【技术实现步骤摘要】
一个或多个实施例涉及一种显示装置和制造该显示装置的方法，并且更具体地，涉及一种包括侧表面不具有凸起部分的栅层的显示装置和制造该显示装置的方法。
技术介绍
1、显示装置配置用于接收关于图像的信息并显示该图像。包括在显示装置中的栅层可以具有包括多个层的多层结构。当在显示装置的制造工艺期间将蚀刻工艺施加到栅层时，朝栅层的外部凸出的凸起部分可以形成在栅层的侧表面上。
技术实现思路
1、在使用蚀刻工艺在其中形成栅层的显示装置中，形成在栅层的侧表面上的凸起部分具有与构成电容器的其他导电层电接触的高风险。在其中电容器配置有栅层的情况下，朝栅层的外部凸出的凸起部分可能与其他导电层短路。由于短路，电容器的电压特性可能会显著裂化。
2、一个或多个实施例包括一种显示装置和制造该显示装置的方法，该显示装置包括侧表面不具有凸起部分的栅层。然而，这仅仅为示例，并且本公开的范围不限于此。
3、根据一个或多个实施例，一种显示装置包括：基板；半导体层，设置在所述基板上；栅绝缘层，设置在所述半导体层上；栅层，包括设置在所述栅绝缘层上并包括第一金属的第一层和设置在所述第一层上并包括第二金属的第二层，其中第一通孔被限定在垂直于所述第一层的上表面的方向上穿过所述第二层；以及层间绝缘层，设置在所述栅层上。
4、在一实施例中，所述第一层的第一侧表面与所述基板的上表面之间的锐角可以小于所述第二层的第二侧表面与所述基板的所述上表面之间的锐角，其中所述第一侧表面和所述第二侧表面可以对应于所述栅层的
5、在一实施例中，所述第一通孔可以被限定同时穿过所述层间绝缘层和所述第二层，并且所述显示装置可以进一步包括第一导电层，所述第一导电层设置在所述层间绝缘层上并通过所述第一通孔连接到所述第一层。
6、在一实施例中，凹槽可以被限定在所述第一层中以对应于所述第一通孔，并且所述第一导电层可以填充所述第一通孔和所述凹槽。
7、在一实施例中，所述第一侧表面与所述第二侧表面之间的角度可以小于约180°。
8、在一实施例中，所述第一导电层可以通过第二通孔连接到所述半导体层，所述第二通孔被限定穿过所述层间绝缘层和所述栅绝缘层。
9、在一实施例中，所述基板可以包括所述栅层所在的第一区域和在除所述第一区域之外的区域中所述半导体层所在的第二区域。在这种实施例中，所述第一通孔可以位于所述第一区域中，并且所述第二通孔可以位于所述第二区域中。
10、在一实施例中，所述第一金属可以包括钛(ti)，并且所述第二金属可以包括铝(al)。
11、在一实施例中，在相同条件下，所述第一金属的蚀刻率可以低于所述第二金属的蚀刻率。
12、在一实施例中，所述第一层的所述上表面可以通过所述第一通孔与所述第一导电层直接接触。
13、根据一个或多个实施例，一种制造显示装置的方法包括：在基板上提供半导体层；在所述半导体层上提供栅绝缘层；提供栅层，所述栅层包括设置在所述栅绝缘层上并包括第一金属的第一层和设置在所述第一层上并包括第二金属的第二层；在所述栅层上提供层间绝缘层；以及形成穿过所述层间绝缘层和所述第二层的第一通孔和穿过所述层间绝缘层和所述栅绝缘层的第二通孔。
14、在一实施例中，所述提供所述栅层可以包括以使所述第一层的第一侧表面与所述基板的上表面之间的锐角小于所述第二层的第二侧表面与所述基板的所述上表面之间的锐角的方式形成所述栅层。
15、在一实施例中，所述方法可以进一步包括在所述层间绝缘层上提供第一导电层，以通过所述第一通孔连接到所述第一层并通过所述第二通孔连接到所述半导体层。
16、在一实施例中，所述形成所述第一通孔和所述第二通孔可以包括在所述第一层中形成对应于所述第一通孔的凹槽，并且所述提供所述第一导电层可以包括提供所述第一导电层以通过所述第一通孔和所述凹槽连接到所述第一层。
17、在一实施例中，所述提供所述第一导电层可以包括以使所述第一层的上表面通过所述第一通孔与所述第一导电层直接接触的方式提供所述第一导电层。
18、在一实施例中，所述提供所述栅层可以包括：在所述栅绝缘层上形成所述第一层，其中所述第一层包括所述第一金属；在所述第一层上形成所述第二层，其中所述第二层包括所述第二金属；以及以预设形状将所述第一层和所述第二层图案化。
19、在一实施例中，所述形成所述第一通孔和所述第二通孔可以包括分别去除所述层间绝缘层的与所述第一通孔的位置和所述第二通孔的位置对应的部分，去除所述第二层的与所述第一通孔的位置对应的部分，以及去除所述栅绝缘层的与所述第二通孔的位置对应的部分。
20、在一实施例中，在相同条件下，所述第一金属的蚀刻率可以低于所述第二金属的蚀刻率。
21、在一实施例中，所述第一金属可以包括钛(ti)，并且所述第二金属可以包括铝(al)。
22、通过详细描述、权利要求书和附图，将更好地理解本公开的实施例的其他特征。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述第一层的第一侧表面与所述基板的上表面之间的锐角小于所述第二层的第二侧表面与所述基板的所述上表面之间的锐角，
3.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的显示装置，其特征在于，所述第一侧表面与所述第二侧表面之间的角度小于180°。
6.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于，所述第一导电层通过第二通孔连接到所述半导体层，所述第二通孔被限定穿过所述层间绝缘层和所述栅绝缘层。
7.根据权利要求6所述的显示装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，
9.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，在相同条件下，所述第一金属的蚀刻率低于所述第二金属的蚀刻率。
10.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于，所述第一层的所述上表面通过所述第一通孔与所述第一导电层直接接触。
【技术特征摘要】
1.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述第一层的第一侧表面与所述基板的上表面之间的锐角小于所述第二层的第二侧表面与所述基板的所述上表面之间的锐角，
3.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的显示装置，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的显示装置，其特征在于，所述第一侧表面与所述第二侧表面之间的角度小于180°。
6.根据权利要求3所述...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。