【技术实现步骤摘要】
微机械加速度计控制装置
本技术涉及微机械加速度计,尤其涉及一种微机械加速度计控制装置。
技术介绍
微机械加速度计是一种基于硅微加工技术的用于测量加速度信息的惯性传感器,具有低功耗、与集成电路兼容等优点,在民用领域已经获得广泛应用。尤其在军用领域,高精度的微机械加速度计可以准确提供导弹、火箭等的加速度、速度等信息,满足导航与制导控制要求。高精度的微机械加速度计通常可以通过提高微机械加速度计的灵敏度来达到,也就要求微机械加速度计的弹性系数或者谐振工作频率很低。这可以在设计的时候,通过结构上显著降低微机械加速度计的弹性梁的弹性系数或者结构上设计各类调谐结构并后续电路上直接加固定调谐电压来形成负等效弹性系数。基于这些原理的低谐振频率的高精度微机械加速度计已经取得了很多研究成果。但是这些高精度的微机械加速度计只能在理论上达到很低的谐振频率,在实际加工以及使用过程中难以实现预期的高精度性能,这主要受限于以下几方面原因:1)实际加工制作工艺存在一定加工误差以及缺陷,难以制作更小的梁宽的低弹性系数的弹性梁,这是无法避免的;2)微机械加速度计的使用过程是一个正负温差很大的温度范围,这会造成硅材料的杨氏模量变化显著,从而改变机械结构的弹性系数,让微机械加速度计原有的谐振频率发生漂移。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的不足,为微机械加速度计提供一种微机械加速度计控制装置。本技术的具体方案如下:本技术公开了一种微机械加速度计的控制装置,包括微机械加速度计、非线性调谐电压产生电路、线性调谐电压产生电路、驱动电极反馈电压产生电路、模数转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第三 ...
【技术保护点】
1.一种微机械加速度计控制装置,其特征在于包括微机械加速度计、非线性调谐电压产生电路、线性调谐电压产生电路、驱动电极反馈电压产生电路、模数转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第三数模转换器、第四数模转换器、第五数模转换器和可编程逻辑器件芯片,微机械加速度计的信号输出端与模数转换器的输入端相连,模数转换器的输出端与可编程逻辑器件芯片的输入端相连,可编程逻辑器件芯片的第一输出端与第一数模转换器的输入端相连,第一数模转换器的输出端与非线性调谐电压产生电路的输入端相连,非线性调谐电压产生电路的输出端与微机械加速度计的非线性调谐结构相连,可编程逻辑器件芯片的第二输出端与第二数模转换器的输入端相连,第二数模转换器的输出端与线性调谐电压产生电路的第一输入端相连,可编程逻辑器件芯片的第三输出端与第三数模转换器的输入端相连,第三数模转换器的输出端与线性调谐电压产生电路的第二输入端相连,线性调谐电压产生电路的输出端与微机械加速度计的线性调谐结构相连,可编程逻辑器件芯片的第四输出端与第四数模转换器的输入端相连,第四数模转换器的输出端与驱动电极反馈电压产生电路的第一输入端相连,可编程逻辑器件芯片的第五输出 ...
【技术特征摘要】
1.一种微机械加速度计控制装置,其特征在于包括微机械加速度计、非线性调谐电压产生电路、线性调谐电压产生电路、驱动电极反馈电压产生电路、模数转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第三数模转换器、第四数模转换器、第五数模转换器和可编程逻辑器件芯片,微机械加速度计的信号输出端与模数转换器的输入端相连,模数转换器的输出端与可编程逻辑器件芯片的输入端相连,可编程逻辑器件芯片的第一输出端与第一数模转换器的输入端相连,第一数模转换器的输出端与非线性调谐电压产生电路的输入端相连,非线性调谐电压产生电路的输出端与微机械加速度计的非线性调谐结构相连,可编程逻辑器件芯片的第二输出端与第二数模转换器的输入端相连,第二数模转换器的输出端与线性调谐电压产生电路的第一输入端相连,可编程逻辑器件芯片的第三输出端与第三数模转换器的输入端相连,第三数模转换器的输出端与线性调谐电压产生电路的第二输入端相连,线性调谐电压产生电路的输出端与微机械加速度计的线性调谐结构相连,可编程逻辑器件芯片的第四输出端与第四数模转换器的输入端相连,第四数模转换器的输出端与驱动电极反馈电压产生电路的第一输入端相连,可编程逻辑器件芯片的第五输出端与第五数模转换器的输入端相连,第五数模转换器的输出端与驱动电极反馈电压产生电路的第二输入端相连,驱动电极反馈电压产生电路的输出端与微机械加速度计的驱动电极相连。2.根据权利要求1所述的微机械加速度计控制装置,其特征在于所述的可编程逻辑芯片将输入端信号进行高频载波调制解调,可编程逻辑芯片内部产生固定调谐电压、频率自调节模块的调谐电压、余弦注入调制信号以及加速度闭环测量模块的闭环反馈控制信号,固定调谐电压经可编程逻辑器件芯片的第一输出端输出,频率自调节模块产生的调谐电压经可编程逻辑器件芯片的第二输出端和第三输出端输出,余弦注入调制信号经可编程逻辑器件芯片的第四输出端输出,加速度闭环测量模块的闭环反馈控制信号经可编程逻辑器件芯片的第五输出端输出。3.根据权利要求1所述的微机械加速度计控制装置,其特征在于所述的非线性调谐电压产生电路为:非线性调谐电压产生电路的输入信号与第一电阻R1的一端连接,第一电阻R1的另一端与第一运算放大器的负输入端连接,第一运算放大器的正输入端与第三电阻R3连接,第三电阻R3的另一端接地,第一运算放大器的负输入端与第二电阻R2的一端连接,第二电阻R2的另一端与第一运算放大器的输出端连接,第一运算放大器的输出端为非线性调谐电压产生电路的输出信号。4.根据权利要求1所述的微机械加速度计控制装置,其特征在于所述的线性调谐电压产...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴海斌,郑旭东,金仲和,马志鹏,林一羽,
申请(专利权)人:浙江大学,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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