OCT探测装置及微雕设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种OCT探测装置及微雕设备，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。所述微雕装置包括激光光源、透镜及所述OCT探测装置，所述透镜设置在所述聚焦透镜和所述振镜之间并位于同一光轴，所述激光光源发出激光，通过所述透镜、振镜和场镜射到所述样品上，对所述样品进行雕刻。

【技术实现步骤摘要】
OCT探测装置及微雕设备
本专利技术涉及光学扫描成像
，特别涉及光学相干断层扫描成像中的OCT探测装置及微雕设备。
技术介绍
光学相干断层扫描成像技术(OpticalCoherenceTomography,简称OCT)是一种基于光学相干特性的成像技术，它结合了光外差及扫描层析成像技术的优点，具有高灵敏度、高分辨率，无损伤以及可在体检测等优越性，它能对高散射介质如生物组织实施非侵入式的快速成像。OCT技术的核心是探测装置。现有技术中，由于探测装置中用于扫描的振镜和场镜的架构限制，从场镜中出射的测量光束相互平行，扫描范围有限。
技术实现思路
为了克服现有OCT探测装置扫描范围有限的问题，本专利技术提供一种OCT探测装置及微雕设备，该装置不仅能扩大扫描范围，而且能在扫描样品的同时对样品进行微雕。本专利技术提供的一种OCT探测装置，用于对样品进行扫描探测，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。所述OCT组件包括光源、分光器、参考臂、光谱仪和控制器；所述参考臂包括所述准直镜和反射镜；所述样品置于置物台上，所述置物台的高度可调节。其中，所述扫描探头包括光纤插头和聚焦透镜，所述光纤插头、聚焦透镜和振镜依次设置并位于第二光轴上，其中，第一光轴和第二光轴垂直，所述调节部调节所述样品光光程的长度，包括调节所述样品光从所述扫描探头的光纤插头到聚焦透镜之间的光程，或者，调节所述扫描探头与所述样品表面之间的距离。调节所述扫描探头到所述样品表面之间距离的方式，可以是保持所述扫描探头不动，调节所述样品的位置，或是保持所述样品的位置不动，调节所述扫描探头的位置。其中，所述调节部包括移动件和卡持件，所述移动件与所述卡持件机械性固定连接。所述卡持件用于固定所述光纤插头，所述移动件带动所述卡持件移动，从而调节所述光纤插头与所述聚焦透镜的距离，使得所述样品光光程与所述参考光光程相等。或者，所述卡持件用于卡持承载所述样品的所述置物台或者扫描探头，所述移动件带动所述卡持件移动，从而调节所述样品或所述扫描探头的位置，以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。所述移动件包括具有移动功能的所有器件，所述移动件可以通过手动移动，也可以自动移动。所述卡持件包括抓手及所有起固定作用的部件。所述置物台包括但不限于可调节高度的升降台。其中，所述调节部包括移动件、第一调节镜和与第一调节镜间隔相对设置的第二调节镜，所述第一调节镜包括至少两个第一反射面，所述至少两个第一反射面呈夹角设置；所述第二调节镜包括与所述第一反射面相对应的第二反射面，且一个第一反射面与一个第二反射面间隔相对设置，所述第二调节镜包括的至少两个第二反射面之间的夹角与所述第一调节镜的夹角相同。所述第一反射面位于所述聚焦透镜的光路上，且所述聚焦透镜的光路上的光线经过所述第一反射面与所述第二反射面之间的反射后进入所述振镜，所述第一调节镜与所述第二调节镜之间的间隔可根据实际需要调节，在所述参考光光程不变的情况下，通过所述移动件带动所述第二调节镜相对第一调节镜移动，调节所述第一反射面与第二反射面之间的距离，以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。其中，所述第一调节镜的第一反射面还可以为多个，所述多个第一反射面朝向相同且依次呈夹角连接，所述第二调节镜包括与所述多个第一反射面相对应的第二反射面，所述多个第二反射面朝向所述第一反射面且依次呈夹角连接。所述第一反射面的个数可根据实际需求来定，所述第一反射面与所述第二反射面始终保持个数对应。所述调节镜包括但不限于反射镜。其中，所述调节部调节所述参考光光程长度，包括调节所述参考光从所述准直镜到所述反射镜之间的光程。其中，所述调节部包括移动件和卡持件，所述移动件与所述卡持件机械性固定连接。所述卡持件用于固定所述反射镜，所述移动件带动固定所述反射镜的所述卡持件进行位置移动，从而调节所述参考光光程长度使之与所述样品光程长度相等。所述移动件包括具有移动功能的所有器件，所述移动件可以通过手动移动，也可以自动移动。所述卡持件包括抓手及所有起固定作用的部件。其中，所述调节部包括移动件、第三调节镜和与第三调节镜间隔相对设置的第四调节镜，所述第三调节镜包括至少两个第三反射面，所述至少两个第三反射面呈夹角设置；所述第四调节镜包括与所述第三反射面相对应的第四反射面，且一个第三反射面与一个第四反射面间隔相对设置；所述第三反射面位于所述准直镜与所述反射镜之间的光路上，且所述准直镜的光路上的光线经过所述第三反射面与所述第四反射面之间的反射后进入所述发射镜，所述第三调节镜与所述第四调节镜之间的间隔可根据实际需要调节，在所述样品光光程不变的情况下，通过所述移动件带动所述第四调节镜相对第三调节镜移动，调节所述第三反射面与第四反射面之间的距离，以使所述参考光光程与所述样品光光程相等。其中，所述第三调节镜的第三反射面为多个，所述多个第三反射面朝向相同且依次呈夹角连接，所述第四调节镜包括与所述多个第三反射面相对应的第四反射面，所述多个第四反射面朝向所述第三反射面且依次呈夹角连接。所述第三反射面的个数可根据实际需求来定，所述第三反射面与所述第四反射面始终保持个数对应。所述调节镜包括但不限于反射镜。其中，所述光谱仪连接于所述控制器于所述分光器之间，用于将分光器接收的光线传递至控制器；所述分光器通过样品光纤与所述扫描探头连接，所述分光器通过参考光纤与所述参考臂连接，所述光源与所述分光器连接，并通过分光器将光线分给所述参考臂和扫描探头。本专利技术还要保护一种微雕设备，包括激光光源、透镜及所述OCT探测装置，所述透镜设置在所述聚焦透镜和所述振镜之间并位于同一光轴，所述激光光源发出激光，通过所述透镜、振镜和场镜射到所述样品上，对所述样品进行雕刻。本专利技术通过将所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；并且通过所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差，实现扩大装置的扫描范围并保证扫描效果。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术提供的第一实施例的OCT探测装置示意图，其中，包含了调节部的第一实施方式。图2是本专利技术提供的扫描探头光路走向图。图3是图1所示的OCT探测装置，其中，包含了调节部的第二实施方式。图4是图1所示的OCT探测装置，其中，包含了调节部的第三实施方式。图5与图6是本专利技术提供的第二实施例的OCT探测装置示意图，其中，包含了调节部的两种实施方式。图7是本专利技术提供的第三实施例的OCT探测装置示意图，其中，包含了调节部的一种实施方式。图8是图7所示的OCT探测装置，其中，包含了调节部的另一实施方式。图9是本专利技术的微雕设备的示意图，其包括上述的OCT探测装置。具体实施方式下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种OCT探测装置，用于对样品进行扫描探测，其特征在于，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。

【技术特征摘要】
1.一种OCT探测装置，用于对样品进行扫描探测，其特征在于，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。2.根据权利要求1所述的OCT探测装置，其特征在于，所述调节部调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差，包括以所述参考光的光程为基础调节所述样品光的光程的长度，或者以所述样品光的光程为基础调节所述参考光的光程长度。3.根据权利要求2所述的OCT探测装置，其特征在于，所述扫描探头包括光纤插头和聚焦透镜，所述光纤插头、聚焦透镜和振镜依次设置并位于第二光轴上，其中，第一光轴和第二光轴垂直，所述调节部调节所述样品光光程的长度，包括调节所述样品光从所述扫描探头的光纤插头到所述聚焦透镜之间的光程，或者，调节所述扫描探头与所述样品表面之间的距离。4.根据权利要求3所述的OCT探测装置，其特征在于，所述调节部包括移动件和卡持件，所述卡持件用于固定所述光纤插头，所述移动件带动所述卡持件移动；或者，所述卡持件用于卡持所述样品或者扫描探头，所述移动件带动所述卡持件移动。5.根据权利要求3所述的OCT探测装置，其特征在于，所述调节部包括移动件、第一调节镜和与第一调节镜间隔相对设置的第二调节镜，所述第一调节镜包括至少两个第一反射面，所述至少两个第一反射面呈夹角设置；所述第二调节镜包括与所述第一反射面相对应的第二反射面，且一个第一反射面与一个第二反射面间隔相对设置；所述第一反射面位于所述聚焦透镜的...

【专利技术属性】
技术研发人员：代祥松，何卫红，杨蒙萌，
申请(专利权)人：深圳市斯尔顿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44