准分子激光器及准分子激光器的透镜固定载具制造技术

本申请公开一种准分子激光器的透镜固定载具，其包括内套件、外套件、第一密封圈和第二密封圈；其中，所述外套件的内壁具有定位凸台，所述内套件套设在所述外套件之内，所述内套件的头端与所述定位凸台之间形成容纳透镜的空间，所述第一密封圈用于密封设置在所述透镜的一侧面与所述内套件的头端之间，所述第二密封圈用于密封设置在所述透镜的另一侧面与所述定位凸台之间，所述内套件用于向所述第一密封圈施加压紧力，以固定所述透镜于所述定位凸台上。本申请还公开一种准分子激光器。上述方案能解决目前的透镜固定载具在紧固透镜的过程中容易划伤透镜的问题。

【技术实现步骤摘要】
准分子激光器及准分子激光器的透镜固定载具
本申请涉及激光设备
，尤其涉及一种准分子激光器及准分子激光器的透镜固定载具。
技术介绍
准分子激光器是波长在紫外波段的脉冲气体激光器。近年来，在各方面的不懈钻研努力下，准分子激光器得以迅速发展。目前，市场上推出的准分子激光器的功率水平在不断提高，这使得准分子激光器的适用范围也从实验室领域扩展到激光医疗、激光加工等领域。准分子激光退火是LTPS(LowTemperaturePoly-silicon，低温多晶硅技术)工艺中不可或缺的一道工序，该工序由准分子激光器完成。在对准分子激光器进行维护的过程中，用户需要对准分子激光器的透镜进行保养。保养操作需要拆卸透镜来实现。准分子激光器的透镜固定在透镜固定载具上，透镜固定载具包括压紧环(通常为铜环)和筒体，压紧环与筒体螺纹配合，在安装透镜的过程中，用户通常通过光学扳手旋拧压紧环，进而将透镜压紧在筒体的内壁凸台上。在旋拧压紧环的过程中，压紧环会逐渐压紧在透镜的表面，压紧环的旋转会划伤透镜，进而较容易造成不可修复的损坏。可见，目前的透镜固定载具在透镜保养操作过程中较容易损伤透镜。
技术实现思路
本申请提供一种准分子激光器的透镜固定载具，以解决目前的透镜固定载具在紧固透镜的过程中容易划伤透镜的问题。为了解决上述问题，本申请实施例采用下述技术方案：准分子激光器的透镜固定载具，包括内套件、外套件、第一密封圈和第二密封圈；其中，所述外套件的内壁具有定位凸台，所述内套件套设在所述外套件之内，所述内套件的头端与所述定位凸台之间形成容纳透镜的空间，所述第一密封圈用于密封设置在所述透镜的一侧面与所述内套件的头端之间，所述第二密封圈用于密封设置在所述透镜的另一侧面与所述定位凸台之间，所述内套件用于向所述第一密封圈施加压紧力，以固定所述透镜于所述定位凸台上。优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的尾端外伸于所述外套件，所述内套件的尾端用于接收驱动力以压紧所述透镜，所述驱动力由所述准分子激光器的夹持器件施加。优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的尾端设置第一限位凸台，所述外套件的尾端设置有第二限位凸台，所述第一限位凸台能与所述第二限位凸台限位配合。优选的，上述透镜固定载具中，第一限位凸台自所述内套件的尾端的边缘向远离所述内套件的中心的方向延伸，所述第二限位凸台与所述第一限位凸台的延伸方向一致。优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件的头端设置有第一定位槽，所述第一密封圈定位在所述第一定位槽中。优选的，上述透镜固定载具中，所述定位凸台设置有第二定位槽，所述第二密封圈定位在所述第二定位槽中。优选的，上述透镜固定载具中，所述外套件的头端设置有第三密封圈，所述第三密封圈用于与所述准分子激光器的谐振腔密封连接。优选的，上述透镜固定载具中，所述外套件的头端设置有第三定位槽，所述第三密封圈定位在所述第三定位槽中。优选的，上述透镜固定载具中，所述内套件与所述外套件在两者的周向定位配合。准分子激光器，包括谐振腔、夹持器件和透镜固定载具，其中，所述透镜固定载具通过所述夹持器件固定在所述谐振腔的端部。本申请采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：本申请公开的透镜固定载具在固定透镜的过程中，操作人员依次将第二密封圈和透镜放置在定位凸台上，然后将内套件配合到外套件的内腔中，进而使得内套件通过第一密封圈向放置在空腔中的透镜施加紧固力，透镜通过第二密封圈密封压紧在定位凸台上。第一密封圈和第二密封圈均起到使透镜密封安装到透镜固定载具的作用。由于内套件与透镜及定位凸台与透镜之间分别布置第一密封圈和第二密封圈，这两个密封圈还能起到隔离的作用，避免内套件和定位凸台直接接触透镜，也就能避免在透镜安装的过程中紧固部件对透镜的损伤。可见，本申请公开的透镜固定载具能够解决目前的透镜固定载具在紧固透镜的过程中容易划伤透镜的问题。附图说明此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：图1为本申请实施例公开的透镜固定载具的结构示意图；图2为外套件的结构示意图；图3为图2的仰视图；图4为内套件的结构示意图；图5为图4的俯视图；图6为本申请实施例公开的准分子激光器的结构示意图。附图标记说明：100-内套件、110-第一限位凸台、200-外套件、210-定位凸台、220-第二限位凸台、300-第一密封圈、400-第二密封圈、500-透镜、600-谐振腔、700-第三密封圈、a-透镜固定载具。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。请参考图1-6，本申请实施例公开一种准分子激光器的透镜固定载具，所公开的透镜固定载具包括内套件100、外套件200、第一密封圈300和第二密封圈400。内套件100和外套件200两端均为敞口端，这便于准分子激光器的光线从透镜穿过。具体的，内套件100和外套件200通常为圆筒状结构。本申请实施例中，内套件100套设在外套件200之内。外套件200的内壁具有定位凸台210，该定位凸台210通常为环形凸台。环形凸台可以与外套件200为一体成型结构，例如外套件200通过一体铸造成型或切割成型，进而在外套件200的内壁上形成定位凸台210。在组装的过程中，内套件100的头端伸入外套件200的内腔中，内套件100的头端与定位凸台210之间形成容纳透镜500的空间。第一密封圈300用于密封设置在透镜500的一侧面与内套件100的头端之间。第二密封圈400用于密封设置在透镜500的另一侧面与定位凸台210之间。内套件100用于向第一密封圈300施加压力，以固定透镜500于定位凸台210上，即使得透镜500通过第二密封圈400被定位在定位凸台210上。需要说明的是，本申请实施例中，内套件100和外套件200均具有头端和尾端。内套件100的头端指的是内套件100伸入外套件200的内腔，且与第一密封圈300接触的一端，内套件100的尾端与内套件100的头端分别作为内套件100的两个端部。外套件200的头端与内套件100的头端位于两者所形成的整体的同一端，外套件200的尾端与外套件200的头端分别作为外套件200的两个端部。本申请实施例公开的透镜固定载具在固定透镜500的过程中，操作人员依次将第二密封圈400和透镜500放置在定位凸台210上，然后将内套件100的配合到外套件200的内腔中，进而使得内套件100通过第一密封圈300向放置在空腔中的透镜500施加紧固力，透镜500通过第二密封圈400密封压紧在定位凸台210上。本申请实施例中，第一密封圈300和第二密封圈400均起到使透镜500密封安装到透镜固定载具的作用。由于内套件100与透镜500及定位凸台210与透镜500之间分别布置第一密封圈300和第二密封圈400，这两个密封圈能起到隔离的作用，避免内套件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.准分子激光器的透镜固定载具，其特征在于，包括内套件、外套件、第一密封圈和第二密封圈；其中，所述外套件的内壁具有定位凸台，所述内套件套设在所述外套件之内，所述内套件的头端与所述定位凸台之间形成容纳透镜的空间，所述第一密封圈用于密封设置在所述透镜的一侧面与所述内套件的头端之间，所述第二密封圈用于密封设置在所述透镜的另一侧面与所述定位凸台之间，所述内套件用于向所述第一密封圈施加压紧力，以固定所述透镜于所述定位凸台上。

【技术特征摘要】
1.准分子激光器的透镜固定载具，其特征在于，包括内套件、外套件、第一密封圈和第二密封圈；其中，所述外套件的内壁具有定位凸台，所述内套件套设在所述外套件之内，所述内套件的头端与所述定位凸台之间形成容纳透镜的空间，所述第一密封圈用于密封设置在所述透镜的一侧面与所述内套件的头端之间，所述第二密封圈用于密封设置在所述透镜的另一侧面与所述定位凸台之间，所述内套件用于向所述第一密封圈施加压紧力，以固定所述透镜于所述定位凸台上。2.根据权利要求1所述的透镜固定载具，其特征在于，所述内套件的尾端外伸于所述外套件，所述内套件的尾端用于接收驱动力以压紧所述透镜，所述驱动力由所述准分子激光器的夹持器件施加。3.根据权利要求1所述的透镜固定载具，其特征在于，所述内套件的尾端设置第一限位凸台，所述外套件的尾端设置有第二限位凸台，所述第一限位凸台能与所述第二限位凸台限位配合。4.根据权利要求3所述的透镜固定载具，其特征在于，第一限位凸台自所述内套件的尾端的边缘向...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱声建，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32