A dielectric resonant antenna and antenna array on a silicon substrate with high radiation efficiency and high gain are composed of an on-chip H-shaped slot structure and a rectangular dielectric resonant block fixed on the on-chip H-shaped slot structure through an insulating adhesive layer. The on-chip H-shaped slot structure is formed on the top metal of the integrated process and is located in the metal cavity. The on-chip H-shaped slot structure has two parallel left vertical slots and right vertical slots. The corresponding side of the slot, the left vertical slot and the right vertical slot forms an inverted L-shaped left slot and the right vertical slot respectively. The horizontal part of the inverted L-shaped left slot and the right vertical part of the inverted L-shaped slot are connected in the middle of the corresponding left vertical slot and the right vertical part of the inverted L-shaped left slot and the right vertical part of the slot are parallel to each other to form two antennas connected with the external structure. The strip opens the gap. The invention effectively overcomes the problem of low radiation efficiency and gain when designing antenna with silicon-based integrated technology, and has smaller loss, higher radiation efficiency and gain.
【技术实现步骤摘要】
高辐射效率高增益的硅基片上介质谐振天线及天线阵列
本专利技术涉及一种天线。特别是涉及一种高辐射效率高增益的硅基片上介质谐振天线及天线阵列。
技术介绍
天线是收发机系统中的重要组成部分,它主要承载着发射与接收电磁波信号的功能。在毫米波及太赫兹频段,由于频率较高,天线的尺寸小,采用集成工艺加工生产片上天线易于集成,相比片外天线能够有效避免复杂的封装过程,以及互联过程中产生的损耗,因此片上天线的设计尤为重要。目前,片上天线的设计所面临的困难主要是天线的增益和辐射效率较低,造成这种现象的原因主要分为两种情况:第一种情况,天线在集成工艺中的上层金属层制作,没有底层金属作为屏蔽的地板,由于硅衬底介电常数很大(εr=11.9),天线辐射电磁波大部分会向硅衬底的方向辐射。然而,标准的硅基集成工艺中硅衬底具有较小的电阻率(10Ω·m),这将会产生较大的欧姆损耗,将大量的电磁能量转化为热。同时硅衬底较大的相对介电常数使电磁波在其中转化为表面波耗散。以上两种损耗是造成在顶层金属制作天线,无底层金属作为屏蔽地板情况下天线的辐射效率和增益大幅降低的主要原因。第二种情况,天线制作在集成电路工艺的顶层金属,底层金属作为屏蔽地板抑制电磁波辐射进入硅衬底。在标准硅基集成电路工艺中,最顶层和最底层金属之间的间距非常小(小于15μm),天线辐射单元和屏蔽地板之间存在强耦合作用,减小了天线的辐射电阻,降低天线的辐射效率。因此,在设计片上天线过程中,突破硅基集成工艺的设计局限,有效减小损耗,提高片上天线的增益和辐射效率成为片上天线设计的关键问题。介质谐振天线(Dielectricresonator ...
【技术保护点】
1.一种高辐射效率高增益的硅基片上介质谐振天线,包括有片上H形缝隙结构(1)和通过绝缘胶层(2)固定在所述片上H形缝隙结构(1)上的矩形介质谐振块(3),其特征在于,所述片上H形缝隙结构(1)是形成在集成工艺顶层金属(4)上,并位于采用集成工艺中除集成工艺顶层金属(4)和集成工艺底层金属(101)以外的中间层金属及金属过孔堆叠形成的金属腔(15)中,其中,所述片上H形缝隙结构(1)包括有两条平行形成的左垂直缝隙(11)和右垂直缝隙(12),所述左垂直缝隙(11)和右垂直缝隙(12)相对应侧分别对应形成有一个倒L型的左侧缝隙(13)和右侧缝隙(14),所述倒L型的左侧缝隙(13)和右侧缝隙(14)中的水平部分连接在所对应的左垂直缝隙(11)和右垂直缝隙(12)的中部,所述倒L型的左侧缝隙(13)和右侧缝隙(14)中的垂直部分相互平行构成天线与外部结构相连的两条引出缝隙。
【技术特征摘要】
1.一种高辐射效率高增益的硅基片上介质谐振天线,包括有片上H形缝隙结构(1)和通过绝缘胶层(2)固定在所述片上H形缝隙结构(1)上的矩形介质谐振块(3),其特征在于,所述片上H形缝隙结构(1)是形成在集成工艺顶层金属(4)上,并位于采用集成工艺中除集成工艺顶层金属(4)和集成工艺底层金属(101)以外的中间层金属及金属过孔堆叠形成的金属腔(15)中,其中,所述片上H形缝隙结构(1)包括有两条平行形成的左垂直缝隙(11)和右垂直缝隙(12),所述左垂直缝隙(11)和右垂直缝隙(12)相对应侧分别对应形成有一个倒L型的左侧缝隙(13)和右侧缝隙(14),所述倒L型的左侧缝隙(13)和右侧缝隙(14)中的水平部分连接在所对应的左垂直缝隙(11)和右垂直缝隙(12)的中部,所述倒L型的左侧缝隙(13)和右侧缝隙(14)中的垂直部分相互平行构成天线与外部结构相连的两条引出缝隙。2.一种由权利要求1所述的高辐射效率高增益的硅基片上介质谐振天线构成的天线阵列,其特征在于,是形成在矩形集成工艺顶层金属(5)上的2×2天线阵列,包括有分别形成在所述矩形金属板(5)的四个端部的四个结构相同的片上H形缝隙结构(A1、A2、A3、A4),通过绝缘胶层(2)分别固定在四个所述片上H形缝隙结构(A1、A2、A3、A4)上的四个结构相同的矩形介质谐振块(3),其中,位于左上端部的第一片上H形缝隙结构(A1)的一条引出缝隙通过第一连接缝隙(6)连接位于左下端部的第二片上H形缝隙结构(A2)的一条引出缝隙,所述第一片上H形缝隙结构(A1)的另一条引出缝隙通过第二连接缝隙(7)与位于右上端部的第三片上H形缝隙结构(A3)的一条引出缝隙相连,所述第三片上H形缝隙结构(A3)的另一条引出缝隙通过第三连接缝隙(8)与位于右下端部的第四片上H形缝隙结构...
【专利技术属性】
技术研发人员:腾云龙,傅海鹏,张齐军,马建国,
申请(专利权)人:天津大学,
类型:发明
国别省市:天津,12
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