The utility model belongs to the vacuum technology field, in particular to a vacuum chamber door sealing structure, which comprises a vacuum chamber body and a vacuum chamber door sealed at the entrance and exit position of the vacuum chamber body. The installation position of the vacuum chamber door is provided with an inner sealing groove and an outer sealing groove, in which an inner sealing ring and an outer sealing ring are respectively placed. A sandwich vacuum chamber is arranged between the vacuum chamber door, the inner layer sealing groove and the outer sealing groove. For large vacuum chamber in high temperature environment, the technical requirements of high limit vacuum and low background leakage rate of vacuum chamber in high temperature environment are realized. Double-layer rubber sealing structure, on the one hand in the sandwich into circulating water to cool the rubber, on the other hand in the sandwich structure in the middle of the use of vacuum pump vacuum, through the middle of the vacuum layer to isolate air infiltration. Therefore, the limiting vacuum degree and the background leakage rate of the vacuum chamber can be increased by decreasing the permeability, the air release rate and the vacuum isolation of the rubber.
【技术实现步骤摘要】
一种真空室门密封结构
本技术属于真空
,具体涉及一种真空室门密封结构。
技术介绍
真空腔室广泛应用于真空领域中,而真空室门则是影响真空室内真空度和漏率的重点部位。在真空设备系统中,真空室门部分由于需要经常开闭,从提高效率、方便操作和节约成本考虑,其密封形式通常采用能够重复使用的橡胶密封,而橡胶材料则选用在真空领域广泛使用的氟橡胶材料。氟橡胶具有耐180℃高温和渗透率低的特点。然而相对于金属密封,橡胶密封由于橡胶材料不如金属材料致密、耐热,导致其放气率和渗透率较高。真空室门作为影响真空系统真空度和本底漏率的重点部位,合理有效的密封结构将对真空应用设备达到技术指标起到重要的作用。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种空室门密封结构及真空腔室,其能够满足高温条件下(250℃)真空腔室内高极限真空度和低本底漏率的使用要求。本技术的技术方案如下:一种真空室门密封结构,包括真空室体和密封设于真空室体出入口位置的真空室门,所述的真空室门的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽,槽内分别放置内层密封圈和外层密封圈,所述的真空室门上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔。所述的真空室体出入口位置设有密封法兰,所述的真空室门的安装位置与密封法兰接触。所述的密封法兰上加工水冷回路。所述的水冷回路在真空室体的径向方向上的位置在内层密封圈和外层密封圈之间。所述的夹层真空腔的真空度为10-1-10-3Pa。所述的夹层真空腔与真空泵连通。本技术的有益效果如下:设计双层水冷抽真空密封结构,针对高温环境下大型真空腔室,实现真空室腔体在高温环境下高极限真空和低本底漏率的技术要求。在真空室门 ...
【技术保护点】
1.一种真空室门密封结构,包括真空室体(8)和密封设于真空室体(8)出入口位置的真空室门(1),其特征在于:所述的真空室门(1)的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽,槽内分别放置内层密封圈(2)和外层密封圈(5),所述的真空室门(1)上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔(4)。
【技术特征摘要】
1.一种真空室门密封结构,包括真空室体(8)和密封设于真空室体(8)出入口位置的真空室门(1),其特征在于:所述的真空室门(1)的安装位置设有内层密封槽和外层密封槽,槽内分别放置内层密封圈(2)和外层密封圈(5),所述的真空室门(1)上、内层密封槽和外层密封槽之间设有夹层真空腔(4)。2.如权利要求1所述的一种真空室门密封结构,其特征在于:所述的真空室体(8)出入口位置设有密封法兰,所述的真空室门(1)的安装位置与密封法兰接触。3.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:冷桢,李佳霖,李泞,谌继明,王平怀,刘世宇,李建,王焜,陈新,任元国,
申请(专利权)人:核工业西南物理研究院,
类型:新型
国别省市:四川,51
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