一种单晶石英坩埚制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶石英坩埚，包括主体，所述主体由二氧化硅层与抗氧化层组成，且抗氧化层覆盖在二氧化硅层的外表面，所述主体的内部下端位于抗氧化层的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板，所述主体的一侧外表面设有指窝，所述主体的一侧靠近主体的上端的位置固定安装有导液豁口，所述主体的下端外表面设有单晶硅底板，所述主体的下端位于单晶硅底板的外表面的位置设有花键环，所述主体的上端设有上盖。本实用新型专利技术所述的一种单晶石英坩埚，设有石墨烯导热板、指窝与花键环，能够便于石英坩埚的加热，并能方便单晶石英坩埚的拿取，还能防止单晶石英坩埚滑动造成损坏，方便人们使用，带来更好的使用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶石英坩埚
本技术涉及石英坩埚领域，特别涉及一种单晶石英坩埚。
技术介绍
单晶石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚可在一千四百五十度以下使用，分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料；现有的单晶石英坩埚在使用时存在一定的弊端，石英坩埚拿取不便，容易造成石英坩埚在人们的手中滑落导致石英坩埚的损坏，单晶石英坩埚导热性不好，在对石英坩埚进行加热时，单晶石英坩埚的导热较慢造成加热时间的延长，而且单晶石英坩埚底部光滑，放置的时候容易滑落，易导致单晶石英坩埚的破裂损坏，给人们的使用过程带来了一定的影响，为此，我们提出一种单晶石英坩埚。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种单晶石英坩埚。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案：本技术一种单晶石英坩埚，包括主体，所述主体由二氧化硅层与抗氧化层组成，且抗氧化层覆盖在二氧化硅层的外表面，所述主体的内部下端位于抗氧化层的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板，所述主体的一侧外表面设有指窝，所述主体的一侧靠近主体的上端的位置固定安装有导液豁口，所述主体的下端外表面设有单晶硅底板，所述主体的下端位于单晶硅底板的外表面的位置设有花键环，所述主体的上端设有上盖，所述上盖的下端外表面固定安装有盖沿，所述主体的上端外表面固定安装有提手，所述提手的一侧外表面设有通孔，所述提手的一侧贯穿通孔的位置设有挂绳。优选的，所述指窝的形状为凹面椭圆形，所述导液豁口的形状为三角锥形。优选的，所述花键环的形状为圆环状，所述花键环的外表面设有磨砂纹，且花键环与单晶硅底板固定连接。优选的，所述提手的形状为圆球形，所述通孔贯穿提手，且提手与上盖固定连接。优选的，所述抗氧化层的材质为石墨纤维，所述单晶硅底板的材质为单晶硅。优选的，所述上盖的形状为圆形，所述盖沿的形状为圆环形，且盖沿的直径小于上盖的直径。本技术所达到的有益效果是：该单晶石英坩埚，通过设置石墨烯导热板，能够加强单晶石英坩埚的导热性能，在对单晶石英坩埚进行加热时，能够及时的将热量进行传导，减少单晶石英坩埚的加热时间，提高单晶石英坩埚的加热效率，通过设置指窝，指窝设置在单晶石英坩埚的两侧，当人们拿取单晶石英坩埚时，可以通过将两根手指放在指窝内从而将单晶石英坩埚拿取牢固，防止人们在拿取单晶石英坩埚时造成单晶石英坩埚的摔落，便于单晶石英坩埚的拿放，通过设置花键环，利用花键环外表面的磨砂纹增大单晶石英坩埚与放置面的摩擦力，防止单晶石英坩埚在放置的时候滑动造成单晶石英坩埚的滑落，从而避免单晶石英坩埚的损坏，整个单晶石英坩埚结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术一种单晶石英坩埚的整体结构示意图；图2是本技术一种单晶石英坩埚的剖析图；图3是本技术一种单晶石英坩埚的俯视图；图中：1、主体；2、二氧化硅层；3、抗氧化层；4、石墨烯导热板；5、指窝；6、导液豁口；7、单晶硅底板；8、花键环；9、上盖；10、盖沿；11、提手；12、通孔；13、挂绳。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1如图1-3所示，一种单晶石英坩埚，包括主体1，主体1由二氧化硅层2与抗氧化层3组成，且抗氧化层3覆盖在二氧化硅层2的外表面，主体1的内部下端位于抗氧化层3的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板4，能够加强单晶石英坩埚的导热性能，在对单晶石英坩埚进行加热时，能够及时的将热量进行传导，减少单晶石英坩埚的加热时间，提高单晶石英坩埚的加热效率，主体1的一侧外表面设有指窝5，指窝5设置在单晶石英坩埚的两侧，当人们拿取单晶石英坩埚时，可以通过将两根手指放在指窝5内从而将单晶石英坩埚拿取牢固，防止人们在拿取单晶石英坩埚时造成单晶石英坩埚的摔落，便于单晶石英坩埚的拿放，主体1的一侧靠近主体1的上端的位置固定安装有导液豁口6，主体1的下端外表面设有单晶硅底板7，主体1的下端位于单晶硅底板7的外表面的位置设有花键环8，利用花键环8外表面的磨砂纹增大单晶石英坩埚与放置面的摩擦力，防止单晶石英坩埚在放置的时候滑动造成单晶石英坩埚的滑落，从而避免单晶石英坩埚的损坏，主体1的上端设有上盖9，上盖9的下端外表面固定安装有盖沿10，主体1的上端外表面固定安装有提手11，提手11的一侧外表面设有通孔12，提手11的一侧贯穿通孔12的位置设有挂绳13。指窝5的形状为凹面椭圆形，导液豁口6的形状为三角锥形；花键环8的形状为圆环状，花键环8的外表面设有磨砂纹，且花键环8与单晶硅底板7固定连接；提手11的形状为圆球形，通孔12贯穿提手11，且提手11与上盖9固定连接；抗氧化层3的材质为石墨纤维，单晶硅底板7的材质为单晶硅；上盖9的形状为圆形，盖沿10的形状为圆环形，且盖沿10的直径小于上盖9的直径。需要说明的是，本技术为一种单晶石英坩埚，使用时，两根手指放在指窝5内将单晶石英坩埚进行拿放，指窝5设置在单晶石英坩埚的两侧，当人们拿取单晶石英坩埚时，可以通过将两根手指放在指窝5内从而将单晶石英坩埚拿取牢固，防止人们在拿取单晶石英坩埚时造成单晶石英坩埚的摔落，便于单晶石英坩埚的拿放，单晶石英坩埚主体1下端的单晶硅底板7上设有花键环8，利用花键环8外表面的磨砂纹增大单晶石英坩埚与放置面的摩擦力，防止单晶石英坩埚在放置的时候滑动造成单晶石英坩埚的滑落，从而避免单晶石英坩埚的损坏，单晶石英坩埚由二氧化硅层2与抗氧化层3组成，抗氧化层3的材质为石墨纤维，通过提手11将上盖9打开，提手11上的通孔12内连接有挂绳13，可以利用挂绳13将上盖9挂起，防止上盖9摔落，将溶液倒入单晶石英坩埚内加热，单晶石英坩埚上设有石墨烯导热板4，能够加强单晶石英坩埚的导热性能，在对单晶石英坩埚进行加热时，能够及时的将热量进行传导，减少单晶石英坩埚的加热时间，提高单晶石英坩埚的加热效率，加热好的溶液通过导液豁口6倒出，较为实用。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶石英坩埚，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)由二氧化硅层(2)与抗氧化层(3)组成，且抗氧化层(3)覆盖在二氧化硅层(2)的外表面，所述主体(1)的内部下端位于抗氧化层(3)的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板(4)，所述主体(1)的一侧外表面设有指窝(5)，所述主体(1)的一侧靠近主体(1)的上端的位置固定安装有导液豁口(6)，所述主体(1)的下端外表面设有单晶硅底板(7)，所述主体(1)的下端位于单晶硅底板(7)的外表面的位置设有花键环(8)，所述主体(1)的上端设有上盖(9)，所述上盖(9)的下端外表面固定安装有盖沿(10)，所述主体(1)的上端外表面固定安装有提手(11)，所述提手(11)的一侧外表面设有通孔(12)，所述提手(11)的一侧贯穿通孔(12)的位置设有挂绳(13)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶石英坩埚，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)由二氧化硅层(2)与抗氧化层(3)组成，且抗氧化层(3)覆盖在二氧化硅层(2)的外表面，所述主体(1)的内部下端位于抗氧化层(3)的外表面的位置固定安装有石墨烯导热板(4)，所述主体(1)的一侧外表面设有指窝(5)，所述主体(1)的一侧靠近主体(1)的上端的位置固定安装有导液豁口(6)，所述主体(1)的下端外表面设有单晶硅底板(7)，所述主体(1)的下端位于单晶硅底板(7)的外表面的位置设有花键环(8)，所述主体(1)的上端设有上盖(9)，所述上盖(9)的下端外表面固定安装有盖沿(10)，所述主体(1)的上端外表面固定安装有提手(11)，所述提手(11)的一侧外表面设有通孔(12)，所述提手(11)的一侧贯穿通孔(12)的位置设有挂绳(13)。2....

【专利技术属性】
技术研发人员：庞卫，
申请(专利权)人：连云港亿博材料开发有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32