The utility model discloses a multifunctional transporter, which comprises a main frame, a rotating component, a regulating component and a supporting device. The rotating component comprises a power input component and a driving shaft, and the power input component is fixed on the first side of the main frame; the output end of the power input component is connected with the driving shaft for driving the rotation of the driving shaft; and the regulating component includes an input shaft and a regulating device. One end of the input shaft is rotated to the second side of the main frame, the other end of the input shaft is connected to the adjustment shaft, and the rotation of the input shaft drives the adjustment axis to move in the direction close to or far from the first side of the main frame; the supporting device includes the left supporting device and the right supporting device; the left supporting device is detachably connected with the driving shaft, and the right supporting device is detachably connected with the adjustment shaft. The utility model can support the preheating module, the heating module and the spray head module, and can adjust their respective supporting angles. The space occupied by the utility model is greatly reduced, the operation is relatively simple, and the operation time is saved.
【技术实现步骤摘要】
多功能转运车
本技术涉及一种转运小车,尤其涉及一种多功能转运车。
技术介绍
MOCVD(金属氧化物化学气相沉积)设备一般设置有反应腔室,在进行太阳能电池等加工时,需要将电池片置于反应腔室中进行镀膜,而镀膜过程中所需温度较高,因此反应腔室中一般需要设置预热模块和加热模块;镀膜还需要喷淋头辅助沉积膜层,而该喷淋头需要定期清洗。目前的MOCVD设备采用模块化设计,也即分别将预热模块、加热模块和喷淋头模块组装在MOCVD设备主体上。而目前在组装其预热模块、加热模块和喷淋头(showerhead)模块中存在以下三方面问题:首先,需要将预热模块、加热模块和喷淋头模块分别放置在各自的专用平台上,因而需要设计3个专用平台,太占用空间且耗费设计精力。其次,由于预热模块和加热模块所用热源为灯管,在装配灯管时,由于模块尺寸大,无论将其单独的水平放置或者单独竖直放置都无法满足安装要求。为了解决上述问题,通常先将预热模块或者加热模块平放在专用平台上安装,待预热模块和加热模块在水平放置已经无法继续组装时,利用天车将其吊起到竖直位置安装,该种安装方式费时费力。最后,当MOCVD设备交付使用后,需定期对喷淋头模块清洗,在这过程中需要将喷淋头放置到专用转运车上进行拆装和转运,这样存在二次装载问题。在整个过程中需要3个专用平台(分别是预热模块安装平台,加热模块安装平台,喷淋头模块安装平台)、一个喷淋头转运车、一个天车辅助其各模块的旋转安装。因此目前的方案既占用使用空间,还存在操作复杂,安装困难的弊端。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多功能转运车,以解决上述问题,既能在一个转运车上安装预热模块 ...
【技术保护点】
1.一种多功能转运车,其特征在于,包括:主框架;旋转组件,包括动力输入组件和驱动轴,所述动力输入组件固定连接于所述主框架的第一侧;所述动力输入组件的输出端与所述驱动轴连接,用于带动所述驱动轴旋转;调节组件,所述调节组件包括输入轴和调节轴,所述输入轴的一端旋转连接于所述主框架的第二侧,所述输入轴的另一端与所述调节轴连接,所述输入轴旋转带动所述调节轴向靠近或者远离所述主框架的第一侧的方向移动;支撑装置,所述支撑装置包括左支撑装置和右支撑装置;所述左支撑装置与所述驱动轴可拆卸连接,所述右支撑装置与所述调节轴可拆卸连接。
【技术特征摘要】
1.一种多功能转运车,其特征在于,包括:主框架;旋转组件,包括动力输入组件和驱动轴,所述动力输入组件固定连接于所述主框架的第一侧;所述动力输入组件的输出端与所述驱动轴连接,用于带动所述驱动轴旋转;调节组件,所述调节组件包括输入轴和调节轴,所述输入轴的一端旋转连接于所述主框架的第二侧,所述输入轴的另一端与所述调节轴连接,所述输入轴旋转带动所述调节轴向靠近或者远离所述主框架的第一侧的方向移动;支撑装置,所述支撑装置包括左支撑装置和右支撑装置;所述左支撑装置与所述驱动轴可拆卸连接,所述右支撑装置与所述调节轴可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的多功能转运车,其特征在于,所述支撑装置为用于支撑预热模块或者加热模块的第一支撑组件;所述左支撑装置为第一左支撑模块,所述右支撑装置为第一右支撑模块;所述第一左支撑模块和所述第一右支撑模块均为条状支撑杆,所述第一左支撑模块和第一右支撑模块上均开设有连接孔。3.根据权利要求1所述的多功能转运车,其特征在于,所述支撑装置为用于支撑喷淋头模块的第二支撑组件,所述左支撑装置为第二左支撑模块,所述右支撑装置为第二右支撑模块;所述第二左支撑模块和所述第二右支撑模块均包括底板和连接块;所述连接块固定于所述底板上,所述第二左支撑模块的所述连接块与所述驱动轴可拆卸连接;所述第二右支撑模块的所述连接块与所述调节轴可拆卸连接。4.根据权利要求3所述的多功能转运车,其特征在于,...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐帅,曹杰,张虎威,邓曾红,
申请(专利权)人:东泰高科装备科技北京有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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