微流体装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够更加容易地注入流体的微流体装置。在微流体装置(1)中，上部基板(2)在端部的至少一部分比下部基板(6)的端部靠内侧的状态下经由密封图案(5)而与下部基板(6)贴合，在上部基板(2)的端部比下部基板(6)的端部靠内侧的部分的密封图案(5)上形成有一个以上的切缝(12)。

Microfluidic device

The invention provides a microfluidic device that can be more easily injected into the fluid. In a microfluidic device (1), the upper substrate (2) is fitted with the lower substrate (6) through a sealing pattern (5) in the condition that at least part of the end of the upper substrate (2) is at the inner side of the end of the lower substrate (6), and more than one notch (12) is formed on the sealing pattern (5) of the end of the upper substrate (2) than on the inner part of the end of the lower substrate (6).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微流体装置
本专利技术涉及注入有流体的微流体装置。
技术介绍
在应用了有源矩阵型电介质电润湿(AM-EWOD)技术的微流体装置中，通常为了注入油或液滴等流体，在上部基板开设小孔，利用移液器等从该孔注入流体。设置于该上部基板的小孔的位置及尺寸依赖于有源区域的电极间距，要求非常高的位置精度及尺寸精度。另外，在将玻璃基板用作上部基板的情况下，为了确保基板强度以及防止对流路的污染，需要尽量抑制开孔时产生的孔壁及其周边的微裂纹的发生。作为满足这些条件的开孔技术，针对玻璃基板举出精密钻孔法或蚀刻法等，针对塑料基板举出高精度的模具铸造加工等，但这些方法在技术层面的难易度都很高。因此，上部基板与其他构件相比，成本显著高，对于能够设置的孔数也存在制约。对此，专利文献1中公开了在不设置孔的状态下注入流体的技术。在专利文献1所公开的微流体装置中，设置有包围上部基板的周围的框架，在该框架上形成有一个以上的开口部，该一个以上的开口部形成从微流体装置的外部延伸至上部基板与下部基板之间的流路。能够从该开口部向上部基板与下部基板之间(单元内)注入流体。在先技术文献专利文献专利文献1：美国专利申请公开“第2010/0282608号”(2010年11月11日)
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在专利文献1所公开的微流体装置中，为了向单元内注入流体而需要另外设置具有开口部的框架，因此，期望能够更加容易地向单元内注入流体的微流体装置。对此，本专利技术是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够更加容易地向单元内注入流体的微流体装置。用于解决课题的方案为了解决上述课题，本专利技术的一方式的微流体装置是向内部注入了流体的微流体装置，所述微流体装置具备：形成有上部疏水图案的上部基板；形成有下部疏水图案的下部基板；以及用于在所述上部基板的端部的至少一部分比所述下部基板的端部靠内侧的状态下使所述上部基板与所述下部基板贴合的密封图案，在所述上部基板的端部比所述下部基板的端部靠内侧的部分的所述密封图案上，形成有一个以上的切缝。专利技术效果根据本专利技术的一方式，能够更加容易地向单元内注入流体。附图说明图1是本专利技术的一实施方式的微流体装置的剖视图。图2的(a)是表示上部基板的俯视图，图2的(b)是表示下部基板的俯视图。图3的(a)是向微流体装置注入流体时的微流体装置的局部立体图，图3的(b)是图3的(a)中的A-A’线向视剖视图。图4的(a)～(h)是表示在上部基板上形成上部疏水图案的各工序的图。图5的(a)是表示上部基板的俯视图，图5的(b)是表示下部基板的俯视图。图6的(a)是向微流体装置注入流体时的微流体装置的局部立体图，图6的(b)是图6的(a)中的A-A’线向视剖视图。图7的(a)是表示使用单分子系的亲水性材料时的亲水图案的形成方法的图，图7的(b)是表示使用高分子系的亲水性材料时的亲水图案的形成方法的图。图8的(a)是表示上部基板的局部俯视图，图8的(b)是表示下部基板的局部俯视图。图9的(a)是向微流体装置注入流体时的微流体装置的局部立体图，图9的(b)是图9的(a)中的A-A’线向视剖视图。图10是向微流体装置注入流体时的微流体装置的局部剖视图。具体实施方式〔实施方式1〕以下基于图1～图4对本专利技术的实施方式1进行说明。(微流体装置)参照图1来说明本实施方式的微流体装置。图1是本实施方式的微流体装置1的剖视图。如图1所示，微流体装置1具有上部基板2和下部基板6这一对基板。在上部基板2上形成有上部电极3，在上部电极3上形成有上部疏水图案4。另一方面，在下部基板6上形成有多个下部电极7，在下部电极7上形成有电介质层8，在电介质层8上形成有下部疏水图案9。上部基板2与下部基板6通过在它们的至少一方的周缘部设置的后述的密封图案而相互贴合，由此形成单元。在单元内注入有油或液滴等流体10。通过向下部电极7施加电压，所注入的流体10通过电润湿效应而在单元内进行变形及位移(移动)。之后叙述流体10的具体的注入。(流体注入机构)在本实施方式的微流体装置1中，在上部基板2上形成有用于向单元内注入流体10的机构。参照图2及图3对该机构进行说明。图2的(a)是表示上部基板2的俯视图，图2的(b)是表示下部基板6的俯视图。另外，图3的(a)是向微流体装置1注入流体10时的微流体装置1的局部立体图，图3的(b)是图3的(a)中的A-A’线向视剖视图。如图2的(a)所示，在上部基板2的上部疏水图案4上形成有密封图案5。上部基板2经由密封图案5而与下部基板6的下部疏水图案9侧的面贴合。在此，如图2的(b)所示，下部基板6比上部基板2大，上部、基板2以落入下部基板6的面内(图中的区域14)的方式与下部基板6贴合。即，上部基板2在端部的至少一部分比下部基板6的端部靠内侧的状态下经由密封图案5与下部基板6贴合。需要说明的是，密封图案5也可以形成在下部基板6的下部疏水图案9上。在上部基板2的端部比下部基板6的端部靠内侧的部分的密封图案5上形成有一个以上的切缝12。在本图中，密封图案5具有直线形状的图案形状，且局部地形成有切缝12。如图3的(a)所示，通过使向微流体装置1注入的流体10在密封图案5的切缝12附近的下部基板6上滴下，从而如图3的(b)所示那样，所滴下的流体10通过毛细管现象从密封图案5的切缝12自然地进入两基板之间。这样，在本实施方式的微流体装置1中，能够向微流体装置1的单元内注入流体10。在本实施方式的微流体装置1中，仅通过在用于使上部基板2与下部基板6贴合的密封图案5上设置切缝12，就能够容易地向微流体装置1的单元内注入流体10。这样，在本实施方式的微流体装置1中，能够以简易的结构容易地实现向单元内注入流体10的技术。另外，在本实施方式的微流体装置1中，无需在上部基板2上设置用于注入流体10的孔，因此，在上部基板2的制造中不要求较高的技术，能够将上部基板2的制造成本抑制得较低。因此，设置于密封图案5的切缝12的个数未特别存在制约。另外，密封图案5中的切缝12的间距及长度等未特别限定。根据要注入的流体10的量等适当决定即可。需要说明的是，如图2的(a)所示，优选在上部疏水图案4的与密封图案5的切缝12对应的位置处形成有切口11。由此，密封图案5的切缝12附近的疏水性降低，因此，能够促进在密封图案5的切缝12附近的下部基板6上滴下的流体10从切缝12自然地进入两基板之间。另外，如图2的(b)所示，优选在下部疏水图案9的与密封图案5的切缝12对应的位置处也形成有切口13。由此，密封图案5的切缝12附近的疏水性更进一步降低，因此，能够更加促进在密封图案5的切缝12附近的下部基板6上滴下的流体10从切缝12自然地进入两基板之间。即便该切口仅形成于上部疏水图案4及下部疏水图案9中的一方，也能够充分地促进在密封图案5的切缝12附近的下部基板6上滴下的流体10从切缝12自然地进入两基板之间。但是，从更进一步促进流体10从切缝12自然地进入两基板之间这一观点出发，优选将切口形成于上部疏水图案4及下部疏水图案9这双方。需要说明的是，为了促进在密封图案5的切缝12附近的下部基板6上滴下的流体10从切缝12自然地进入两基板之间，也可以由亲水性材料形成密封图案5。另外，下部电极7也可以根据需本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微流体装置，其是向内部注入了流体的微流体装置，所述微流体装置的特征在于，具备：形成有上部疏水图案的上部基板；形成有下部疏水图案的下部基板；以及用于在所述上部基板的端部的至少一部分比所述下部基板的端部靠内侧的状态下使所述上部基板与所述下部基板贴合的密封图案，在所述上部基板的端部比所述下部基板的端部靠内侧的部分的所述密封图案上，形成有一个以上的切缝。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.30 JP 2016-0671011.一种微流体装置，其是向内部注入了流体的微流体装置，所述微流体装置的特征在于，具备：形成有上部疏水图案的上部基板；形成有下部疏水图案的下部基板；以及用于在所述上部基板的端部的至少一部分比所述下部基板的端部靠内侧的状态下使所述上部基板与所述下部基板贴合的密封图案，在所述上部基板的端部比所述下部基板的端部靠内侧的部分的所述密封图案上，形成有一个以上的切缝。2.根据权利要求1所述的微流体装置，其特征在于，在所述上部疏水图案的与所述密封图案的所述切缝对应的位置处形成有切口。3.根据权利要求1或2所述的微流体装置，其特征在于，在所述下部疏水图案的与所述密封图案的所述切缝对应的位置处形成有切口。4.根据权利要求1所述的微流体装置，其特征在于，在所述上...

【专利技术属性】
技术研发人员：寺西知子，沈韵婷，李昊，
申请(专利权)人：夏普生命科学欧洲有限公司，
类型：发明
国别省市：英国,GB