The invention relates to a sublimator with the function of controlling material handling environment, which comprises a sublimator body, a sealed cabin, a first vacuum device, a second vacuum device and a clean gas supply device. The outlet of the sublimator body is connected with the inner chamber of the sealed cabin, and the inner chamber of the sealed cabin is connected or closed by an imported baffle. The clean gas supply device and the first vacuum pumping device are connected with the inner chamber of the sealed cabin. The second vacuum extraction device is connected with the inner cavity of the sublimator body. At the same time, the inner cavity of the sublimator body is also in the vacuum state through the second vacuum device. After the heat-treated material enters the inner cavity of the sealed cabin from the sublimator body, the inlet baffle is closed, and then the clean gas supply device is used to fill the sealed cabin with clean gas, so as to avoid it. The phenomena of oxidation and rust caused by the contact of material itself with air and water etc.
【技术实现步骤摘要】
一种具有控制材料处理环境功能的升华仪
本专利技术涉及升华仪
,特别涉及一种具有控制材料处理环境功能的升华仪。
技术介绍
随着科学技术的发展,常常借用升华仪进行提纯从而完成一些苛刻的实验研究。例如在生物医药、医疗卫生、微电子以及特殊化学、生物实验等领域。然而,经过处理后的材料在离开炉口后、封装之前会不可避免地与空气、水分等接触,对材料自身造成氧化、锈蚀等。目前,市面上未存在有关上述问题的解决方案或设备。因而,亟待技术人员解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种结构设计简单,制造成本低廉、操作简单的具有控制材料处理环境功能的升华仪。为了解决上述技术问题,本专利技术涉及了一种具有控制材料处理环境功能的升华仪,包括:升华仪本体、密封舱、第一抽真空装置、第二抽真空装置以及清洁气体供应装置。上述升华仪本体的出口与密封舱的内腔相连通,且通过进口隔挡板实现与密封舱内腔的连通或关闭。清洁气体供应装置、第一抽真空装置均与密封舱的内腔相连通。第二抽真空装置与升华仪本体的内腔相连通。通过第一抽真空装置使得密封舱的内腔处于真空状态,与此同时,通过第二抽真空装置使得升华仪本体的内腔亦处于真空状态,经热处理后的材料由升华仪本体进入密封舱的内腔之后,关闭进口隔挡板,而后借用清洁气体供应装置向密封舱充入清洁气体。进一步的,具有控制材料处理环境功能的升华仪还包括第一真空度检测装置以及第二真空度检测装置,分别用来适配于密封舱、升华仪本体。更进一步的,具有控制材料处理环境功能的升华仪还包括第一报警器、第二报警器,分别用来接收第一真空度检测装置、第二真空度检测装置的检测 ...
【技术保护点】
1.一种具有控制材料处理环境功能的升华仪,包括:升华仪本体,其特征在于,还包括密封舱、第一抽真空装置、第二抽真空装置以及清洁气体供应装置;所述升华仪本体的出口与所述密封舱的内腔相连通,且通过进口隔挡板实现与所述密封舱内腔的连通或关闭;所述清洁气体供应装置以及所述第一抽真空装置均与所述密封舱的内腔相连通;所述第二抽真空装置与所述升华仪本体的内腔相连通;通过所述第一抽真空装置使得所述密封舱的内腔处于真空状态,与此同时,通过所述第二抽真空装置使得所述升华仪本体的内腔亦处于真空状态,经热处理后的材料由所述升华仪本体进入所述密封舱的内腔之后,关闭所述进口隔挡板,而后借用所述清洁气体供应装置向所述密封舱充入清洁气体。
【技术特征摘要】
1.一种具有控制材料处理环境功能的升华仪,包括:升华仪本体,其特征在于,还包括密封舱、第一抽真空装置、第二抽真空装置以及清洁气体供应装置;所述升华仪本体的出口与所述密封舱的内腔相连通,且通过进口隔挡板实现与所述密封舱内腔的连通或关闭;所述清洁气体供应装置以及所述第一抽真空装置均与所述密封舱的内腔相连通;所述第二抽真空装置与所述升华仪本体的内腔相连通;通过所述第一抽真空装置使得所述密封舱的内腔处于真空状态,与此同时,通过所述第二抽真空装置使得所述升华仪本体的内腔亦处于真空状态,经热处理后的材料由所述升华仪本体进入所述密封舱的内腔之后,关闭所述进口隔挡板,而后借用所述清洁气体供应装置向所述密封舱充入清洁气体。2.根据权利要求1所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪,其特征在于,还包括第一真空度检测装置、第二真空度检测装置,分别适配于所述密封舱、所述升华仪本体。3.根据权利要求2所述的具有控制材料处理环境功能的升华仪,其特征在于,还包括第一报警...
【专利技术属性】
技术研发人员:李春风,
申请(专利权)人:威格气体纯化科技苏州股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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