驻极体麦克风及其制造方法、显示装置制造方法及图纸

本申请公开了一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置，属于薄膜技术领域。驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，第一衬底基板朝向第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且驻极体薄膜与第一衬底基板之间形成第一空腔；第二衬底基板朝向第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且背电极薄膜与开关晶体管中的栅极连接，驻极体薄膜与背电极薄膜之间形成第二空腔。本申请解决了相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置的问题，且提供了一种能够适用于轻薄型显示装置的驻极体麦克风，本申请用于驻极体麦克风。

【技术实现步骤摘要】
驻极体麦克风及其制造方法、显示装置
本申请涉及薄膜
，特别涉及一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置。
技术介绍
驻极体麦克风是一种常用在显示装置中的麦克风，驻极体麦克风能够将声波转换为电信号，驻极体麦克风通常包括：金属外壳，以及在金属外壳内依次排布的金属垫、驻极体结构、塑料支架、金属背电极和场效应晶体管。其中，驻极体分别与金属背电极和金属外壳之间形成空腔，金属背电极与场效应晶体管的栅极连接，场效应晶体管的源极和漏极的引脚均伸出金属外壳之外。需要说明的是，驻极体能够在电场的作用下聚集电荷，且在电场消失时，驻极体上的电荷不会消失。当声波传入驻极体麦克风内时，驻极体会在声波的作用下发生振动，且在其振动过程中驻极体上的电荷会在金属背电极上产生相应的感应电荷，从而使场效应晶体管的栅极在感应电荷的作用下形成相应的电压，使场效应晶体管的源极和漏极导通或关断。因此，根据场效应晶体管的源极和漏极的导通状况，就可以生成与声波相关的电信号。但是，相关技术驻极体麦克风由多种结构组装而成，使得驻极体麦克风的体积较大，因此相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置。
技术实现思路
本申请提供了一种驻极体麦克风及其制造方法、显示装置，可以解决相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置的问题，所述技术方案如下：一方面，提供了一种驻极体麦克风，所述驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，所述第一衬底基板朝向所述第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接，所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔。可选的，所述第一支撑薄膜呈环形，所述第一支撑薄膜所包围的开口区域在所述第一衬底基板上的正投影位于所述背电极薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内，且与所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影存在重叠。可选的，所述驻极体薄膜呈条状，且在所述驻极体薄膜的宽度方向上，所述驻极体薄膜的宽度小于所述开口区域的宽度。可选的，所述第二支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影位于所述第一支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内。可选的，所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影与所述开关晶体管在所述第一衬底基板上的正投影不重叠。可选的，所述第一支撑薄膜的材质为金属。可选的，所述第一衬底基板和所述第二衬底基板均为柔性基板。可选的，所述驻极体麦克风在垂直于所述第一衬底基板的方向上的厚度小于10微米。可选的，所述开关晶体管为场效应晶体管，所述场效应晶体管包括：与所述背电极薄膜同层设置的源极、漏极和栅极，以及设置在所述源极、所述漏极和所述栅极上的有源层。另一方面，提供了一种显示装置，所述显示装置包括：上述驻极体麦克风。可选的，所述驻极体麦克风中的第一衬底基板和第二衬底基板之间未设置有第一支撑薄膜、驻极体薄膜、背电极薄膜、开关晶体管以及第二支撑薄膜的区域内，设置有阵列排布的多个像素单元。可选的，所述显示装置还包括：叠加在所述驻极体麦克风中的第二衬底基板远离第一衬底基板一侧的显示面板，所述显示面板包括阵列排布的多个像素单元，所述驻极体麦克风中的第一支撑薄膜、驻极体薄膜、背电极薄膜、开关晶体管以及第二支撑薄膜在所述显示面板上的正投影位于每个所述像素单元外。可选的，所述第一衬底基板中设置有连通所述第一空腔的通孔。又一方面，提供了一种驻极体麦克风的制造方法，用于制造上述驻极体麦克风，所述方法包括：在第一衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，所述第一支撑薄膜和所述驻极体薄膜沿远离所述第一衬底基板的方向依次设置，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；在第二衬底基板上形成背电极薄膜和开关晶体管，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接；在所述第二衬底基板上形成绝缘的第二支撑薄膜；将所述第一衬底基板和所述第二衬底基板相对设置，以使得所述驻极体薄膜位于所述第一支撑薄膜和所述第二支撑薄膜之间，且所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔。可选的，所述在第一衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，包括：在所述第一衬底基板上依次形成第一支撑材质层和驻极体材质层；对所述驻极体材质层进行图案化处理，以得到所述驻极体薄膜；对所述第一支撑材质层进行图案化处理，以得到所述第一支撑薄膜。可选的，所述在第二衬底基板上形成第一支撑薄膜和驻极体薄膜，包括：在所述第一衬底基板上形成第一支撑材质层；对所述第一支撑材质层进行图案化处理，以得到所述第一支撑薄膜；采用转印法在所述第一支撑薄膜上形成所述驻极体薄膜。由于本申请提供的驻极体麦克风包括第一衬底基板和第二衬底基板，以及设置在这两个衬底基板上的多个薄膜，且通常薄膜的厚度较小，因此，本专利技术实施例提供的驻极体麦克风的厚度较小，该驻极体麦克风能够适用于轻薄型的显示装置。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种驻极体麦克风的截面示意图；图2为本专利技术实施例提供的一种驻极体麦克风的俯视图；图3为本专利技术实施例提供的一种驻极体麦克风中第一衬底基板和第二衬底基板之间的区域划分示意图；图4为本专利技术实施例提供的第一种显示装置的结构示意图；图5为本专利技术实施例提供的第二种驻极体麦克风的制造方法的流程图图6为本专利技术实施例提供的第三种驻极体麦克风的制造过程示意图；图7为本专利技术实施例提供的第四种驻极体麦克风的制造过程示意图；图8为本专利技术实施例提供的第五种驻极体麦克风的制造过程示意图；图9为本专利技术实施例提供的第六种驻极体麦克风的制造过程示意图；图10为本专利技术实施例提供的第七种驻极体麦克风的制造过程示意图；图11为本专利技术实施例提供的第八种驻极体麦克风的制造过程示意图；图12为本专利技术实施例提供的第九种驻极体麦克风的制造过程示意图；图13为本专利技术实施例提供的第十种驻极体麦克风的制造过程示意图。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。相关技术驻极体麦克风由多种结构组装而成，使得驻极体麦克风的体积较大，因此相关技术中的驻极体麦克风无法适用于轻薄型的显示装置。本专利技术实施例提供了一种能够适用于轻薄型显示装置的驻极体麦克风。图1为本专利技术实施例提供的一种驻极体麦克风的截面示意图，图2为本专利技术实施例提供的一种驻极体麦克风的俯视图，且图1示出了图2中截面WW的示意图，图2中未示出驻极体麦克风中的衬底基板。请结合图1和图2，该驻极体麦克风0可以包括：相对设置的第一衬底基板01和第二衬底基板02。第一衬底基板01朝向第二衬底基板02的一侧依次设置有第一支撑薄膜03和驻极体薄膜04，且驻极体薄膜04在第一支撑薄膜03的支撑作用下，与第一衬底基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，所述第一衬底基板朝向所述第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接，所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔。

【技术特征摘要】
1.一种驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体麦克风包括：相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板，所述第一衬底基板朝向所述第二衬底基板的一侧依次设置有第一支撑薄膜和驻极体薄膜，且所述驻极体薄膜在所述第一支撑薄膜的支撑作用下，与所述第一衬底基板之间形成第一空腔；所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板的一侧设置有背电极薄膜、开关晶体管以及绝缘的第二支撑薄膜，且所述背电极薄膜与所述开关晶体管中的栅极连接，所述驻极体薄膜在所述第二支撑薄膜的支撑作用下，与所述背电极薄膜之间形成第二空腔。2.根据权利要求1所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述第一支撑薄膜呈环形，所述第一支撑薄膜所包围的开口区域在所述第一衬底基板上的正投影位于所述背电极薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内，且与所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影存在重叠。3.根据权利要求2所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体薄膜呈条状，且在所述驻极体薄膜的宽度方向上，所述驻极体薄膜的宽度小于所述开口区域的宽度。4.根据权利要求3所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述第二支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影位于所述第一支撑薄膜在所述第一衬底基板上的正投影内。5.根据权利要求1所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体薄膜在所述第一衬底基板上的正投影与所述开关晶体管在所述第一衬底基板上的正投影不重叠。6.根据权利要求1至5任一所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述第一衬底基板和所述第二衬底基板均为柔性基板。7.根据权利要求1至5任一所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述驻极体麦克风在垂直于所述第一衬底基板的方向上的厚度小于10微米。8.根据权利要求1至5任一所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述开关晶体管为场效应晶体管，所述场效应晶体管包括：与所述背电极薄膜同层设置的源极、漏极和栅极，以及设置在所述源极、所述漏极和所述栅极上的有源层。9.根据权利要求1至5任一所述的驻极体麦克风，其特征在于，所述第一衬底基板中设置有连通所述第一空腔的通孔。10.一种显示装置，其特征在于，所述显...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢蒂旎，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11