输入感测单元、显示装置和制造输入感测单元的方法制造方法及图纸

提供了一种输入感测单元、一种显示装置和一种制造输入感测单元的方法。所述输入感测单元包括第一金属图案层，该第一金属图案层包括在第一方向上延伸的多条第一导线。第一绝缘层设置在第一金属图案层上。第二金属图案层位于第一绝缘层上方，并且包括在与第一方向交叉的第二方向上延伸的多条第二导线。第二绝缘层设置在第二金属图案层上。感测电极设置在第二绝缘层上，并且通过限定在第二绝缘层中的接触孔电连接到第二金属图案层。抗反射图案层设置在第一金属图案层和第二金属图案层上，以沿与抗反射图案层的上表面正交的方向与第一金属图案层和第二金属图案层叠置。

Input Sensing Unit, Display Device and Method of Manufacturing Input Sensing Unit

An input sensing unit, a display device and a method for manufacturing an input sensing unit are provided. The input sensing unit comprises a first metal pattern layer comprising a plurality of first wires extending in the first direction. The first insulating layer is arranged on the first metal pattern layer. The second metal pattern layer is located above the first insulating layer and includes a plurality of second conductors extending in the second direction intersecting with the first direction. The second insulating layer is arranged on the second metal pattern layer. The sensing electrode is arranged on the second insulating layer and electrically connected to the second metal pattern layer by a contact hole limited in the second insulating layer. The anti-reflection pattern layer is arranged on the first metal pattern layer and the second metal pattern layer to superimpose the first metal pattern layer and the second metal pattern layer along the direction orthogonal to the upper surface of the anti-reflection pattern layer.

【技术实现步骤摘要】
输入感测单元、显示装置和制造输入感测单元的方法本申请要求于2017年6月30日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0083728号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的公开通过引用全部包含于此。
本专利技术的示例性实施例涉及一种显示装置，更具体地涉及一种包括输入感测单元的显示装置以及一种制造该输入感测单元的方法。
技术介绍
正在开发用于诸如电视机、移动电话、平板计算机、导航系统和游戏机的多媒体装置中的各种显示装置。显示装置可以包括作为输入装置的键盘或鼠标。此外，显示装置可以包括作为输入装置的触摸面板。触摸面板可以是用于获取用户的触摸位置的坐标信息的元件。近来，已经对能够获取用户的指纹信息的指纹传感器进行了研究。与简单的触摸信息相比，感测指纹信息会包括更精确的感测信息。因此，指纹传感器可以设计为与普通的触摸面板相比检测更微小的电流变化。
技术实现思路
本专利技术的示例性实施例提供一种减少外部光反射的输入感测单元、一种包括该输入感测单元的显示装置以及一种制造该输入感测单元的方法。根据本专利技术的示例性实施例，输入感测单元包括第一金属图案层，该第一金属图案层包括在第一方向上延伸的多条第一导线。第一绝缘层设置在第一金属图案层上。第二金属图案层位于第一绝缘层上方，并且包括在与第一方向交叉的第二方向上延伸的多条第二导线。第二绝缘层设置在第二金属图案层上。感测电极设置在第二绝缘层上，并且通过限定在第二绝缘层中的接触孔电连接到第二金属图案层。抗反射图案层设置在第一金属图案层和第二金属图案层上，以沿与抗反射图案层的上表面正交的方向与第一金属图案层和第二金属图案层叠置。抗反射图案层包括具有MoaXbOc的经验式的金属氧化物，其中，a和c是大于零的有理数，b是等于或大于零的有理数，X包括从钽(Ta)、钒(V)、铌(Nb)、锆(Zr)、钨(W)、铪(Hf)、钛(Ti)和铼(Re)选择的至少一种元素。根据本专利技术的示例性实施例，显示装置包括其上限定有多个像素的显示面板。抗反射层设置在显示面板上。输入感测单元设置在抗反射层上。输入感测单元包括第一金属图案层，该第一金属图案层包括在第一方向上延伸的多条第一导线。输入感测单元包括位于第一金属图案层上方并且包括在与第一方向交叉的第二方向上延伸的多条第二导线的第二金属图案层。输入感测单元包括设置在第一金属图案层和第二金属图案层上以沿与抗反射图案层的上表面正交的方向与第一金属图案层和第二金属图案层叠置的抗反射图案层。抗反射图案层包括具有MoaXbOc的经验式的金属氧化物，其中，a和c是大于零的有理数，b是等于或大于零的有理数，X包括从钽(Ta)、钒(V)、铌(Nb)、锆(Zr)、钨(W)、铪(Hf)、钛(Ti)和铼(Re)选择的至少一种元素。根据本专利技术的示例性实施例，制造输入感测单元的方法包括在基体层上形成有源图案层和覆盖有源图案层的有源绝缘层。该方法包括在有源绝缘层上形成第一金属层和覆盖第一金属层的抗反射材料层。该方法包括通过同时蚀刻第一金属层和抗反射材料层来形成第一金属图案层和第一抗反射图案层，该第一金属图案层包括在第一方向上延伸的多条第一导线，该第一抗反射图案层具有与第一金属图案层的图案相同的图案。该方法包括在有源绝缘层上形成第一绝缘层，以覆盖第一金属图案层和第一抗反射图案层。该方法包括在第一绝缘层上形成第二金属层和覆盖第二金属层的抗反射材料层。该方法包括通过同时蚀刻第二金属层和抗反射材料层来形成第二金属图案层和第二抗反射图案层，该第二金属图案层包括在与第一方向交叉的第二方向上延伸的多条第二导线，该第二抗反射图案层具有与第二金属图案层的图案相同的图案。第一金属图案层的部分沿与基体层的上表面正交的方向与有源图案层的至少部分叠置。第二金属图案层的部分沿与基体层的上表面正交的方向与有源图案层的至少部分叠置。抗反射材料层包括具有MoaXbOc的经验式的金属氧化物，其中，a和c是大于零的有理数，b是等于或大于零的有理数，X包括从钽(Ta)、钒(V)、铌(Nb)、锆(Zr)、钨(W)、铪(Hf)、钛(Ti)和铼(Re)选择的至少一种元素。附图说明通过参照附图详细地描述本专利技术的示例性实施例，本专利技术的以上和其它方面和特征将变得更明显，在附图中：图1是示出根据本专利技术的示例性实施例的显示装置的堆叠结构的剖视图；图2是根据本专利技术的示例性实施例的显示装置的输入感测单元的平面图；图3是图2中示出的输入感测单元的部分“A”的放大图；图4是沿图3的线IV-IV'截取的输入感测单元的剖视图；图5是根据本专利技术的示例性实施例的显示装置的输入感测单元的剖视图；图6至图14是示出根据本专利技术的示例性实施例的制造输入感测单元的方法的剖视图；图15是示出根据本专利技术的示例性实施例的显示装置的堆叠结构的剖视图；图16是图15的显示装置的输入感测单元的平面图；图17是沿图16的线XVII-XVII'截取的输入感测单元的剖视图；图18和图19是示出根据本专利技术的示例性实施例的显示装置的堆叠结构的剖视图；图20是示出示例性反射率测量的曲线图；图21是示出示例性反射率测量的曲线图；图22是示出示例性反射率测量的曲线图；以及图23示出了基于根据波长的反射率的涂层结构的色坐标。具体实施方式下面将参照附图更详细地描述本专利技术的示例性实施例。在这方面，示例性实施例可以具有不同的形式并且不应解释为局限于这里描述的本专利技术的示例性实施例。贯穿说明书和附图，同样的附图标记可以表示同样的元件。将理解的是，虽然这里可以使用术语“第一”和“第二”来描述各种组件，但是这些组件不应受这些术语限制。将理解的是，当诸如层、膜、区域或板的组件被称为“在”另一组件“上”时，该组件可以直接在另一组件上，或者可以存在中间组件。图1是示出根据本专利技术的示例性实施例的显示装置的堆叠结构的剖视图。参照图1，显示装置可以包括显示面板DP、抗反射层RL、输入感测单元ISU1和窗口层WP。显示面板DP、抗反射层RL、输入感测单元ISU1和窗口层WP中的每个可以位于基体层(例如，下面参照图4更详细地描述的基体层BL)上方。基体层可以包括合成树脂膜、复合膜或玻璃基底。然而，本专利技术的示例性实施例不限于此。作为示例，显示面板DP、抗反射层RL、输入感测单元ISU1和窗口层WP可以通过连续工艺顺序地形成在基体表面上方。根据本专利技术的示例性实施例，显示面板DP、抗反射层RL、输入感测单元ISU1和窗口层WP中的每个可以形成在单独的基体层上，然后使用粘合构件OCA结合。显示面板DP、抗反射层RL、输入感测单元ISU1和窗口层WP可以均通过位于显示面板DP、抗反射层RL、输入感测单元ISU1和窗口层WP中的相邻层之间的粘合构件OCA彼此附着。粘合构件OCA可以包括常规的粘合剂或粘着剂。参照图1描述的粘合构件OCA可以均为光学透明粘合构件；然而，本专利技术的示例性实施例不限于此。显示面板DP是用于产生图像的元件，在图中向上透射或者发射光的多个像素可以限定在显示面板DP上(例如，当在平面中观看时)。显示面板DP可以是但不限于透射从单独的背光单元接收的光或者将光用作激发光源的光接收显示面板DP或者使用有机发光二极管自发光的自发光显示面板DP。显示面板DP可以是其上设置有有机发光二极管和用于密封有机发光二极管的封装膜的薄膜晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输入感测单元，所述输入感测单元包括：第一金属图案层，包括在第一方向上延伸的多条第一导线；第一绝缘层，设置在所述第一金属图案层上；第二金属图案层，位于所述第一绝缘层上方，并且包括在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的多条第二导线；第二绝缘层，设置在所述第二金属图案层上；感测电极，设置在所述第二绝缘层上，并且通过限定在所述第二绝缘层中的接触孔电连接到所述第二金属图案层；以及抗反射图案层，设置在所述第一金属图案层和所述第二金属图案层上，以沿与所述抗反射图案层的上表面正交的方向与所述第一金属图案层和所述第二金属图案层叠置；其中，所述抗反射图案层包括具有MoaXbOc的经验式的金属氧化物，其中，a和c是大于零的有理数，b是等于或大于零的有理数，X包括从钽、钒、铌、锆、钨、铪、钛和铼选择的至少一种元素。

【技术特征摘要】
2017.06.30 KR 10-2017-00837281.一种输入感测单元，所述输入感测单元包括：第一金属图案层，包括在第一方向上延伸的多条第一导线；第一绝缘层，设置在所述第一金属图案层上；第二金属图案层，位于所述第一绝缘层上方，并且包括在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的多条第二导线；第二绝缘层，设置在所述第二金属图案层上；感测电极，设置在所述第二绝缘层上，并且通过限定在所述第二绝缘层中的接触孔电连接到所述第二金属图案层；以及抗反射图案层，设置在所述第一金属图案层和所述第二金属图案层上，以沿与所述抗反射图案层的上表面正交的方向与所述第一金属图案层和所述第二金属图案层叠置；其中，所述抗反射图案层包括具有MoaXbOc的经验式的金属氧化物，其中，a和c是大于零的有理数，b是等于或大于零的有理数，X包括从钽、钒、铌、锆、钨、铪、钛和铼选择的至少一种元素。2.根据权利要求1所述的输入感测单元，其中，所述抗反射图案层具有从至的厚度。3.根据权利要求1所述的输入感测单元，其中，所述金属氧化物中的所述X原子的比例为从1％至7％。4.根据权利要求1所述的输入感测单元，其中，所述第一金属图案层和所述第二金属图案层中的至少一个包括钼、铝和钛中的至少一种。5.根据权利要求1所述的输入感测单元，其中，所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中的至少一个包括氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氧化钛和氧化铝中的至少一种。6.根据权利要求1所述的输入感测单元，所述输入感测单元还包括：有源图案层；以及有源绝缘层，设置在所述有源图案层上，其中，所述第一金属图案层设置在所述有源绝缘层上，所述第一金属图案层和所述第二金属图案层中的每个的一部分沿与所述抗反射图案层的所述上表面正交的所述方向与所述有源图案层的至少一部分叠置。7.一种显示装置，所述显示装置包括：显示面板，所述显示面板上限定有多个像素；抗反射层，设置在所述显示面板上；以及输入感测单元，设置在所述抗反射层上，其中，所述输入感测单元包括：第一金属图案层，包括在第一方向上延伸的多条第一导线；第二金属图案层，位于所述第一金属图案层上方，并且包括在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的多条第二导线；以及抗反射图案层，设置在所述第一金属图案层和所述第二金属图案层上，以沿与所述抗反射图案层的上表面正交的方向与所述第一金属图案层和所述第二金属图案层叠置，其中，所述抗反射图案层包括具有MoaXbOc的经验式的金属氧化物，其中，a和c是大于零的有理数，b是等于或大于零的有理数，X包括从钽、钒、铌、锆、钨、铪、钛和铼选择的至少一种元素。8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述第一金属图案层和所述第二金属图案层不沿与所述抗反射图案层的所述上表面正交的所述方向与所述像素叠置。9.根据权利要求7所述的显示装置，其中，多个单元感测区限定在所述输入感测单元中，其中，所述单元感测区中的每个沿与所述抗反射图案层的所述上表面正交的所述方向与所述多个像素中的1至30个像素叠置。10.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：白炅旼，申铉亿，李周炫，朴俊龙，申相原，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR