一种密封装置及密封式设备制造方法及图纸

本申请涉及工艺设备领域，尤其涉及一种密封装置及密封式设备，用以解决由于密封装置的磨损和老化导致密封性降低的问题。该密封装置包括：密封圈、用于承载密封圈的固定支架、连通密封圈的至少一个接入管，密封圈包含设置为中空结构的填充部以及连接填充部的卡接部；固定支架具有凹槽结构，凹槽结构用于卡接密封圈的卡接部；接入管连通密封圈的填充部，用于向填充部充入填充物，填充部在充入填充物后的最高点高于固定支架的最高点。本申请提供的技术方案能通过密封圈填充部的形变实现腔室与腔盖之间的密封，避免密封装置由反复下压起伏导致的磨损和老化，进而避免密封性降低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种密封装置及密封式设备
本申请涉及工艺设备领域，尤其涉及一种密封装置及密封式设备。
技术介绍
在低温多晶硅(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)工艺生产中，需要利用真空或者封闭式腔室进行镀膜、烘烤等工艺。在该工艺过程中，腔室封闭不完全会造成颗粒或者粉尘污染，因此，微粒Particle不达标一直是LTPS工艺生产的一大难题。现有的LTPS工艺生产中，密封腔室由腔体、腔盖和密封装置组成，在现有技术中，该密封装置具有褶皱结构，在腔盖打开时，密封装置形态如图1所示，在腔盖关闭时，该褶皱结构受腔盖挤压而缩短，密封装置形态如图2所示，腔盖关闭后，腔盖、密封装置与腔体共同形成一密封环境。但是，考虑到上述密封装置在每次关闭腔盖时都会被下压，在打开腔盖时起伏，如此，反复下压、起伏，会导致密封装置的磨损和老化，导致密封性降低，势必会在工艺制程时吸入微粒，造成产品的污染，降低产品品质。
技术实现思路
本申请实施例提供一种密封装置及密封式设备，用以解决由密封装置的磨损和老化导致密封性降低的问题。本申请实施例采用下述技术方案：一种密封装置，包括：密封圈、用于承载所述密封圈的固定支架、连通所述密封圈的至少一个接入管，其中，所述密封圈包含设置为中空结构的填充部以及连接所述填充部的卡接部；所述固定支架具有凹槽结构，所述凹槽结构用于卡接所述密封圈的卡接部；所述接入管连通所述密封圈的填充部，用于向所述填充部充入填充物，所述填充部在充入填充物后的最高点高于所述固定支架的最高点。可选的，在垂直于所述密封圈环绕方向的截面内，所述卡接部的尺寸大于所述固定支架中凹槽结构的口径，以便于在所述密封圈被置于所述凹槽结构后通过所述卡接部与所述凹槽结构的配合卡接所述卡接部。可选的，所述凹槽结构包含上槽室和下槽室；其中，在垂直于所述密封圈环绕方向的截面内，所述凹槽结构的下槽室与所述密封圈的卡接部相互适配，所述凹槽结构的上槽室包裹部分所述密封圈的填充部。可选的，所述密封圈的卡接部的截面图形为倒T形或梯形或一字形；和/或；所述密封圈的填充部的截面图形为圆形或矩形。可选的，当所述密封装置包括多个接入管时，所述多个接入管均匀分布且连通所述密封圈。可选的，上述密封装置还包括：至少一个压力表头，所述压力表头用于测试所述密封圈中填充部的填充压力状况。可选的，所述压力表头的个数与所述接入管的条数相同，每个压力表头连接在一个接入管上。可选的，所述填充物为液体或气体。可选的，所述填充物为干燥压缩空气CDA。一种密封式设备，包括腔体和腔盖，还包括上述任意一种密封装置；所述密封装置设置在所述腔体的顶部边缘，用于在通过腔盖关闭的方式对所述密封式设备进行密封时缓冲所述腔盖与所述腔体之间的碰撞压力；其中，所述顶部边缘是指所述腔体与所述腔盖的接触区域。本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：本申请提供的技术方案能通过密封圈填充部的形变实现腔室与腔盖之间的密封，避免密封装置由反复下压起伏导致的磨损和老化，进而避免密封性降低的问题。其中，可以通过接入管向密封圈填充部充入填充物，使填充部膨胀，并能在外力作用下发生一定程度的形变，减少使用中的磨损。密封圈卡接部能发生一定程度的形变，便于拆卸安装。另外，本申请中的密封装置可以在不使用时放掉填充部中的填充物，不致于填充部一直保持膨胀状态，减少老化磨损的几率。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1为现有技术中腔盖打开时密封装置示意图。图2为现有技术中腔盖关闭时密封装置示意图。图3为实施例一中密封装置结构示意图。图4为密封装置在垂直于密封圈环绕方向的截面示意图之一。图5为密封装置在垂直于密封圈环绕方向的截面示意图之二。图6为密封装置在垂直于密封圈环绕方向的截面示意图之三。图7为现有技术中密封装置俯视图。图8为实施例一中密封装置俯视图。图9为实施例二中密封式设备示意图。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。实施例一本申请实施例提供一种密封装置，该装置用于减缓由反复下压起伏导致的磨损和老化，进而避免密封性降低的问题。图3为本实施例中密封装置结构示意图。该密封装置可设置于密封容器上，如：密封箱、密封舱、密封室等，用于使容器具有良好的密封性。本申请密封装置包括密封圈21、用于承载该密封圈21的固定支架22以及连通所述密封圈21的至少一个接入管23，其中，密封圈21包含设置为中空结构的填充部21a以及连接填充部21a的卡接部21b；该固定支架22具有凹槽结构22a，该凹槽结构22a用于卡接密封圈21的卡接部21b；接入管23为中空结构，在图中以直线示出，该接入管23一端与密封圈21的填充部21a连通，另一端可以连接在气泵、液泵等设备上，用于向填充部21a充入填充物；当填充部21a充入填充物后，填充部体积膨胀，膨胀状态的填充部21a最高点高于所述固定支架22。由此，在充入填充物后，利用填充物对填充部21a内壁的挤压使得填充部21a发生一定程度的膨胀，在使用该密封装置对密封式设备进行密封时，填充部21a的膨胀形变可以减缓密封式设备的腔盖关闭时与密封装置的挤压，有利于提升密封性；相比于现有技术中褶皱结构反复拉伸压缩，还可以避免对密封装置的磨损，降低老化可能；而且，本申请中的密封装置可以在不使用时，放掉填充部21a中的填充物，不致于填充部21a一直保持膨胀状态，减少老化磨损的几率；另外，本申请中的密封装置中密封圈21卡接在固定支架22内，方便拆卸安装。在本申请中，上述密封装置中密封圈的填充部可以由橡胶、塑料等具有一定延展性的材料制成，以便于容易将填充部卡接入固定支架内；该填充部与接入管相连通，可以利用气泵、液泵等设备通过接入管向填充部充入填充物，其中，接入管可从填充部暴露在外的任一侧连通，或者从填充部的底部贯穿卡接部与填充部连通。可选地，本申请中填充至填充部的填充物可以为气体，如：氮气、惰性气体、空气等，或者，可以为液体，例如：水、防冻液等。考虑到安全问题以及环保性，优选的，该填充物可以选用干燥压缩空气(cleandryair,CDA)。上述密封装置中密封圈的卡接部与填充部连接紧密，由具有一定延展性的材料制成，该材料可以与上述填充部的制作材料相同，例如：填充部与卡接部均由橡胶制成，且为一体化结构。该卡接部材料也可以与填充部材料不同，例如：填充部由橡胶制成，卡接部由软质塑料制成，填充部通过注塑的方式与卡接部连接在一起。该卡接部应具有一定的卡接结构，且与固定支架的凹槽结构相适配，在进行卡接时，借用外力对卡接部进行作用使得卡接部发生一定程度的形变，以便于将卡接部置于固定支架的凹槽结构内；或者，在取消卡接时，采用类似的方式将卡接部从固定支架中取出。在本申请中，密封装置的密封圈以及固定支架本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种密封装置，其特征在于，包括：密封圈、用于承载所述密封圈的固定支架、连通所述密封圈的至少一个接入管，其中，所述密封圈包含设置为中空结构的填充部以及连接所述填充部的卡接部；所述固定支架具有凹槽结构，所述凹槽结构用于卡接所述密封圈的卡接部；所述接入管连通所述密封圈的填充部，用于向所述填充部充入填充物，所述填充部在充入填充物后的最高点高于所述固定支架的最高点。

【技术特征摘要】
1.一种密封装置，其特征在于，包括：密封圈、用于承载所述密封圈的固定支架、连通所述密封圈的至少一个接入管，其中，所述密封圈包含设置为中空结构的填充部以及连接所述填充部的卡接部；所述固定支架具有凹槽结构，所述凹槽结构用于卡接所述密封圈的卡接部；所述接入管连通所述密封圈的填充部，用于向所述填充部充入填充物，所述填充部在充入填充物后的最高点高于所述固定支架的最高点。2.如权利要求1所述的密封装置，其特征在于，在垂直于所述密封圈环绕方向的截面内，所述卡接部的尺寸大于所述固定支架中凹槽结构的口径，以便于在所述密封圈被置于所述凹槽结构后通过所述卡接部与所述凹槽结构的配合卡接所述卡接部。3.如权利要求1或2所述的密封装置，其特征在于，所述凹槽结构包含上槽室和下槽室；其中，在垂直于所述密封圈环绕方向的截面内，所述凹槽结构的下槽室与所述密封圈的卡接部相互适配，所述凹槽结构的上槽室包裹部分所述密封圈的填充部。4.如权利要求3所述的密封装置，其特征在于，所述密封圈的卡接部...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈楠，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32