具有触摸面板的显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术目的在于提供一种具有触控面板的显示装置，即使对于大型化以及高清晰化的面板，也能够得到期望的触摸检测性能。本发明专利技术的具有触摸面板的显示装置包括有源矩阵基板(1)。有源矩阵基板(1)在基板(40)上包括多个像素电极、多个对向电极(21)以及设置于像素电极与对向电极(21)之间的绝缘膜(46)。另外，有源矩阵基板(1)包括与多个对向电极(21)的任意一个连接的多条信号线(22)、与多个像素电极的每一个连接的多个开关元件以及设置于像素电极与信号线(22)以及开关元件之间的有机系绝缘膜(45)。信号线(22)连接于基板(40)。

Display device with touch panel

The object of the present invention is to provide a display device with a touch panel so that the desired touch detection performance can be obtained even for large and high-definition panels. The display device having a touch panel of the present invention includes an active matrix substrate (1). The active matrix substrate (1) comprises a plurality of pixel electrodes, a plurality of opposite electrodes (21) and an insulating film (46) arranged between the pixel electrodes and the opposite electrodes (21) on the substrate (40). In addition, the active matrix substrate (1) includes a plurality of signal lines (22) connected to any one of the plurality of opposite electrodes (21), a plurality of switching elements connected to each of the plurality of pixel electrodes, and an organic insulating film (45) arranged between the pixel electrodes and the signal lines (22) and the switching elements. The signal line (22) is connected to the substrate (40).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有触摸面板的显示装置
本专利技术涉及具有触摸面板的显示装置。
技术介绍
在特开2015-122057号公报中公开了触摸屏面板一体型显示装置，其具备发挥显示器用和触摸屏用两种作用的面板。面板上形成有多个像素，各像素中设置有像素电极以及与像素电极连接的薄膜晶体管。另外，多个电极与像素电极对向且分离配置于面板上。多个电极在显示驱动模式下作为公共电极发挥作用，该公共电极在与像素电极之间形成横向电场(水平电场)，在触摸驱动模式下，作为触摸电极发挥功能，该触摸电极在与手指等之间形成静电电容。多个电极的每一个连接有与数据线大致平行的至少一条信号线，并通过信号线被提供触摸驱动信号或公共电压信号。像素电极与信号线被形成于相同层，隔着一个绝缘层而与多个电极重叠。
技术实现思路
在将特开2015-122057号公报中记载的构造适用于中型尺寸的触摸面板时，难以获得与小型尺寸同样的触摸检测响应性能。由于中型尺寸的触摸面板相比于小型尺寸的触摸面板触摸检测用的信号线的长度更长，因此信号线的电阻值大，信号线与触摸检测用电极之间的电容也大。另外，越高清晰像素数越多，因此，信号线与其他元件之间的电容增大。也就是说，触摸面板的尺寸越大，越高清晰，触摸检测时的时间常数变大。为了获得与小型尺寸同样的触摸检测性能，可以考虑增大信号线与触摸检测用电极之间的绝缘膜的膜厚从而减小信号线的电容。但是，由于触摸面板的尺寸、分辨率越大，时间常数也进一步增大，因此，仅通过信号线与触摸检测用电极之间的绝缘膜的膜厚来进行用于获得期望的触摸检测性能的调整是困难的。本专利技术目的在于提供一种具有触控面板的显示装置，即使对于大型化以及高清晰化的面板也能够得到期望的触摸检测性能。本专利技术的一实施方式的具有触摸面板的显示装置包括有源矩阵基板，所述有源矩阵基板包括：基板；设置于所述基板上的多个像素电极；以在俯视时与所述多个像素电极重叠的方式配置于所述基板上的多个对向电极；设置于所述多个像素电极与所述多个对向电极之间的绝缘膜；在所述基板上，相对于像素电极设置于与对向电极相反的一侧，且连接于所述多个对向电极的任意一个，并被供给触摸驱动信号的多条信号线；分别连接于所述多个像素电极的多个开关元件；设置于所述多个像素电极与所述多条信号线以及所述多个开关元件之间的有机系绝缘膜，所述多条信号线分别与所述基板连接。根据本专利技术，即使对于大型化以及高清晰化的面板，也能够得到期望的触摸检测性能。附图的简单说明图1是第一实施方式的具有触摸面板的显示装置的剖面图。图2是表示形成于图1所示的有源矩阵基板上的对向电极的配置的一个例子的示意图。图3是放大了图1所示的有源矩阵基板的一部分区域的示意图。图4A是TFT区域的有源矩阵基板的概略剖面图。图4B是信号线连接区域的有源矩阵基板的概略剖面图。图4C是非信号线连接区域的有源矩阵基板的概略剖面图。图5A是图1所示的有源矩阵基板上的第一端子部的示意图。图5B是图1所示的有源矩阵基板上的第二端子部的示意图。图5C是图1所示的有源矩阵基板上的第三端子部的示意图。图5D是示出连接图1所示的有源矩阵基板上的栅极层与源极层的连接部的构造的剖面图。图6A是说明图1所示的有源矩阵基板的信号线连接区域、TFT区域、非信号线连接区域、端子部区域的制造工序的图，其为示出在信号线连接区域和非信号线连接区域形成信号线，在端子部区域形成金属膜的工序的剖面图。图6B是示出在图6A所示的TFT区域之外的各区域形成无机绝缘膜的工序的剖面图。图6C是示出在图6B所示的信号线连接区域以及端子部区域形成金属膜(栅极层)，在TFT区域形成栅极的工序的剖面图。图6D是示出在图6C所示的各区域形成栅极绝缘膜，在TFT区域形成半导体膜的工序的剖面图。图6E是示出在图6D所示的TFT区域形成源极与漏极，在信号线连接区域以及端子部区域形成金属膜(源极层)的工序的剖面图。图6F是示出在图6E所示的各区域形成无机绝缘膜、在端子部区域之外的各区域形成有机绝缘膜的工序的剖面图。图6G是示出在图6F所示的非信号线连接区域之外的各区域形成无机绝缘膜的开口的工序的剖面图。图6H是示出在图6G所示的信号线连接区域以及TFT区域形成像素电极，在端子部区域形成第一透明电极膜的工序的剖面图。图6I是示出在图6H所示的各区域形成无机绝缘膜的工序的剖面图。图6J是示出在图6I所示的信号线连接区域、TFT区域以及非信号线连接区域形成对向电极，在端子部区域形成第二透明电极膜的工序的剖面图。专利技术的实施方式本专利技术的一实施方式的具有触摸面板的显示装置包括有源矩阵基板，所述有源矩阵基板包括基板；设置于所述基板上的多个像素电极；以在俯视时与所述多个像素电极重叠的方式配置于所述基板上的多个对向电极；设置于所述多个像素电极与所述多个对向电极之间的绝缘膜；在所述基板上，相对于像素电极设置于与对向电极相反的一侧，且连接于所述多个对向电极的任意一个，并被供给触摸驱动信号的多条信号线；分别连接于所述多个像素电极的多个开关元件；设置于所述多个像素电极与所述多条信号线以及所述多个开关元件之间的有机系绝缘膜，所述多条信号线分别与所述基板连接(第一构成)。根据第一构成，在有源矩阵基板的基板上设置多个像素电极、多个对向电极、绝缘膜、多条信号线、有机系绝缘膜、与多个像素电极连接的多个开关元件。信号线在相对于像素电极与对向电极相反的一侧与基板连接，连接于多个对向电极的任意一个。在像素电极与对向电极之间设置有绝缘膜，在像素电极与信号线以及开关元件之间设置有有机系绝缘膜。也就是说，在信号线与对向电极之间设置有绝缘膜与有机系绝缘膜。因此，相比于信号线设置于与像素电极相同层的情况，能够不调整信号线与对向电极之间的绝缘膜的膜厚，而减小信号线与对向电极之间的电容。因此，在大型化以及高清晰化的面板中应用本构造的情况下，即使信号线的电阻值变大，也不会发生信号线与对向电极之间的电容下降，触摸检测时的时间常数变大的情况。因此，能够确保期望的触摸检测性能。在第一构成中，也可以是所述多个开关元件的每一个包括栅极、源极以及漏极，所述有源矩阵基板还包括覆盖所述多条信号线的每一条，且设置于所述多条信号线的每一条与所述栅极之间的第一无机系绝缘膜(第二构成)。根据第二构成，能够防止信号线与栅极之间的短路。在第二构成中，也可以是所述有源矩阵基板还包括：覆盖所述栅极与所述第一无极系绝缘膜的栅极绝缘膜；覆盖所述源极以及所述漏极，且与所述栅极绝缘膜重叠的第二无机系绝缘膜，所述有机系绝缘膜设置于所述像素电极与所述第二无机系绝缘膜之间(第三构成)。根据第三构成，在信号线与对向电极之间还设有第二无机系绝缘膜和栅极绝缘膜。因此，能够进一步降低信号线与对向电极之间的电容，进一步缩小触摸检测时的时间常数。在第二或第三构成中，也可以是所述有源矩阵基板在俯视时与所述多条信号线的每一条重叠的位置包括：由与所述栅极相同材料构成的第一金属膜；与所述第一金属膜相接，由与所述源极以及所述漏极相同材料构成的第二金属膜；与所述第二金属膜相接，由与像素电极相同材料构成的第一透明电极膜；与所述第一透明电极膜相接，由与对向电极相同材料构成的第二透明电极膜，所述多条信号线的每一条与所述第一金属膜相接(第四构成)。根据所述第四构成，能够使用用于开关元件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有触摸面板的显示装置，其包括有源矩阵基板，其特征在于，所述有源矩阵基板包括：基板；设置于所述基板上的多个像素电极；以在俯视时与所述多个像素电极重叠的方式配置于所述基板上的多个对向电极；设置于所述多个像素电极与所述多个对向电极之间的绝缘膜；在所述基板上，相对于像素电极设置于与对向电极相反的一侧，且连接于所述多个对向电极的任意一个，并被供给触摸驱动信号的多条信号线；分别连接于所述多个像素电极的多个开关元件；设置于所述多个像素电极与所述多条信号线以及所述多个开关元件之间的有机系绝缘膜，所述多条信号线分别与所述基板连接。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.28 JP 2016-1484621.一种具有触摸面板的显示装置，其包括有源矩阵基板，其特征在于，所述有源矩阵基板包括：基板；设置于所述基板上的多个像素电极；以在俯视时与所述多个像素电极重叠的方式配置于所述基板上的多个对向电极；设置于所述多个像素电极与所述多个对向电极之间的绝缘膜；在所述基板上，相对于像素电极设置于与对向电极相反的一侧，且连接于所述多个对向电极的任意一个，并被供给触摸驱动信号的多条信号线；分别连接于所述多个像素电极的多个开关元件；设置于所述多个像素电极与所述多条信号线以及所述多个开关元件之间的有机系绝缘膜，所述多条信号线分别与所述基板连接。2.如权利要求1所述的具有触摸面板的显示装置，其特征在于，所述多个开关元件的每一个包括栅极、源极以及漏极，所述有源矩阵基板还包括覆...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤田哲生，近间义雅，原义仁，中田幸伸，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP