清洁装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种维护性优异，并且可更确实地去除微细的异物的清洁装置。本发明专利技术是一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于：包括表侧刷辊单元，可装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及表侧清洁辊单元，可装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。优选为具备用以调节所述表侧刷辊单元、及所述表侧树脂辊单元各自的高度的高度调节机构。

Cleaning device

The invention provides a cleaning device with excellent maintainability and capable of removing fine foreign matter more reliably. The invention relates to a cleaning device, which carries a plate or film object while removing foreign bodies on the surface. The device comprises a surface brushing roller unit, which can be mounted and unloaded on top of the object to be transferred, and uses the surface brushing roller to remove foreign bodies on the surface of the object; and a surface cleaning device. The roll unit can be mounted and unloaded above the object and the downstream side of the conveying direction of the surface brush roll unit, and the foreign body on the surface of the object can be removed by the surface cleaning roll. It is preferable to have a height adjusting mechanism for adjusting the height of the table side brush roll unit and the resin roll unit.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】清洁装置
本专利技术涉及一种清洁装置。
技术介绍
近年来，开发有一种清洁装置，所述清洁装置用以去除附着于平板显示器(FlatPanelDisplay，FPD)用的玻璃基板、或树脂基板、或电子零件搭载用印刷基板、或用以形成层叠陶瓷电容器等的陶瓷生片(ceramicgreensheet)、或树脂薄板、或长条膜等对象物表面上的尘埃等异物。作为此种清洁装置，例如提出有如下的清洁装置：利用带电刷去除对象物表面的异物，并利用电场力(electricfieldforce)且利用清洁辊来搬送及回收所述经去除的异物(参照日本专利特开2011-92846号公报)。但是，在现有的清洁装置中，通常将带电刷或清洁辊固定于装置的框体内，因此在装置的维护时必须将装置分解，在维护性的方面存在问题。另外，具备带电刷的清洁装置可利用带电刷来去除毫米尺寸的比较大的异物，但存在产生带电刷不接触对象物表面的部分，而无法去除所述非接触部分上所存在的异物(特别是微细的异物)的问题。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2011-92846号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题本专利技术是基于如上述情况而成的，其目的在于提供一种维护性优异，并且可更确实地去除微细的异物的清洁装置。解决问题的技术手段为了解决所述课题而成的专利技术是一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于：包括表侧刷辊单元，可装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及表侧清洁辊单元，可装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。所述清洁装置将去除对象物的表侧表面的异物的表侧刷辊及表侧清洁辊分别加以单元化并可装卸地配设，由此可容易地卸下表侧刷辊单元及表侧清洁辊单元。因此，所述清洁装置的各构成要素的维护容易进行。此外，所述清洁装置在对象物的上方具备自对象物的表侧表面上去除异物的表侧刷辊及表侧清洁辊，由此不仅可自对象物的表侧表面上去除毫米尺寸的比较大的异物，也可去除微细的异物。即，所述清洁装置可利用表侧刷辊而自对象物的表侧表面上刮取并去除毫米尺寸的比较大的异物，并且可利用表侧清洁辊而自对象物的表侧表面上吸附去除微细的异物。如此，所述清洁装置可去除在FPD或半导体等的制造工序中所产生的各种尺寸或材质的异物，因此与现有的清洁装置相比，清洁性格外优异。所述清洁装置优选为具备用以调节表侧刷辊单元、及表侧清洁辊单元各自的高度的高度调节机构。如此，通过所述清洁装置具备高度调节机构，可调节对于对象物的表侧刷辊的压接量或表侧清洁辊的按压力(夹持宽度)。由此，可高效率地进行利用表侧刷辊的比较大的异物的去除、及利用表侧清洁辊的微细的异物的去除。尤其，因表侧刷辊单元及表侧清洁辊单元可装卸，故可在各个单元中设置独立的高度调节机构，而调节各自的高度。由此，即便表侧刷辊与对象物的最适宜的压接条件不同于表侧清洁辊与对象物的最适宜的压接条件，也可利用独立的高度调节机构，而分别使对于对象物的压接条件最适宜化。表侧刷辊单元优选为具备：表侧刷辊，在相对于搬送方向反转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；第1回收辊，以与所述表侧刷辊大致平行且抵接的方式配设；以及第1刀片，抵接于所述第1回收辊表面上，并去除附着的异物。在此种表侧刷辊单元中，表侧刷辊在相对于搬送方向反转的方向上旋转驱动，由此可刮起并有效地去除附着于对象物的表侧表面上的异物、特别是毫米尺寸的比较大的异物。另外，在使利用表侧刷辊而自对象物上去除的比较大的异物附着于第1回收辊上后，可利用第1刀片来去除。因此，可减少自对象物的表侧表面上去除的异物继续附着于表侧刷辊上的可能性，并将表侧刷辊维持成清洁的状态。其结果，可利用表侧刷辊更有效地进行自对象物的表侧表面上的比较大的异物的去除。表侧刷辊单元优选为具备搬送辊，所述搬送辊具有与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴，配设于表侧刷辊的搬送方向上游侧，并辅助对象物的搬送。通过具备此种搬送辊，可引导对象物而顺利地搬送。表侧刷辊单元优选为在表侧刷辊的搬送方向上游侧具备第1异物回收部，所述第1异物回收部至少收容利用第1刀片所去除的异物。通过具备此种第1异物回收部，可一面抑制利用第1刀片自第1回收辊上所刮取的异物在单元内的飞散一面回收。另外，通过将第1异物回收部配置于表侧刷辊的搬送方向上游侧，可采用朝搬送方向上游侧抽出第1异物回收部的构成，而可容易地取出第1异物回收部中所回收的异物。表侧清洁辊单元优选为具备：表侧清洁辊，在相对于搬送方向正转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；刷辊，以与所述表侧清洁辊大致平行且抵接的方式配设，且在相对于表侧清洁辊反转的方向上旋转驱动；第2回收辊，以与所述刷辊大致平行且抵接的方式配设；以及第2刀片，抵接于所述第2回收辊表面上，并去除附着的异物。在此种表侧清洁辊单元中，在将利用表侧清洁辊而自对象物的表侧表面上去除的微细的异物经由刷辊搬送至第2回收辊上后，可利用第2刀片来刮取并去除。因此，可减少自对象物的表侧表面上去除的异物继续附着于表侧清洁辊上的可能性，并将表侧清洁辊维持成清洁的状态。其结果，可利用表侧清洁辊更有效地进行自对象物的表侧表面上的微细的异物的去除。表侧清洁辊单元优选为在表侧清洁辊的搬送方向下游侧具备第2异物回收部，所述第2异物回收部至少收容利用第2刀片所去除的异物。通过具备此种第2异物回收部，可一面抑制利用第2刀片自第2回收辊上所刮取的异物在单元内的飞散一面回收。另外，通过将第2异物回收部配置于表侧清洁辊的搬送方向下游侧，可采用朝搬送方向下游侧抽出第2异物回收部的构成，第2异物回收部中所回收的异物的取出变得容易。所述清洁装置优选为具备背侧相向辊单元，所述背侧相向辊单元包含：第1背侧相向辊，对应于表侧刷辊单元的表侧刷辊而设置于对象物下方；及第2背侧相向辊，对应于表侧清洁辊单元的表侧清洁辊而设置于对象物下方。通过具备此种背侧相向辊单元，可利用第1背侧相向辊来准确地进行对象物的搬送，并且可利用第2背侧相向辊来更高效率地进行利用表侧清洁辊的微细的异物的去除。背侧相向辊单元优选为具备设置于第1背侧相向辊的搬送方向上游侧，并辅助对象物的搬送的辅助辊。如此，通过具备辅助辊，当将对象物搬入至表侧刷辊单元中时，辅助辊可引导对象物而准确地进行搬送。其结果，可抑制由对象物的前端部的接触所引起的表侧清洁辊的损伤、或对象物的搬送不良等。所述清洁装置优选为具备：背侧刷辊单元，配设于对象物的下方且所述背侧相向辊单元的搬送方向下游侧，并利用背侧刷辊去除对象物的背侧表面的异物；背侧清洁辊单元，配设于所述对象物的下方且所述背侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用背侧清洁辊去除对象物的背侧表面的异物；以及可装卸地配设的表侧相向辊单元，包含第1表侧相向辊，对应于所述背侧刷辊单元的背侧刷辊而设置于所述对象物上方，及第2表侧相向辊，对应于所述背侧清洁辊单元的背侧清洁辊而设置于所述对象物上方。如此，通过具备背侧清洁辊单元及背侧刷辊单元，可去除对象物的背侧表面的异物。另外，通过具备表侧相向辊单元，可利用第1表侧相向辊来更准确地进行对象本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于包括：表侧刷辊单元，能够装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及表侧清洁辊单元，能够装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.09 JP 2016-0463681.一种清洁装置，其一面搬送板状或膜状的对象物一面去除表面的异物，其特征在于包括：表侧刷辊单元，能够装卸地配设于被搬送的所述对象物的上方，并利用表侧刷辊去除所述对象物的表侧表面的异物；以及表侧清洁辊单元，能够装卸地配设于所述对象物的上方且所述表侧刷辊单元的搬送方向下游侧，并利用表侧清洁辊去除所述对象物的表侧表面的异物。2.根据权利要求1所述的清洁装置，其包括用以调节所述表侧刷辊单元、及所述表侧清洁辊单元各自的高度的高度调节机构。3.根据权利要求1或2所述的清洁装置，其中所述表侧刷辊单元包括：所述表侧刷辊，在相对于搬送方向反转的方向上，通过与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴来旋转驱动；第1回收辊，以与所述表侧刷辊大致平行且抵接的方式配设；以及第1刀片，抵接于所述第1回收辊表面上，并去除附着的异物。4.根据权利要求3所述的清洁装置，其中所述表侧刷辊单元具备搬送辊，所述搬送辊具有与搬送方向大致垂直且与搬送面大致平行的旋转轴，配设于所述表侧刷辊的搬送方向上游侧，并辅助所述对象物的搬送。5.根据权利要求3或4所述的清洁装置，其中所述表侧刷辊单元在所述表侧刷辊的搬送方向上游侧具备第1异物回收部，所述第1异物回收部至少收容利用所述第1刀片所去除的异物。6.根据权利要求1至5中任一项所述的清洁装置，其中所述表侧清洁辊单元包括：所述表侧清洁辊，在相对于搬送方向正转的方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：三桥浩，金子加津寛，谷新太，松本英树，
申请(专利权)人：阪东化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP