软膜搬运机构制造技术

本发明专利技术公开了一种软膜搬运机构，用于将软膜板在软膜供料工位和压印工位之间搬运，包括：底座；软膜移载机构，包括驱动机构、活动连接组件、定位组件和软膜托盘，软膜托盘设置于软膜供料工位上，驱动机构设置于底座上且其输出端与活动连接组件连接，定位组件设置于活动连接组件上用于将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运。本发明专利技术相较于现有技术，驱动机构驱动活动连接组件，带动定位组件将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运，结构合理，操作方便，软膜放置于软膜托盘内，定位组价可有效且平稳地将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运，节约人力，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
软膜搬运机构
本专利技术涉及一种软膜搬运机构。
技术介绍
纳米压印技术是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术，纳米压印技术最早由StephenYChou教授在1995年率先提出，这是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术。纳米压印技术的定义为：不使用光线或者辐照使光刻感光成型，而是直接在硅衬底或者其他衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。目前纳米压印制作时，主要采用人工的方式搬运软膜，劳动强度大，工作效率低，容易影响后期压印效果。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种软膜搬运机构。为了达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：本专利技术提供一种软膜搬运机构，用于将软膜板在软膜供料工位和压印工位之间搬运，包括：底座；软膜移载机构，包括驱动机构、活动连接组件、定位组件和软膜托盘，软膜托盘设置于软膜供料工位上，驱动机构设置于底座上且其输出端与活动连接组件连接，定位组件设置于活动连接组件上用于将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运。本专利技术相较于现有技术，驱动机构驱动活动连接组件，带动定位组件将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运，结构合理，操作方便，软膜放置于软膜托盘内，定位组价可有效且平稳地将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运，节约人力，提高工作效率。在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：作为优选的方案，上述的定位组件包括基座、以及至少一个吸盘手指，吸盘手指固定设置于基座上。采用上述优选的方案，吸盘手指吸取软膜托盘，实现软膜托盘的定位，保证移载的平稳性。作为优选的方案，上述的吸盘手指为电磁吸铁机构，吸盘手指包括吸盘底板和电磁线圈，吸盘底板内开设有安装腔体，电磁线圈设置于安装腔体内，电磁线圈与变频电源连接。采用上述优选的方案，电磁线圈通电产生电磁吸力，从而实现软膜托盘的定位，电磁线圈的吸力的大小可调，更加方便。作为优选的方案，上述的吸盘手指为真空吸附机构，吸盘手指包括吸盘底板，吸盘底板的底部开设有吸附气孔，吸盘底板内开设有连通吸附气孔的连接通道，连接通道与真空泵连接。采用上述优选的方案，真空泵抽真空，吸附气孔处产生空气吸力，从而将软膜托盘定位。作为优选的方案，上述的吸盘手指的底部且靠近基座的位置设有定位凸起，定位凸起上与软膜托盘接触的侧面为弧面结构。采用上述优选的方案，增加定位凸起，便于软膜托盘的定位。作为优选的方案，上述的软膜托盘包括圆环形安装框和软膜衬底，软膜衬底设置于圆环形安装框内用于承载软膜。采用上述优选的方案，软膜托盘上设置软膜衬底，用于承载软膜，避免损坏软膜。作为优选的方案，上述的活动连接组件包括对称设置的曲柄机构，曲柄机构包括第一连接臂和第二连接臂，第一连接臂转动设置于底座上，第二连接臂转动设置于第一连接臂上，第二连接臂还与定位组件活动连接，驱动机构与第一连接臂、第二连接臂连接用于驱动二个第一连接臂绕其与底座的连接点沿同一圆周方向转动使得定位组件在软膜供料工位和压印工位之间切换、以及用于驱动二个第二连接臂绕其与第一连接臂的连接点沿相反的圆周方向转动使得定位组件靠近或远离软膜供料工位和压印工位。采用上述优选的方案，通过二个第一连接臂的转动实现定位组件在软膜供料工位和压印工位之间切换、以及通过二个第二连接臂的转动实现定位组件靠近或远离软膜供料工位和压印工位，结构紧凑合理，便于操作。附图说明图1为本专利技术的整体结构示意图。具体实施方式下面结合附图详细说明本专利技术的优选实施方式。为了达到本专利技术的目的，如图1所示，在本专利技术的其中一种实施方式中提供一种软膜搬运机构，用于将软膜板40在软膜供料工位和压印工位之间搬运，包括：底座10；软膜移载机构，包括驱动机构、活动连接组件、定位组件20和软膜托盘30，软膜托盘30设置于软膜供料工位上，驱动机构设置于底座上且其输出端与活动连接组件连接，定位组件20设置于活动连接组件上用于将软膜托盘30在软膜供料工位和压印工位之间搬运。本实施方式相较于现有技术，驱动机构驱动活动连接组件，带动定位组件将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运，结构合理，操作方便，软膜放置于软膜托盘内，定位组价可有效且平稳地将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运，节约人力，提高工作效率。为了进一步地优化本专利技术的实施效果，在本专利技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的定位组件20包括基座、以及二个吸盘手指，吸盘手指固定设置于基座上。采用上述优选的方案，吸盘手指吸取软膜托盘，实现软膜托盘的定位，保证移载的平稳性。为了进一步地优化本专利技术的实施效果，在本专利技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的吸盘手指为电磁吸铁机构，吸盘手指包括吸盘底板和电磁线圈，吸盘底板内开设有安装腔体，电磁线圈设置于安装腔体内，电磁线圈与变频电源连接。采用上述优选的方案，电磁线圈通电产生电磁吸力，从而实现软膜托盘的定位，电磁线圈的吸力的大小可调，更加方便。为了进一步地优化本专利技术的实施效果，在本专利技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的吸盘手指为真空吸附机构，吸盘手指包括吸盘底板，吸盘底板的底部开设有吸附气孔，吸盘底板内开设有连通吸附气孔的连接通道，连接通道与真空泵连接。采用上述优选的方案，真空泵抽真空，吸附气孔处产生空气吸力，从而将软膜托盘定位。为了进一步地优化本专利技术的实施效果，在本专利技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的吸盘手指的底部且靠近基座的位置设有定位凸起，定位凸起上与软膜托盘接触的侧面为弧面结构。采用上述优选的方案，增加定位凸起，便于软膜托盘的定位。为了进一步地优化本专利技术的实施效果，在本专利技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的软膜托盘30包括圆环形安装框和软膜衬底，软膜衬底设置于圆环形安装框内用于承载软膜。采用上述优选的方案，软膜托盘上设置软膜衬底，用于承载软膜，避免损坏软膜。为了进一步地优化本专利技术的实施效果，在本专利技术的另一种实施方式中，在前述内容的基础上，上述的活动连接组件包括对称设置的曲柄机构，曲柄机构包括第一连接臂50和第二连接臂51，第一连接臂50转动设置于底座10上，第二连接臂51转动设置于第一连接臂50上，第二连接臂51还与定位组件20活动连接，驱动机构与第一连接臂50、第二连接臂51连接用于驱动二个第一连接臂50绕其与底座10的连接点沿同一圆周方向转动使得定位组件20在软膜供料工位和压印工位之间切换、以及用于驱动二个第二连接臂51绕其与第一连接臂50的连接点沿相反的圆周方向转动使得定位组件20靠近或远离软膜供料工位和压印工位。为了便于软膜的搬运和定位，软膜供料工位和压印工位设置在同一直线上，软膜搬运机构设置于软膜供料工位和压印工位之间；二个第一连接臂同时圆周方向顺时针转动时，带动定位组件在圆周方向顺时针旋转，定位组件每次旋转180°，使得软膜板在软膜供料工位和压印工位之间切换；左侧的第二连接臂逆时针圆周方向转动、右侧的第二连接臂顺时针方向转动时，带动定位组件靠近软膜供料工位移动；左侧的第二连接臂顺时针圆周方向转动、右侧的第二连接臂逆时针方向转动时，带动定位组件远离软膜供料工位移动。采用上述优选的方案，通过二个第一连接臂50的转动实现定位组件在软膜供料工位和压印工位之间切换、以及通过二个第二连接臂51的转动实现定位组件靠近或远离软膜供料工位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.软膜搬运机构，用于将软膜板在软膜供料工位和压印工位之间搬运，其特征在于，包括：底座；软膜移载机构，包括驱动机构、活动连接组件、定位组件和软膜托盘，软膜托盘设置于软膜供料工位上，驱动机构设置于底座上且其输出端与活动连接组件连接，定位组件设置于活动连接组件上用于将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运。

【技术特征摘要】
1.软膜搬运机构，用于将软膜板在软膜供料工位和压印工位之间搬运，其特征在于，包括：底座；软膜移载机构，包括驱动机构、活动连接组件、定位组件和软膜托盘，软膜托盘设置于软膜供料工位上，驱动机构设置于底座上且其输出端与活动连接组件连接，定位组件设置于活动连接组件上用于将软膜托盘在软膜供料工位和压印工位之间搬运。2.根据权利要求1所述的软膜搬运机构，其特征在于，定位组件包括基座、以及至少一个吸盘手指，吸盘手指固定设置于基座上。3.根据权利要求2所述的软膜搬运机构，其特征在于，吸盘手指为电磁吸铁机构或真空吸附机构。4.根据权利要求3所述的软膜搬运机构，其特征在于，吸盘手指包括吸盘底板和电磁线圈，吸盘底板内开设有安装腔体，电磁线圈设置于安装腔体内，电磁线圈与变频电源连接。5.根据权利要求3所述的软膜搬运机构，其特征在于，吸盘手指包括吸盘底板，吸盘底板的底部开设有吸附气孔，吸盘底板内开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓成，史晓华，
申请(专利权)人：苏州光越微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32