；多个绝缘层，与所述第一区域和所述第二区域两者重叠；上凹槽，形成在所述多个绝缘层内并从所述下凹槽延伸；信号线，电连接至所述第二薄膜晶体管；有机层，与所述第一区域和所述第二区域两者重叠，并且设置在所述下凹槽和所述上凹槽两者中；以及发光器件，设置在所述有机层上并与所述第一区域重叠。

【技术特征摘要】
2017.10.13 KR 10-2017-0133551;2018.02.13 KR 10-2011.显示面板，包括：基底层，包括第一区域和相对于所述第一区域弯曲的第二区域；至少一个无机层，与所述第一区域和所述第二区域两者重叠，并且设置在所述基底层上；下凹槽，形成在所述至少一个无机层内并与所述第二区域重叠；第一薄膜晶体管，设置在所述至少一个无机层上，并且包括与所述第一区域重叠的硅半导体图案；第二薄膜晶体管，设置在所述至少一个无机层上，并且包括与所述第一区域重叠的氧化物半导体图案；多个绝缘层，与所述第一区域和所述第二区域两者重叠；上凹槽，形成在所述多个绝缘层内并从所述下凹槽延伸；信号线，电连接至所述第二薄膜晶体管；有机层，与所述第一区域和所述第二区域两者重叠，并且设置在所述下凹槽和所述上凹槽两者中；以及发光器件，设置在所述有机层上并与所述第一区域重叠。2.根据权利要求1所述的显示面板，其中，所述信号线的一部分与所述第二区域重叠并设置在所述有机层上。3.根据权利要求1所述的显示面板，还包括：连接电极，设置在所述有机层上，并且通过穿透所述有机层的第一接触孔连接至所述第一薄膜晶体管的输出电极。4.根据权利要求3所述的显示面板，还包括：钝化层，设置在所述有机层上。5.根据权利要求4所述的显示面板，其中，所述发光器件的电极通过穿透所述钝化层的第二接触孔连接至所述连接电极。6.根据权利要求4所述的显示面板，其中，所述钝化层设置在所述信号线上，以及所述钝化层的与所述第二区域重叠的部分与所述信号线接触。7.根据权利要求1所述的显示面板，其中，所述绝缘层包括：第一绝缘层，覆盖所述第一薄膜晶体管的所述硅半导体图案；第二绝缘层，设置在所述第一绝缘层上，并覆盖所述第一薄膜晶体管的控制电极；第三绝缘层，设置在所述第二绝缘层上；以及第四绝缘层，设置在所述第三绝缘层上，并覆盖所述第二薄膜晶体管的控制电极且与所述第二薄膜晶体管的所述氧化物半导体图案重叠。8.根据权利要求7所述的显示面板，还包括：上电极，设置在所述第二绝缘层与所述第三绝缘层之间，并且与所述第一薄膜晶体管的所述控制电极重叠。9.根据权利要求7所述的显示面板，还包括：绝缘图案，设置在所述第二薄膜晶体管的所述氧化物半导体图案与所述第二薄膜晶体管的所述控制电极之间，其中，所述绝缘图案...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵允锺，尹秀娟，成硕济，李圣俊，崔埈厚，权世明，白敬铉，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR