一种制程腔及其可视化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于制程腔的可视化装置，包括：光学镜，光学镜至少包括：镜筒，镜筒具有一能够密封连接在制程腔的外壁上，且使镜筒能够相对于制程腔的外壁进行多角度旋转的转轴；第一透镜；第二透镜，其中：镜筒通过转轴相对于制程腔的外壁进行多角度旋转，通过第一透镜和第二透镜的光反射和光透射放大观测制程腔内部不同位置的状况；第一透镜及位于制程腔内部一侧端的镜筒耐等离子轰击热处理及耐高温。本实用新型专利技术还公开了一种制程腔。实施本实用新型专利技术的制程腔及其可视化装置，能够放大观测制程腔内部不同位置的状况，可进行角度调整，增大观测视角；结构精简，便于操作，降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种制程腔及其可视化装置
本技术涉及面板制作领域，尤其涉及一种制程腔及其可视化装置。
技术介绍
现有技术LTPS行业中，干蚀刻设备在制程腔(ProcessChamber：PC)侧壁上预留了一块观测窗，方便在不开腔的情况下观察PC内的状况。现有机台上的观测窗是一块固定的平面蓝宝石玻璃，具体观测时，人员手持手电筒通过观测窗进行观察确认PC内状况。此种观察方式存在的技术问题是：1、无法观察到特定角度的区域，存在一定的视线盲区；2、人眼视力有限，无法高清晰的观察到PC内的实际状况；3、需手电筒工具辅助观察。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于，提供一种制程腔及其可视化装置，能够放大观测制程腔内部不同位置的状况，可进行角度调整，增大观测视角；结构精简，便于操作，降低成本。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种制程腔的可视化装置，用以在不打开制程腔的情况下观察制程腔内的状况，包括：能够装设在制程腔外壁上的用以观测制程腔内不同位置状况的光学镜，光学镜至少包括：镜筒，镜筒具有一能够密封连接在制程腔的外壁上，且使镜筒能够相对于制程腔的外壁进行多角度旋转的转轴；装设在镜筒位于制程腔内部一侧端的第一透镜；以及装设在镜筒位于制程腔外部一侧端的第二透镜，其中：镜筒通过转轴相对于制程腔的外壁进行多角度旋转，通过第一透镜和第二透镜放大观测制程腔内部的不同位置的状况。其中，位于制程腔内部一侧端的镜筒使用与制程腔内的阳极工件相同的材料制成。其中，第一透镜的外侧加固蓝宝石玻璃。其中，还包括：装设在镜筒位于制程腔内部一侧端的照明装置。其中，照明装置的外部加固蓝宝石玻璃。其中，还包括：能够装设在制程腔外壁上的用以对位于制程腔外部一侧端的镜筒和第二透镜进行防护的防护罩。其中，防护罩为箱体结构，防护罩的一侧设为能够对接在制程腔外壁上的第一开口，箱体的另一侧为第二开口，第二开口连接一能够活动打开或闭合的防护罩盖。其中，还包括：设置在制程腔外壁上光学镜邻侧的至少一个观测窗。其中，镜筒为双层结构，照明装置的电路走线设置在双层结构中，照明装置的开关设在镜筒位于制程腔外部的一侧端。为解决上述技术问题，本技术还公开了一种具有上述制程腔可视化装置的制程腔。实施本技术所提供的制程腔及其可视化装置，具有如下有益效果：可视化装置的镜筒通过转轴可以相对于制程腔的外壁进行多角度旋转，通过第一透镜和第二透镜的光反射和光透射能够放大观测制程腔内部不同位置的状况，能够放大观测制程腔内部不同位置的状况，可进行角度调整，增大观测视角；结构精简，便于操作，降低成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例制程腔的结构示意图。图2是本技术实施例用于制程腔可视化装置的光学镜的结构示意图。图3是本技术实施例用于制程腔可视化装置的光学镜的成像原理结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-图3所示，为本技术制程腔的实施例一。本实施例中的制程腔，包括：制程腔本体1和设置在制程腔本体1上的用于制程腔的可视化装置。制程腔本体1由多块制程腔外壁11围挡而成。本实施例中的制程腔本体1为立方状，制程腔外壁11上设有至少一块观测窗11a，观测窗11a的作用是：在用于制程腔的可视化装置发生故障时，例如：照明装置故障、透镜故障时，依然能够观测到制程腔内的实际状况，也可用于观测可视化装置的工作状态。制程腔的可视化装置，用以在不打开制程腔的情况下观察制程腔内的状况，通过设置可视化装置，能够减少设置观测窗11a的数量，具体到本实施例，通过设置可视化装置，能够减少设置3-4块的观测窗11a，由于观测窗11a使用平面蓝宝石玻璃制成，蓝宝石玻璃单价按6K/块计算，减小观测窗11a的数量，意味着成本的降低。进一步的，制程腔的可视化装置包括：能够装设在制程腔外壁11上的用以观测制程腔内不同位置状况的光学镜2，光学镜2至少包括：镜筒21，镜筒21具有一能够密封连接在制程腔的外壁11上，且使镜筒21能够相对于制程腔的外壁11进行多角度旋转的转轴O；装设在镜筒21位于制程腔内部一侧端21a上的第一透镜22；以及装设在镜筒21位于制程腔外部一侧端21b的第二透镜，其中：镜筒21通过转轴O相对于制程腔的外壁11进行多角度旋转，通过第一透镜22和第二透镜23的光反射和光透射放大观测制程腔内部(第一透镜22一侧)不同位置的状况；第一透镜22及位于制程腔内部一侧端的镜筒21耐等离子轰击热处理及耐高温。具体实施时，光学镜2通过合理地设计相关透镜，例如：设置不同的透镜数量和位置等，实现放大远处物体使观测者能看清角距更小的细节，收集到比瞳孔直径大得多的光束送入人眼使人看到原来看不到的暗弱物体的功用。本实施例中的镜筒21截面为圆形，设置两块透镜分别位于镜筒21的相对两端。其中：镜筒21具有旋转功能，使观测者能更好的观察制程腔内不同位置的情况。其中：该旋转功能是通过如下结构实现的，镜筒21具有能够相对于制程腔的外壁11进行多角度旋转的转轴O，该转轴O与制程腔的外壁11的连接处具有高密闭性，镜筒21通过转轴O相对于制程腔的外壁11进行自由角度旋转，使第一透镜22和第二透镜23的方向进行相应调整，通过第一透镜22和第二透镜23相应的光学放大性能观测制程腔内部的状况。第一透镜22装设在镜筒21位于制程腔内部一侧端21a上，其在具体实施时可以为一物镜，第二透镜23装设在镜筒21位于制程腔外部一侧端21b上，其在具体实施时可以为一目镜。当然，其它实施方式中，还可以在镜筒21中排列更多类型和数量的透镜，使满足相关的观测需要。为了防止制程腔内的工件接触大气对其使用寿命造成影响，安装在制程腔外壁上的光学镜2不能经常拆卸，即制程过程中处于制程腔内部的镜筒21及第一透镜22会受到等离子的轰击，另部分DRY制程为高温制程，也要求镜筒21及第一透镜22具有耐高温性能。也就是说，本实施例中的光学镜2还相应的具有耐等离子轰击热处理及耐高温的性能，同时具有一定的抗腐蚀性能。其中：上述性能可通过将位于制程腔内部一侧端的镜筒21使用与制程腔内的阳极工件相同的材料制成，第一透镜22的外侧加固蓝宝石玻璃，加强防护等方式实现。进一步的，本实施例中第一透镜22的周围，也就是在镜筒21位于制程腔内部一侧端装设有一照明装置24。装设照明装置24的作用是：由于制程腔内没有照明物，在传统设计中人员每次观察制程腔内部状况时都需持手电筒通过观测窗来观察。在本实施例中，在镜筒21位于制程腔内部一侧端装安装照明灯，照明灯外面同样加固蓝宝石玻璃做防护。因为照明灯与第一透镜22很近，所以当第一透镜22转向所要观察的位置时，照明灯也转向这个位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制程腔的可视化装置，用以在不打开制程腔的情况下观察制程腔内的状况，其特征在于，包括：能够装设在制程腔外壁上的用以观测制程腔内不同位置状况的光学镜，所述光学镜至少包括：镜筒，所述镜筒具有一能够密封连接在所述制程腔的外壁上，且使所述镜筒能够相对于所述制程腔的外壁进行多角度旋转的转轴；装设在所述镜筒位于制程腔内部一侧端的第一透镜；以及装设在所述镜筒位于制程腔外部一侧端的第二透镜，其中：所述镜筒通过所述转轴相对于所述制程腔的外壁进行多角度旋转，通过所述第一透镜和所述第二透镜放大观测制程腔内部的不同位置的状况。

【技术特征摘要】
1.一种制程腔的可视化装置，用以在不打开制程腔的情况下观察制程腔内的状况，其特征在于，包括：能够装设在制程腔外壁上的用以观测制程腔内不同位置状况的光学镜，所述光学镜至少包括：镜筒，所述镜筒具有一能够密封连接在所述制程腔的外壁上，且使所述镜筒能够相对于所述制程腔的外壁进行多角度旋转的转轴；装设在所述镜筒位于制程腔内部一侧端的第一透镜；以及装设在所述镜筒位于制程腔外部一侧端的第二透镜，其中：所述镜筒通过所述转轴相对于所述制程腔的外壁进行多角度旋转，通过所述第一透镜和所述第二透镜放大观测制程腔内部的不同位置的状况。2.如权利要求1所述的制程腔的可视化装置，其特征在于，位于所述制程腔内部一侧端的所述镜筒使用与所述制程腔内的阳极工件相同的材料制成。3.如权利要求1所述的制程腔的可视化装置，其特征在于，所述第一透镜的外侧加固蓝宝石玻璃。4.如权利要求1-3任一项所述的制程腔的可视化装置，其特征在于，还包括：装设在所述镜筒位于所述制程腔内部一侧端的照明装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁玎，李伟华，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42